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公開番号2024074691
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-31
出願番号2022186016
出願日2022-11-21
発明の名称燃焼ノズル及び燃焼式排ガス処理装置
出願人大陽日酸株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類F23D 14/58 20060101AFI20240524BHJP(燃焼装置;燃焼方法)
要約【課題】ノズル先端部への金属含有粉体の堆積を抑制し易い燃焼ノズル及び燃焼式排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】第1筒体と、第2筒体と、第1筒体と第2筒体を連ねる環状壁4と、環状壁4を貫通し、燃料ガス噴射口を形成する貫通孔7と、第1筒体よりも内側に形成される処理対象ガス噴射口とを有し、貫通孔7は、第1筒体の中心軸線Oを含む縦断面において、貫通孔7によって径方向の外側端縁7aと内側端縁7bによって形成される流路が軸方向の先端側に向けて径方向の内側に傾斜する方向に延び、当該流路の延長上に第1筒体の先端部の外周面が存在し、且つ、軸方向の環状壁4の厚みTが径方向の内側に向けて低減するように設けられる、燃焼ノズル1a。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
第１筒体と、第２筒体と、前記第１筒体と前記第２筒体を連ねる環状壁と、前記環状壁を貫通し、燃料ガス噴射口を形成する貫通孔と、前記第１筒体よりも内側に形成される処理対象ガス噴射口とを有し、
前記貫通孔は、前記第１筒体の中心軸線を含む縦断面において、前記貫通孔によって径方向の外側端縁と内側端縁によって形成される流路が軸方向の先端側に向けて前記径方向の内側に傾斜する方向に延び、当該流路の延長上に前記第１筒体の先端部の外周面が存在し、且つ、前記軸方向の前記環状壁の厚みが前記径方向の内側に向けて低減するように設けられる、燃焼ノズル。
続きを表示（約 690 文字）【請求項２】
前記縦断面において、前記貫通孔の前記外側端縁と前記内側端縁が互いに平行な直線状をなす、請求項１に記載の燃焼ノズル。
【請求項３】
前記軸方向に見たときに前記貫通孔が前記径方向に直線状に延びるスリット状をなす、請求項１に記載の燃焼ノズル。
【請求項４】
請求項１～３の何れか１項に記載の燃焼ノズルと、前記燃焼ノズルから噴射される処理対象ガスと燃料ガスによって燃焼反応部を内側に形成する燃焼筒とを有し、
前記燃焼ノズルは、前記処理対象ガス噴射口よりも前記径方向の外側で且つ前記燃料ガス噴射口よりも前記径方向の内側に、窒素ガス噴射口を有し、
前記燃焼ノズルは、前記燃料ガス噴射口よりも高濃度の燃料ガスを噴射する更なる燃料ガス噴射口を、前記窒素ガス噴射口よりも径方向外側で且つ前記燃料ガス噴射口よりも前記径方向の内側に有し、
前記燃焼筒は、支燃性ガスを前記燃焼反応部に向けて噴射する支燃性ガス噴射口を有する、燃焼式排ガス処理装置。
【請求項５】
請求項１～３の何れか１項に記載の燃焼ノズルと、前記燃焼ノズルから噴射される処理対象ガスと燃料ガスによって燃焼反応部を内側に形成する燃焼筒とを有し、
前記燃焼ノズルは、前記処理対象ガス噴射口よりも前記径方向の外側で且つ前記燃料ガス噴射口よりも前記径方向の内側に、窒素ガス噴射口を有し、
前記燃焼筒は、燃料ガスに支燃性ガスを予め混合した予混合ガスを前記燃焼反応部に向けて噴射する予混合ガス噴射口を有する、燃焼式排ガス処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は燃焼ノズル及び燃焼式排ガス処理装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置等から排出される、窒素ガスで希釈された有害成分を含む処理対象ガスを大気開放などの前に除害処理する燃焼式排ガス処理装置のための燃焼ノズルが知られている（例えば特許文献１～２参照）。
【０００３】
燃焼ノズルは、第１筒体と、第２筒体と、第１筒体と第２筒体を連ねる環状壁と、環状壁を貫通し、燃料ガス噴射口を形成する貫通孔と、第１筒体よりも内側に形成される処理対象ガス噴射口とを有する。貫通孔は、第１筒体の中心軸線を含む縦断面において、貫通孔によって径方向の外側端縁と内側端縁によって形成される流路が軸方向の先端側に向けて径方向の内側に傾斜する方向に延びるように設けられる。
【０００４】
燃焼式排ガス処理装置は、燃焼ノズルと、燃焼ノズルの径方向中心部から噴射される処理対象ガスと燃料ガスによって燃焼反応部を内側に形成する燃焼筒とを有する。燃焼反応部によって処理対象ガスが処理される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第６７３４８２１号公報
特許第４５３５５５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
処理対象ガスが六フッ化タングステン（ＷＦ
６
）のような酸化又は熱分解反応により紛体を発生する成分を含む場合など、処理対象ガスの成分と濃度などによっては、金属含有粉体がノズル先端部に堆積し、燃焼ノズルの性能に影響する場合がある。しかし、金属含有粉体は硬いため、機械的な粉体除去装置などによって自動的に清掃を行うことが難しく、通常、分解清掃などのメンテナンス作業によって除去する必要がある。ノズル先端部への金属含有粉体の堆積を抑制できれば、メンテナンス作業の頻度抑制などの望ましい効果を得ることができる。
【０００７】
そこで本発明の目的は、ノズル先端部への金属含有粉体の堆積を抑制し易い燃焼ノズル及び燃焼式排ガス処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様は以下のとおりである。
【０００９】
［１］
第１筒体と、第２筒体と、前記第１筒体と前記第２筒体を連ねる環状壁と、前記環状壁を貫通し、燃料ガス噴射口を形成する貫通孔と、前記第１筒体よりも内側に形成される処理対象ガス噴射口とを有し、
前記貫通孔は、前記第１筒体の中心軸線を含む縦断面において、前記貫通孔によって径方向の外側端縁と内側端縁によって形成される流路が軸方向の先端側に向けて前記径方向の内側に傾斜する方向に延び、当該流路の延長上に前記第１筒体の先端部の外周面が存在し、且つ、前記軸方向の前記環状壁の厚みが前記径方向の内側に向けて低減するように設けられる、燃焼ノズル。
【００１０】
［２］
前記縦断面において、前記貫通孔の前記外側端縁と前記内側端縁が互いに平行な直線状をなす、［１］に記載の燃焼ノズル。
（【００１１】以降は省略されています）

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