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公開番号2024074758
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-31
出願番号2023098165
出願日2023-06-15
発明の名称光学部材の製造方法、及び発光装置の製造方法
出願人日亜化学工業株式会社
代理人弁理士法人新樹グローバル・アイピー
主分類H01L 23/02 20060101AFI20240524BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】表面に凹凸を形成する光学部材の製造方法、及び発光装置の製造方法を提供する。
【解決手段】
周辺部と、前記周辺部に囲まれ前記周辺部から凹んだ複数の凹部と、を備える上面を有し、前記周辺部は、3以上の前記凹部と外接する円で規定される複数の第1領域と、前記第1領域に挟まれた複数の第2領域と、を備える透光性の光学部材中間体を準備する工程と、
前記光学部材中間体の上面に、酸素ラジカル、CF₄、CHF₃、SF₆から選択される少なくともいずれか1つを含む雰囲気下においてプラズマを照射することにより、前記第1領域の中心の高さを第2領域の高さよりも高くする工程と、
を含む光学部材の製造方法。
【選択図】図2C
特許請求の範囲【請求項１】
周辺部と、前記周辺部に囲まれ前記周辺部から凹んだ複数の凹部と、を備える上面を有し、前記周辺部は、３以上の前記凹部と外接する円で規定される複数の第１領域と、前記第１領域に挟まれた複数の第２領域と、を備える透光性の光学部材中間体を準備する工程と、
前記光学部材中間体の上面に、酸素ラジカル、ＣＦ
４
、ＣＨＦ
３
、ＳＦ
６
から選択される少なくともいずれか１つを含む雰囲気下においてプラズマを照射することにより、前記第１領域の中心の高さを第２領域の高さよりも高くする工程と、
を含む光学部材の製造方法。
続きを表示（約 720 文字）【請求項２】
前記凹部は、上面視において開口部の形状が円形である、請求項１に記載の光学部材の製造方法。
【請求項３】
前記凹部は、上面視において開口部の形状が四角形である、請求項１に記載の光学部材の製造方法。
【請求項４】
前記凹部は、上面視において前記凹部の中心が三角格子の格子点に配置される、請求項１に記載の光学部材の製造方法。
【請求項５】
前記凹部は、上面視において前記凹部の中心が四角格子の格子点に配置される、請求項１に記載の光学部材の製造方法。
【請求項６】
前記凹部の開口径は、０．２μｍ～５０μｍである、請求項１に記載の光学部材の製造方法。
【請求項７】
前記凹部間の距離は、前記凹部の開口径の１０１％～１５０％である、請求項６に記載の光学部材の製造方法。
【請求項８】
上面と、前記上面に形成され互いに離隔する複数の凹部と、を備える光学部材中間体と、発光素子と、を備える発光装置中間体であって、前記光学部材中間体の前記上面は、前記凹部の周囲において、３以上の前記凹部と外接する円で規定される複数の第１領域と、前記第１領域に挟まれた複数の第２領域と、を備える発光装置中間体を準備する工程と、
前記光学部材中間体の表面に、酸素ラジカル、ＣＦ
４
、ＣＨＦ
３
、ＳＦ
６
から選択される少なくともいずれか１つを含む雰囲気下においてプラズマを照射することにより、前記第１領域の中心の高さを前記第２領域の高さよりも高くする工程と、
を含む発光装置の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、光学部材の製造方法、及び発光装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
透光性部材の表面に凹凸形状を形成する方法が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－０３２８０６号公報
特開２０１６－００１６３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
表面に凹凸を形成する光学部材の製造方法、及び発光装置の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示は、以下の構成を含む。
周辺部と、前記周辺部に囲まれ前記周辺部から凹んだ複数の凹部と、を備える上面を有し、前記周辺部は、３以上の前記凹部と外接する円で規定される複数の第１領域と、前記第１領域に挟まれた複数の第２領域と、を備える透光性の光学部材中間体を準備する工程と、
前記光学部材中間体の上面に、酸素ラジカル、ＣＦ
４
、ＣＨＦ
３
、ＳＦ
６
から選択される少なくともいずれか１つを含む雰囲気下においてプラズマを照射することにより、前記第１領域の中心の高さを第２領域の高さよりも高くする工程と、
を含む光学部材の製造方法。
【発明の効果】
【０００６】
本開示のある実施形態によれば、表面に凹凸を形成する光学部材の製造方法、光学部材を備える発光装置及びその製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
実施形態に係る光学部材中間体を示す模式斜視図である。
実施形態に係る光学部材中間体の一部を示す模式上面図である。
実施形態に係る光学部材中間体の一部を示す模式上面図である。
図１ＣのＩＤ－ＩＤ線における切断面を示す模式端面図である。
実施形態に係る光学部材中間体の一部を示す模式上面図である。
図１ＥのＩＦ－ＩＦ線における切断面を示す模式端面図である。
実施形態に係る光学部材の一部を示す模式上面図である。
実施形態に係る光学部材の一部を示す模式上面図である。
図２ＢのＩＩＣ－ＩＩＣ線における切断面を示す模式端面図である。
実施形態に係る光学部材中間体の一部を示す模式上面図である。
図２ＤのＩＩＥ－ＩＩＥ線における切断面を示す模式端面図である。
実施形態に係る光学部材の一部を示す模式上面図である。
実施形態に係る光学部材の一部を示す模式上面図である。
図３ＢのＩＩＩＣ－ＩＩＩＣ線における切断面を示す模式端面図である。
実施形態に係る光学部材の一部を示す写真である。
実施形態に係る光学部材の一部を示す写真である。
実施形態に係る光学部材中間体の一部を示す模式上面図である。
実施形態に係る光学部材中間体の一部を示す模式上面図である。
実施形態に係る光学部材中間体の一部を示す模式上面図である。
実施形態に係る発光装置を示す模式断面図である。
実施形態に係る発光装置の製造方法を示す図である。
実施形態に係る発光装置の製造方法を示す図である。
実施形態に係る発光装置の製造方法を示す図である。
実施形態に係る発光装置の製造方法を示す図である。
実施形態に係る発光装置の製造方法を示す図である。
実施形態に係る発光装置を示す模式断面図である。
図９ＡのＩＸＢ線における模式断面図である。
実施形態に係る発光装置中間体を示す模式斜視図である。
実施形態に係る発光装置中間体を示す模式上面図である。
実施例の透過率を示すグラフである。
実施例の透過率を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面に基づいて本発明を詳細に説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向や位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、及びそれらの用語を含む別の用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した発明の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本発明の技術的範囲が制限されるものではない。また、複数の図面に表れる同一符号の部分は同一もしくは同等の部分又は部材を示す。また、各部材は、例えば硬化の前後において、あるいは、切断の前後等において、状態や形状等が異なる場合であっても同じ名称を用いる場合がある。
【０００９】
さらに以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための光学部材又は発光装置を例示するものであって、本発明を以下に限定するものではない。また、以下に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、特定的な記載がない限り、本発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、例示することを意図したものである。また、一の実施の形態において説明する内容は、他の実施の形態にも適用可能である。また、図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。
【００１０】
本実施形態に係る製造方法において、準備した中間体にプラズマを照射することで、光学部材又は発光装置を得ることができる。本明細書において、プラズマを照射することで光学部材となる中間体のことを「光学部材中間体」と称する場合がある。また、中間体のうち、プラズマを照射することで発光装置となる中間体のことを「発光装置中間体」と称する場合がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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