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公開番号2024127783
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-20
出願番号2024022288
出願日2024-02-16
発明の名称照明装置及び照明方法
出願人レーザーテック株式会社
代理人個人
主分類G01N 21/84 20060101AFI20240912BHJP(測定;試験)
要約【課題】検出器で検出される視野領域を均一に照明することができる照明装置及び照明方法を提供する。
【解決手段】本開示に係る照明装置600は、試料500における一方向に延びた領域の視野領域511を照明光L1が一方向にスキャンするように光学部材610を駆動させる駆動部620と、照明光L1のスキャンを、照明光L1が照明した視野領域511からの光を受光するTDIセンサの転送に同期させるように駆動部620を制御する制御部630と、を備える。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
試料における一方向に延びた領域の視野領域を、照明光が前記一方向にスキャンする移動成分を持つように光学部材を駆動させる駆動部と、
前記照明光が照明した前記視野領域からの光を受光するＴＤＩセンサの積算周期に、前記一方向の前記移動成分の前記照明光のスキャンが同期するように前記駆動部を制御する制御部と、
を備えた照明装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記照明光は、ターゲットに対してレーザ光を照射させることにより発生させたプラズマから生成されたＥＵＶ光を含み、
前記光学部材は、前記レーザ光の前記ターゲットへの照射位置を規定し、
前記駆動部は、前記レーザ光が前記ターゲットを所定の方向にスキャンするレーザ光移動成分を持つように前記光学部材を駆動させることにより、前記照明光に前記一方向へのスキャンの前記移動成分を持たせる、
請求項１に記載の照明装置。
【請求項３】
前記照明光は、プラズマから生成されたＥＵＶ光を含み、
前記光学部材は、前記プラズマの発生位置から前記試料までの光路上において、前記ＥＵＶ光が前記試料に照射される位置を規定する、
請求項１に記載の照明装置。
【請求項４】
前記駆動部は、前記ターゲット上における前記レーザ光の位置と時間との関係が三角波を含むように前記光学部材を駆動させる、
請求項２に記載の照明装置。
【請求項５】
前記駆動部は、前記ターゲット上における前記レーザ光の位置と時間との関係が三角波、正弦波及び矩形波の少なくともいずれかを重ね合わせた波を含むように前記光学部材を駆動させる、
請求項２に記載の照明装置。
【請求項６】
前記視野領域における前記照明光のスポットは、円形である、
請求項１に記載の照明装置。
【請求項７】
前記視野領域における前記照明光のスポットは、前記一方向に直交する他方向に長軸が延びた楕円形である、
請求項１に記載の照明装置。
【請求項８】
前記光学部材は、前記照明光を前記試料に対して反射させるミラー、前記照明光の照明位置をシフトさせるビームシフター、前記照明光の照明位置をシフトさせる音響光学素子、及び、電気光学素子のうち、少なくともいずれかを含み、
前記駆動部は、前記照明光が前記視野領域において前記一方向にスキャンするように、前記光学部材を駆動させる、
請求項１に記載の照明装置。
【請求項９】
前記ＴＤＩセンサは、複数の撮像素子を有する複数の撮像素子列を備え、同一の前記撮像素子列に属する撮像素子間で情報を転送し、
前記一方向は、前記撮像素子列が並ぶ方向と略同一である、
請求項１に記載の照明装置。
【請求項１０】
前記制御部は、前記ＴＤＩセンサの積算周期の１サイクルにおける、前記照明光の前記一方向における一方側の前記移動成分と前記一方向における他方側の前記移動成分とからなる往復スキャンの実行回数が整数となるように、前記駆動部を制御する、
請求項１に記載の照明装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、照明装置及び照明方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１～３には、半導体基板やフォトマスクに発生した欠陥の検査装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特表２０１６－５３４３４１号公報
特開２０１０－２３６９６６号公報
特開平１１－０７２９０５号公報
特開２０１９－１５８４３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ＥＵＶ（ＥｘｔｒｅｍｅＵｌｔｒａＶｉｏｌｅｔ）光を用いたマスク欠陥検査においては、試料の検査領域を均一に効率よく照明する必要がある。ＥＵＶ光を生成するＥＵＶ光源に、ＬＰＰ（ＬａｓｅｒＰｒｏｄｕｃｅｄＰｌａｓｍａ）方式を用い、照明光学系でクリティカル照明の構成を取る場合には、レーザ光の集光プロファイルがそのまま照明プロファイルに反映される。
【０００５】
例えば、ＬＰＰ方式におけるターゲットを励起するレーザ光の光軸に直交する断面の強度分布は、ガウシアンプロファイルを有している。このため、カメラ等のセンサにおける横長のセンサ面で検出される試料上の視野領域を、横長のフラットなプロファイルを有する照明光で均一に照明するためには、複雑な光学系を構築する必要がある。例えば、単一の集光ビームをシリンドリカルレンズ及び水晶板等によるビーム分割でフラットに近い照明プロファイルを有する照明光を形成することもできる。これにより、視野領域をカバーする形状に照明光を整形することができる。しかしながら、光学系が複雑になるとともに、視野領域外にはみ出る光量も多くなり非効率である。
【０００６】
特許文献４では、照明ＮＡ分布が位置によってばらつきが出るというデメリットがあるので光源側でスキャンする方法がよい。
【０００７】
本開示の目的は、このような問題を解決するためになされたものであり、検出器で検出される視野領域を均一に照明することができる照明装置及び照明方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示に係る照明装置は、試料における一方向に延びた領域の視野領域を照明光が前記一方向にスキャンするように光学部材を駆動させる駆動部と、前記照明光のスキャンを、前記照明光が照明した前記視野領域からの光を受光するＴＤＩセンサの積算周期に同期させるように前記駆動部を制御する制御部と、を備える。
【０００９】
上記照明装置では、前記照明光は、ターゲットに対してレーザ光を照射させることにより発生させたプラズマから生成されたＥＵＶ光を含み、前記光学部材は、前記レーザ光を前記ターゲットに対して反射させるミラーを含み、前記駆動部は、前記レーザ光が前記ターゲットを所定の方向にスキャンするように前記光学部材を駆動させることにより、前記照明光を前記視野領域において前記一方向にスキャンさせてもよい。
【００１０】
上記照明装置では、前記駆動部は、前記ターゲット上における前記レーザ光の位置と時間との関係が三角波を含むように前記光学部材を駆動させてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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