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公開番号2024122758
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-09
出願番号2023030477
出願日2023-02-28
発明の名称粘着剤組成物、および、粘着シート
出願人日東電工株式会社
代理人弁理士法人籾井特許事務所
主分類C09J 133/06 20060101AFI20240902BHJP(染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用)
要約【課題】紫外線照射前には優れた粘着力を発揮し、紫外線照射後には糊残りが低減され被着体から剥離し得る粘剤組成物およびこの粘着剤組成物を用いて形成された粘着剤層を備える粘着シートを提供すること。
【解決手段】本発明の実施形態の粘着剤組成物は、側鎖または末端に放射線重合性炭素-炭素二重結合が導入された(メタ)アクリル系ポリマーと、ポリオールと、イソシアネート系架橋剤と、光重合開始剤とを含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールと、イソシアネート系架橋剤と、光重合開始剤とを含む、粘着剤組成物。
続きを表示（約 660 文字）【請求項２】
前記ポリオールが第二級アルコールである、請求項１に記載の粘着剤組成物。
【請求項３】
前記ポリオールがポリプロピレングリコールユニットを含む、請求項１に記載の粘着剤組成物。
【請求項４】
放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたポリオール誘導体をさらに含む、請求項１に記載の粘着剤組成物。
【請求項５】
前記ポリオール誘導体が、少なくとも一方の末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されている、請求項４に記載の粘着剤組成物。
【請求項６】
前記（メタ）アクリル系ポリマーが側鎖に水酸基を有し、かつ、側鎖に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されている、請求項１に記載の粘着剤組成物。
【請求項７】
前記（メタ）アクリル系ポリマーが少なくとも一方の末端に、水酸基を有する、または、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されている、請求項６に記載の粘着剤組成物。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載の粘着剤組成物を用いて形成された粘着剤層と、
基材と、を備える、粘着シート。
【請求項９】
前記粘着剤層が、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたオリゴマーと、を含む、請求項８に記載の粘着シート。
【請求項１０】
半導体ウエハ加工用粘着シートである、請求項８に記載の粘着シート。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着剤組成物、および、粘着シートに関する。
続きを表示（約 2,900 文字）【背景技術】
【０００２】
粘着シートは、被着体の表面保護、および、固定を目的として広く用いられている。例えば、半導体ウエハの加工工程では、被着体である半導体ウエハをバックグラインド工程、および、ダイシング工程で適切に保持するために用いられる。近年、チップの微細化および薄型化が進められており、加工時に半導体ウエハを薄く研削しても半導体ウエハを適切に保持可能な粘着力が要求される。また、近年、半導体チップの高性能化に伴い、半導体チップの表面構造が複雑化している。そのため、より複雑な表面形状にも追従し、加工時に半導体ウエハを固定可能な粘着力を有する粘着シートが求められている。しかしながら、粘着力の高い粘着シートでは剥離時にウエハを破損するおそれがある。そのため、加工後は容易に被着体から剥離することができる軽剥離な粘着シートが求められている。このような粘着剤組成物としては、紫外線硬化型粘着剤を用いる粘着シートが提案されている（例えば、特許文献１）。粘着剤層を形成する粘着剤としては、溶剤を用いた粘着剤が広く用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－３１６２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、紫外線照射前には優れた粘着力を発揮し、紫外線照射後には糊残りが低減され被着体から剥離し得る粘着剤組成物、および、この粘着剤組成物を用いて形成される粘着剤層を備える粘着シートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
１．本発明の実施形態の粘着剤組成物は、側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールと、イソシアネート系架橋剤と、光重合開始剤とを含む。
２．上記１に記載の粘着剤組成物において、上記ポリオールは第二級アルコールであってもよい。
３．上記１または２に記載の粘着剤組成物において、上記ポリオールはポリプロピレングリコールユニットを含んでいてもよい。
４．上記１から３のいずれかに記載の粘着剤組成物は、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたポリオール誘導体をさらに含んでいてもよい。
５．上記４に記載の粘着剤組成物において、ポリオール誘導体は、少なくとも一方の末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていてもよい。
６．上記１から５のいずれかに記載の粘着剤組成物において、上記（メタ）アクリル系ポリマーは側鎖に水酸基を有し、かつ、側鎖に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていてもよい。
７．上記５に記載の粘着剤組成物において、上記（メタ）アクリル系ポリマーは少なくとも一方の末端に、水酸基を有していてもよく、または、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていてもよい。
８．本発明の実施形態の別の局面においては、粘着シートが提供される。この粘着シートは、上記１から７のいずれかに記載の粘着剤組成物を用いて形成された粘着剤層と、基材と、を備える。
９．上記８に記載の粘着シートにおいて、上記粘着剤層は、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたオリゴマーと、を含んでいてもよい。
１０．上記８または９に記載の粘着シートは、半導体ウエハ加工用粘着シートであってもよい。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の実施形態によれば、紫外線照射前には優れた粘着力を発揮し、紫外線照射後には糊残りが低減され被着体から剥離し得る粘着剤組成物が提供され得る。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
本発明の１つの実施形態による粘着シートの概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
Ａ．粘着剤組成物
本発明の実施形態の粘着剤組成物は側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールと、イソシアネート系架橋剤と、光重合開始剤とを含む。本発明の実施形態の粘着剤組成物は、溶媒としてポリオールを含む。この粘着剤組成物を用いて形成された粘着剤層を備える粘着シートは、架橋工程にさらに供され、粘着剤層中で側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールとが、イソシアネート系架橋剤により架橋され得る。その結果、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたオリゴマーの２種の活性エネルギー線硬化成分を含む粘着剤層を備える粘着シートが得られ得る。これらは粘着剤層に紫外線を照射することで硬化し得る。粘着剤組成物に含まれる溶媒であるポリオールも粘着剤層に含まれる硬化成分となるため、紫外線照射後には粘着剤層に含まれる溶媒の量は格段に低減され得る。また、形成される粘着剤層は濡れ性が良好であるので、より表面構造が複雑な半導体ウエハの加工にも好適に用いられ得る。本明細書において、（メタ）アクリルとは、アクリルおよび／またはメタクリルをいう。
【０００９】
粘着剤組成物の２５℃における粘度は、好ましくは３０ｍＰａ・ｓ以下であり、より好ましくは２０ｍＰａ・ｓ以下であり、さらに好ましくは１０ｍＰａ・ｓ以下である。また、２５℃における粘度は、例えば、１ｍＰａ・ｓ以上である。粘度が上記範囲であれば常温塗工が可能な粘着剤溶液が得られ得る。また、半導体ウエハを加工時にＳｉ（シリコン）ウエハを固定するのに十分な粘着力を発現し得る。粘着剤組成物の粘度は、任意の適切な方法で測定することができる。例えば、Ｂ型粘度計を用いることにより測定することができる。
【００１０】
Ａ－１．側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマー
側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーは、任意の適切な方法により得られ得る。例えば、任意の適切なモノマー組成物を重合することにより得られた（メタ）アクリル系ポリマーの側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合を導入することにより得られ得る。好ましくは側鎖および末端の両方に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーが用いられる。側鎖および末端の両方に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていれば、紫外線照射前にはさらに優れた粘着力を発揮し、紫外線照射後には糊残りが低減され被着体から剥離し得る粘着剤組成物が提供され得る。なお、末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入される場合、少なくとも一方の末端に導入されていればよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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