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公開番号2024070431
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-23
出願番号2022180915
出願日2022-11-11
発明の名称研削ホイール及び研削ホイールの装着方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B24B 45/00 20060101AFI20240516BHJP(研削;研磨)
要約【課題】スピンドルへの装着が容易な研削ホイールを提供する。
【解決手段】被加工物を研削する研削ホイールであって、第1面及び第2面を含むホイール基台と、ホイール基台の第1面側に設けられた磁石と、ホイール基台の第2面側に設けられた砥石と、を備え、磁石の磁力によってスピンドルの先端部に装着可能である。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を研削する研削ホイールであって、
第１面及び第２面を含むホイール基台と、
該ホイール基台の該第１面側に設けられた磁石と、
該ホイール基台の該第２面側に設けられた砥石と、を備え、
該磁石の磁力によってスピンドルの先端部に装着可能であることを特徴とする研削ホイール。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
該ホイール基台の該第１面側には、該スピンドルの先端部に設けられた凸部が挿入される凹部、又は、該スピンドルの先端部に設けられた凹部に挿入される凸部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の研削ホイール。
【請求項３】
スピンドルの先端部に研削ホイールを装着する研削ホイールの装着方法であって、
第１面及び第２面を含むホイール基台と、該ホイール基台の該第２面側に設けられた砥石と、を備える該研削ホイールを準備する準備ステップと、
該スピンドルの先端部と該ホイール基台の該第１面側との一方又は両方に設けられた磁石の磁力によって、該研削ホイールを該スピンドルの先端部に装着する装着ステップと、を含むことを特徴とする研削ホイールの装着方法。
【請求項４】
該スピンドルの先端部には、凸部又は凹部の一方が設けられ、
該ホイール基台の該第１面側には、凸部又は凹部の他方が設けられ、
該装着ステップでは、該凸部が該凹部に挿入されるように、該研削ホイールを該スピンドルの先端部に装着することを特徴とする請求項３に記載の研削ホイールの装着方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を研削する研削ホイール、及び、該研削ホイールをスピンドルの先端部に装着する研削ホイールの装着方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
複数のデバイスが形成されたウェーハを分割して個片化することにより、デバイスを備えるデバイスチップが製造される。また、複数のデバイスチップを所定の基板上に実装し、実装されたデバイスチップを樹脂層（モールド樹脂）で被覆して封止することにより、パッケージ基板が形成される。このパッケージ基板を分割して個片化することにより、パッケージ化された複数のデバイスチップを備えるパッケージデバイスが製造される。デバイスチップやパッケージデバイスは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に組み込まれる。
【０００３】
近年では、電子機器の小型化に伴い、デバイスチップやパッケージデバイスの薄型化が求められている。そこで、研削装置を用いて分割前のウェーハやパッケージ基板を研削して薄化する処理が実施されることがある。研削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、被加工物に研削加工を施す研削ユニットとを備える。研削ユニットにはスピンドルが内蔵されており、スピンドルの先端部に複数の砥石（研削砥石）を含む環状の研削ホイールが装着される。被加工物をチャックテーブルで保持し、チャックテーブル及び研削ホイールを回転させつつ砥石を被加工物に接触させることにより、被加工物が研削、薄化される。
【０００４】
研削ホイールの装着は、オペレータの手作業によって行われる。例えば、スピンドルの先端部にはボルトが挿入される挿入孔が設けられており、研削ホイールにはボルトがねじ込まれるねじ穴が設けられている。そして、固定用のボルトを、スピンドルの貫通孔を介して研削ホイールにねじ込むことにより、研削ホイールがスピンドルの先端部に固定される（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００７－２９６６０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のようにボルトを用いて研削ホイールをスピンドルの先端部に装着する場合、オペレータは、スピンドルに設けられた貫通孔と研削ホイールに設けられたねじ穴との位置が一致するように研削ホイールを位置付け、研削ホイールをその位置で保持したまま、ボルトを研削ホイールのねじ穴にねじ込む作業を複数回実施する必要がある。そのため、研削ホイールの装着作業には手間と時間がかかる。特に、研削ホイールの径が大きい場合は、研削ホイールの重量が増すため、研削ホイールの装着に要する労力も増大する。
【０００７】
また、研削装置内の狭いスペースで研削ホイールを支えながらボルトを締結する作業は難易度が高く、オペレータが誤ってボルトを研削装置内に落下させてしてしまうことがある。落下したボルトを放置したまま研削装置を稼働させると、ボルトが研削装置に搭載されている移動機構等の構成要素の動作を阻害し、研削装置が故障するおそれがある。そのため、ボルトが落下した際にはボルトを探索して回収する作業が必要となるが、これによって研削ホイールの装着作業が停滞してしまう。
【０００８】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、スピンドルへの装着が容易な研削ホイール、及び、該研削ホイールをスピンドルに装着する研削ホイールの装着方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、被加工物を研削する研削ホイールであって、第１面及び第２面を含むホイール基台と、該ホイール基台の該第１面側に設けられた磁石と、該ホイール基台の該第２面側に設けられた砥石と、を備え、該磁石の磁力によってスピンドルの先端部に装着可能である研削ホイールが提供される。
【００１０】
なお、好ましくは、該ホイール基台の該第１面側には、該スピンドルの先端部に設けられた凸部が挿入される凹部、又は、該スピンドルの先端部に設けられた凹部に挿入される凸部が設けられている。
（【００１１】以降は省略されています）

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