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公開番号2024076573
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-06
出願番号2022188179
出願日2022-11-25
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20240530BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】加工後に検査されたウェーハの管理を容易にする。
【解決手段】作業者によって検査対象棚として設定された第1カセット3の第1棚81および第8棚88に収容されていたウェーハ100が、加工後に、第2カセット4における、第1カセット3の検査対象棚と同じ位置の棚、すなわち、第2カセット4の第1棚81および第8棚88に収容される。これにより、作業者は、第2カセット4に収容された加工後に検査されるウェーハ100が、第1カセット3のどの棚に収納されていたのかを、容易に把握することができる。したがって、加工後に検査されたウェーハ100の管理が容易となる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
複数の棚を備えたカセットの該棚に収納されたウェーハを加工する加工装置であって、
ウェーハを保持する保持部と、
該保持部に保持されたウェーハを加工する加工ユニットと、
ウェーハが収納された第１カセットが載置される第１カセットステージと、
ウェーハが収納されていない第２カセットが載置される第２カセットステージと、
該第１カセットと該第２カセットと該保持部とに対してウェーハを搬送する搬送機構と、
該第１カセットにおける加工後に検査されるウェーハが収納されている棚である検査対象棚を設定するための設定部と、
制御部と、を備え、
該制御部は、該第１カセットの該検査対象棚に収納されていたウェーハを、加工後に、該搬送機構によって、該第２カセットにおける、該第１カセットの該検査対象棚と同じ位置の棚に収納する、加工装置。
続きを表示（約 290 文字）【請求項２】
ウェーハを加工する加工条件を複数設定する加工条件設定部をさらに備え、
該制御部は、加工条件ごとに少なくとも１つのウェーハを加工後に検査されるウェーハとして選択し、該第１カセットにおける選択されたウェーハが収容されている棚を、該検査対象棚として設定する、
請求項１記載の加工装置。
【請求項３】
該制御部は、ウェーハの品種ごとに少なくとも１つのウェーハを加工後に検査されるウェーハとして選択し、該第１カセットにおける選択されたウェーハが収容されている棚を、該検査対象棚として設定する、
請求項１記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示のように、ウェーハを研磨パッドで研磨する研磨装置は、カセットからウェーハを取り出して、チャックテーブルによってウェーハを保持して研磨加工し、研磨したウェーハを洗浄機構で洗浄して、カセットに収納している。
【０００３】
また、特許文献２および３に開示の研磨装置は、ウェーハの加工結果を検査するために、カセットを載置するカセットステージの下に、検査対象のウェーハ１枚を収納する収納部を備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２２－０５２１５２号公報
特開２０１０－２５１３４８号公報
特開２０１０－２５１３５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
例えば、カセットには、２５枚のウェーハが収納されている。そして、その２５枚のウェーハのうち、ランダムに５枚のウェーハを検査したい場合がある。この場合、上記のようなウェーハ１枚を収容する収納部では、５枚すべてを一度に収納することは困難である。そのため、研磨加工中にウェーハを収納部から取り出して、順次、検査を実施している。
【０００６】
しかし、この構成では、検査されたウェーハが、カセットの何番目の棚に収容されていたのか、わからなくなる。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、研磨装置のようにウェーハを加工する加工装置において、加工後に検査されたウェーハの管理を容易にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の加工装置（本加工装置）は、複数の棚を備えたカセットの該棚に収納されたウェーハを加工する加工装置であって、ウェーハを保持する保持部と、該保持部に保持されたウェーハを加工する加工ユニットと、ウェーハが収納された第１カセットが載置される第１カセットステージと、ウェーハが収納されていない第２カセットが載置される第２カセットステージと、該第１カセットと該第２カセットと該保持部とに対してウェーハを搬送する搬送機構と、該第１カセットにおける加工後に検査されるウェーハが収納されている棚である検査対象棚を設定するための設定部と、制御部と、を備え、該制御部は、該第１カセットの該検査対象棚に収納されていたウェーハを、加工後に、該搬送機構によって、該第２カセットにおける、該第１カセットの該検査対象棚と同じ位置の棚に収納する。
【０００９】
本加工装置は、ウェーハを加工する加工条件を複数設定する加工条件設定部をさらに備えてもよく、該制御部は、加工条件ごとに少なくとも１つのウェーハを加工後に検査されるウェーハとして選択し、該第１カセットにおける選択されたウェーハが収容されている棚を、該検査対象棚として設定してもよい。
【００１０】
本加工装置では、該制御部は、ウェーハの品種ごとに少なくとも１つのウェーハを加工後に検査されるウェーハとして選択し、該第１カセットにおける選択されたウェーハが収容されている棚を、該検査対象棚として設定してもよい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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