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公開番号2024075047
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-03
出願番号2022186183
出願日2022-11-22
発明の名称X線回折測定装置
出願人株式会社不二越
代理人個人,個人
主分類G01N 23/20 20180101AFI20240527BHJP(測定;試験)
要約【課題】回折X線強度の測定精度の低下を抑制する。
【解決手段】X線を生成して測定対象物に向けて出射する管球20と、X線の測定対象物に対する照射範囲を調整するコリメータ22と、レーザ光を測定対象物側に出射するレーザ光源24と、測定対象物にて回折したX線を検出する検出センサ40と、を備えるX線回折測定装置1であって、管球20とコリメータ22との間に配設され、X線及びレーザ光を遮蔽する本体部50を有する遮蔽板32と、遮蔽板32を、第三方向D3に沿って移動させるソレノイド34と、ソレノイド34を制御するコンピュータ14と、を備え、遮蔽板32には、レーザ光源24からのレーザ光をコリメータ22側に偏向させる偏向面58と、X線をコリメータ22側に通過させる貫通穴部60と、が形成されている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
Ｘ線を生成して測定対象物に向けて出射する管球と、前記Ｘ線の前記測定対象物に対する照射範囲を調整するコリメータと、レーザ光を前記測定対象物側に出射するレーザ光出射器と、前記測定対象物にて回折したＸ線を検出するＸ線検出器と、を備えるＸ線回折測定装置であって、
前記管球と前記コリメータとの間に配設され、前記Ｘ線及び前記レーザ光を遮蔽する本体部を有する遮蔽板と、
前記遮蔽板を、前記管球の軸方向及び前記Ｘ線の出射方向に沿った方向と交差する方向に沿って移動させる駆動機構と、
前記駆動機構を制御する制御部と、
を備え、
前記遮蔽板には、前記レーザ光出射器からの前記レーザ光を前記コリメータ側に偏向させる偏向部と、前記Ｘ線を前記コリメータ側に通過させる貫通穴部と、が形成されている、
Ｘ線回折測定装置。
続きを表示（約 420 文字）【請求項２】
前記駆動機構は、
前記レーザ光を前記測定対象物に照射させる場合には、前記偏向部が前記コリメータ上に位置するように前記遮蔽板を移動させ、
前記測定対象物にて回折した前記Ｘ線を前記Ｘ線検出器で検出する場合には、前記貫通穴部が前記コリメータ上に位置するように前記遮蔽板を移動させ、
前記Ｘ線検出器の環境ノイズを測定する場合には、前記本体部が前記コリメータ上に位置するように前記遮蔽板を移動させる、
請求項１に記載のＸ線回折測定装置。
【請求項３】
前記貫通穴部の直径は、前記コリメータの直径と略等しい、
請求項１又は２に記載のＸ線回折測定装置。
【請求項４】
前記Ｘ線検出器は、前記測定対象物にて回折したＸ線を検出するセンサ部と、検出されたＸ線を電気信号に変換する回路部と、を含む検出センサである、
請求項１又は２に記載のＸ線回折測定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線回折測定装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、測定対象物に向けてＸ線を照射し、当該測定対象物にて回折したＸ線の回折強度に基づき、当該測定対象物の残留応力等を測定するＸ線回折測定装置が知られている。
【０００３】
このようなＸ線回折測定装置として、例えば下記特許文献１には、Ｘ線を生成して測定対象物に向けて出射する管球と、Ｘ線が測定対象物に照射される範囲を調整するコリメータと、測定対象物にて回折したＸ線を検出するＸ線検出器と、を備えるＸ線回折測定装置が開示されている。また、このようなＸ線回折測定装置においては、一般的に、Ｘ線照射点の位置決めをするためにレーザ光を測定対象物側に出射するレーザ光出射器が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２２－８１８２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のＸ線回折測定装置においては、Ｘ線検出器の環境ノイズ（少なくともＸ線を測定対象物に照射させない状態での検出値）を考慮してＸ線の回折強度を測定する必要がある。従来、この環境ノイズは、Ｘ線の回折強度を測定する直前に測定しているが、例えばＸ線の回折強度を連続的に測定する場合、Ｘ線検出器の発熱やレーザ光を含む各種光源の影響等によって環境ノイズが変化する可能性がある。しかしながら、Ｘ線回折測定装置で一般的に用いられるＸ線管球では、Ｘ線のＯＮ／ＯＦＦ切り替えを瞬時に行って環境ノイズを測定することは困難であるため、Ｘ線の回折強度を連続的に測定する場合等における環境ノイズの変化に起因してＸ線の回折強度の測定精度が低下するおそれがある。
【０００６】
そこで、本発明は、Ｘ線の回折強度の測定精度の低下を抑制することができるＸ線回折測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第一態様に係るＸ線回折測定装置は、Ｘ線を生成して測定対象物に向けて出射する管球と、前記Ｘ線の前記測定対象物に対する照射範囲を調整するコリメータと、レーザ光を前記測定対象物側に出射するレーザ光出射器と、前記測定対象物にて回折したＸ線を検出するＸ線検出器と、を備えるＸ線回折測定装置であって、前記管球と前記コリメータとの間に配設され、前記Ｘ線及び前記レーザ光を遮蔽する本体部を有する遮蔽板と、前記遮蔽板を、前記管球の軸方向及び前記Ｘ線の出射方向に沿った方向と交差する方向に沿って移動させる駆動機構と、前記駆動機構を制御する制御部と、を備え、前記遮蔽板には、前記レーザ光出射器からの前記レーザ光を前記コリメータ側に偏向させる偏向部と、前記Ｘ線を前記コリメータ側に通過させる貫通穴部と、が形成されている。
【０００８】
本発明の第二態様に係るＸ線回折測定装置では、前記駆動機構は、前記レーザ光を前記測定対象物に照射させる場合には、前記偏向部が前記コリメータ上に位置するように前記遮蔽板を移動させ、前記測定対象物にて回折した前記Ｘ線を前記Ｘ線検出器で検出する場合には、前記貫通穴部が前記コリメータ上に位置するように前記遮蔽板を移動させ、前記Ｘ線検出器の環境ノイズを測定する場合には、前記本体部が前記コリメータ上に位置するように前記遮蔽板を移動させる。
【０００９】
本発明の第三態様に係るＸ線回折測定装置では、前記貫通穴部の直径は、前記コリメータの直径と略等しい。
【００１０】
本発明の第四態様に係るＸ線回折測定装置では、前記Ｘ線検出器は、前記測定対象物にて回折したＸ線を検出するセンサ部と、検出されたＸ線を電気信号に変換する回路部と、を含む検出センサである。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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