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公開番号2024146515
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-15
出願番号2023059474
出願日2023-03-31
発明の名称固体撮像装置の製造方法および光学基板の製造方法
出願人株式会社カネカ
代理人個人,個人
主分類H01L 23/02 20060101AFI20241004BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】光学ノイズを低減する光調整膜の形成を簡易化する固体撮像装置の製造方法を提供する。
【解決手段】固体撮像装置の製造方法は、印刷版を用いて、透明基板30上に光調整膜の材料およびフレームの材料を印刷する印刷工程と、加熱により、光調整膜の材料およびフレームの材料を仮硬化させる仮硬化工程と、光調整膜の材料およびフレームの材料にエキシマ光を照射するエキシマ光照射工程と、加熱、光照射、または、光照射および加熱により、光調整膜の材料およびフレームの材料を本硬化させて光調整膜45およびフレーム40を得る本硬化工程と、光調整膜およびフレームが形成された透明基板を、前記固体撮像素子が搭載された基板に組み合わせる組合工程とを含む。印刷版は、フレーム40に対応する孔と、光調整膜45に対応する窪みであって、孔に連続する窪みを有し、印刷工程では、光調整膜45の材料およびフレーム40の材料を同時に印刷する。
【選択図】図2

特許請求の範囲【請求項１】
固体撮像素子と、
前記固体撮像素子が搭載された基板と、
前記基板と対向するように配置された透明基板と、
前記固体撮像素子を囲うように、前記基板と前記透明基板との間に配置されたフレームと、
前記フレームに連続しており、前記透明基板の内面側であって、前記透明基板側から見たとき、前記固体撮像素子の撮像領域を取り囲むように配置された遮光機能または光拡散機能を有する光調整膜と、
を備える固体撮像装置の製造方法であって、
印刷版を用いた印刷法により、前記透明基板上に、熱硬化性材料または光硬化性および熱硬化性材料を用いて前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を印刷する印刷工程と、
前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を加熱し、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を仮硬化させる仮硬化工程と、
前記仮硬化工程後の前記光調整膜の材料の内主面および前記フレームの材料の内側面にエキシマ光を照射するエキシマ光照射工程と、
前記エキシマ光照射工程後の前記光調整膜の材料および前記フレームの材料に加熱、光照射、または、光照射および加熱を行い、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を本硬化させて前記光調整膜および前記フレームを得る本硬化工程と、
前記本硬化工程後の前記光調整膜および前記フレームが形成された前記透明基板、または、前記本硬化工程前の前記光調整膜の材料および前記フレームの材料が形成された前記透明基板を、前記固体撮像素子が搭載された前記基板に組み合わせる組合工程と、
を含み、
前記印刷版は、前記フレームに対応する孔と、前記光調整膜に対応する窪みであって、前記孔に連続する前記窪みを有し、
前記印刷工程では、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を同時に印刷する、
固体撮像装置の製造方法。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
固体撮像素子と、
前記固体撮像素子と対向するように配置された透明基板と、
前記固体撮像素子の撮像領域を囲うように、前記固体撮像素子と前記透明基板との間に配置されたフレームと、
前記フレームに連続しており、前記透明基板の内面側であって、前記透明基板側から見たとき、前記固体撮像素子の撮像領域を取り囲むように配置された遮光機能または光拡散機能を有する光調整膜と、
を備える固体撮像装置の製造方法であって、
印刷版を用いた印刷法により、前記透明基板上に、熱硬化性材料または光硬化性および熱硬化性材料を用いて前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を印刷する印刷工程と、
前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を加熱し、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を仮硬化させる仮硬化工程と、
前記仮硬化工程後の前記光調整膜の材料の内主面および前記フレームの材料の内側面にエキシマ光を照射するエキシマ光照射工程と、
前記エキシマ光照射工程後の前記光調整膜の材料および前記フレームの材料に加熱、光照射、または、光照射および加熱を行い、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を本硬化させて前記光調整膜および前記フレームを得る本硬化工程と、
前記本硬化工程後の前記光調整膜および前記フレームが形成された前記透明基板、または、前記本硬化工程前の前記光調整膜の材料および前記フレームの材料が形成された前記透明基板を、前記固体撮像素子に組み合わせる組合工程と、
を含み、
前記印刷版は、前記フレームに対応する孔と、前記光調整膜に対応する窪みであって、前記孔に連続する前記窪みを有し、
前記印刷工程では、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を同時に印刷する、
固体撮像装置の製造方法。
【請求項３】
透明基板と、
前記透明基板の一方の主面に積層され、内側空間を画定する枠状のフレームと、
前記フレームに連続しており、前記透明基板の前記一方の主面である内面側に配置された遮光機能または光拡散機能を有する光調整膜と、
を備える光学基板の製造方法であって、
印刷版を用いた印刷法により、前記透明基板上に、熱硬化性材料または光硬化性および熱硬化性材料を用いて前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を印刷する印刷工程と、
前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を加熱し、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を仮硬化させる仮硬化工程と、
前記仮硬化工程後の前記光調整膜の材料の内主面および前記フレームの材料の内側面にエキシマ光を照射するエキシマ光照射工程と、
前記エキシマ光照射工程後の前記光調整膜の材料および前記フレームの材料に加熱、光照射、または、光照射および加熱を行い、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を本硬化させて前記光調整膜および前記フレームを得る本硬化工程と、
を含み、
前記印刷版は、前記フレームに対応する孔と、前記光調整膜に対応する窪みであって、前記孔に連続する前記窪みを有し、
前記印刷工程では、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を同時に印刷する、
光学基板の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体撮像装置の製造方法および光学基板の製造方法に関する。
続きを表示（約 3,000 文字）【背景技術】
【０００２】
ＣＭＯＳセンサまたはＣＣＤセンサなどのイメージセンサである固体撮像装置が知られている。このような固体撮像装置は、例えば、固体撮像素子（半導体チップ）と、固体撮像素子が搭載された基板と、基板と対向するように配置された透明基板と、固体撮像素子を囲うように、基板と透明基板との間に配置されたフレームとを備え、固体撮像素子が基板と、透明基板と、フレームとで封止された中空構造を有する（例えば特許文献１参照）。また、中空空間（内側空間）を画定する枠状のフレームが一方の主面に形成された透明基板は、光学基板と称される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１４－２１６４７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような中空構造の固体撮像装置では、強い光が入射する際、例えばフレームの表面または透明基板の表面等の反射光（迷光）が増大し、その結果、撮像画像に発生するフレアまたはゴースト等の光学ノイズが増大する。
【０００５】
この点に関し、本願発明者らの知見によれば、透明基板の内面側であって、透明基板側から見たとき、固体撮像素子の撮像領域を取り囲むように遮光膜（光調整膜）を配置することにより、例えばフレームの表面または透明基板の表面等に入射する光をそもそも低減し、その結果、撮像画像に発生するフレアまたはゴースト等の光学ノイズを低減することができる。
【０００６】
或いは、本願発明者らの知見によれば、透明基板の内面側であって、透明基板側から見たとき、固体撮像素子の撮像領域を取り囲むように光拡散膜（光調整膜）を配置することにより、例えば透明基板の表面等の反射光（迷光）を低減し、その結果、撮像画像に発生するフレアまたはゴースト等の光学ノイズを低減することができる。
【０００７】
本発明は、光学ノイズを低減する光調整膜の形成を簡易化する固体撮像装置の製造方法および光学基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る固体撮像装置の製造方法は、固体撮像素子と、前記固体撮像素子が搭載された基板と、前記基板と対向するように配置された透明基板と、前記固体撮像素子を囲うように、前記基板と前記透明基板との間に配置されたフレームと、前記フレームに連続しており、前記透明基板の内面側であって、前記透明基板側から見たとき、前記固体撮像素子の撮像領域を取り囲むように配置された遮光機能または光拡散機能を有する光調整膜とを備える固体撮像装置の製造方法であって、印刷版を用いた印刷法により、前記透明基板上に、熱硬化性材料または光硬化性および熱硬化性材料を用いて前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を印刷する印刷工程と、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を加熱し、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を仮硬化させる仮硬化工程と、前記仮硬化工程後の前記光調整膜の材料の内主面および前記フレームの材料の内側面にエキシマ光を照射するエキシマ光照射工程と、前記エキシマ光照射工程後の前記光調整膜の材料および前記フレームの材料に加熱、光照射、または、光照射および加熱を行い、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を本硬化させて前記光調整膜および前記フレームを得る本硬化工程と、前記本硬化工程後の前記光調整膜および前記フレームが形成された前記透明基板、または、前記本硬化工程前の前記光調整膜の材料および前記フレームの材料が形成された前記透明基板を、前記固体撮像素子が搭載された前記基板に組み合わせる組合工程とを含む。前記印刷版は、前記フレームに対応する孔と、前記光調整膜に対応する窪みであって、前記孔に連続する前記窪みを有し、前記印刷工程では、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を同時に印刷する。
【０００９】
本発明に係る別の固体撮像装置の製造方法は、固体撮像素子と、前記固体撮像素子と対向するように配置された透明基板と、前記固体撮像素子の撮像領域を囲うように、前記固体撮像素子と前記透明基板との間に配置されたフレームと、前記フレームに連続しており、前記透明基板の内面側であって、前記透明基板側から見たとき、前記固体撮像素子の撮像領域を取り囲むように配置された遮光機能または光拡散機能を有する光調整膜とを備える固体撮像装置の製造方法であって、印刷版を用いた印刷法により、前記透明基板上に、熱硬化性材料または光硬化性および熱硬化性材料を用いて前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を印刷する印刷工程と、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を加熱し、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を仮硬化させる仮硬化工程と、
前記仮硬化工程後の前記光調整膜の材料の内主面および前記フレームの材料の内側面にエキシマ光を照射するエキシマ光照射工程と、前記エキシマ光照射工程後の前記光調整膜の材料および前記フレームの材料に加熱、光照射、または、光照射および加熱を行い、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を本硬化させて前記光調整膜および前記フレームを得る本硬化工程と、前記本硬化工程後の前記光調整膜および前記フレームが形成された前記透明基板、または、前記本硬化工程前の前記光調整膜の材料および前記フレームの材料が形成された前記透明基板を、前記固体撮像素子に組み合わせる組合工程とを含む。前記印刷版は、前記フレームに対応する孔と、前記光調整膜に対応する窪みであって、前記孔に連続する前記窪みを有し、前記印刷工程では、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を同時に印刷する。
【００１０】
本発明に係る光学基板の製造方法は、透明基板と、前記透明基板の一方の主面に積層され、内側空間を画定する枠状のフレームと、前記フレームに連続しており、前記透明基板の前記一方の主面である内面側に配置された遮光機能または光拡散機能を有する光調整膜とを備える光学基板の製造方法であって、印刷版を用いた印刷法により、前記透明基板上に、熱硬化性材料または光硬化性および熱硬化性材料を用いて前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を印刷する印刷工程と、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を加熱し、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を仮硬化させる仮硬化工程と、前記仮硬化工程後の前記光調整膜の材料の内主面および前記フレームの材料の内側面にエキシマ光を照射するエキシマ光照射工程と、前記エキシマ光照射工程後の前記光調整膜の材料および前記フレームの材料に加熱、光照射、または、光照射および加熱を行い、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を本硬化させて前記光調整膜および前記フレームを得る本硬化工程とを含む。前記印刷版は、前記フレームに対応する孔と、前記光調整膜に対応する窪みであって、前記孔に連続する前記窪みを有し、前記印刷工程では、前記光調整膜の材料および前記フレームの材料を同時に印刷する。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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