特許ウォッチ

公開番号2024068981
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-21
出願番号2022179706
出願日2022-11-09
発明の名称拡張方法及び拡張装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/301 20060101AFI20240514BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】チップ同士の接触を抑制することができること。
【解決手段】拡張方法は、ワークユニットのフレームをフレーム固定ユニットで固定するフレーム固定ステップ302と、ワークユニットのエキスパンドテープ側からワークの外側のエキスパンドテープを押圧してエキスパンドテープを拡張する拡張ステップ303と、保持テーブルでエキスパンドテープを介してワークを吸引保持する保持ステップ304と、保持テーブルの保持面をフレーム固定ユニットのフレーム載置プレートの上面の高さ位置に近づくように保持テーブルを第1の速度で下降させる第1速度テーブル移動ステップ305と、保持面と上面が同一面になるように保持テーブルを第1の速度よりも低速の第2の速度で下降させる第2速度テーブル移動ステップ306と、ワークの外側のエキスパンドテープを加熱し収縮させる収縮ステップ307と、を備える。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
ワークがテープを介してフレームに装着されたワークユニットの該テープを拡張する拡張方法であって、
該ワークユニットの該フレームを支持するフレーム支持面を含むフレーム支持部と該フレーム支持部とともに該フレームを挟持するフレーム押さえ部とを備えたフレーム固定ユニットで該フレームを固定するフレーム固定ステップと、
該フレーム固定ステップを実施した後、該ワークユニットの該テープ側から該ワークの外側の該テープを押圧して該テープを拡張し該ワークを該フレーム支持面から離反した位置に位置づける拡張ステップと、
該拡張ステップを実施した後、該ワークを吸引保持する保持面を有したテーブルで該テープを介して該ワークを吸引保持する保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、該テーブルの該保持面を該フレーム支持面の高さ位置に近づくように該テーブルを第１の速度で移動させる第１速度テーブル移動ステップと、
該第１速度テーブル移動ステップを実施した後、該テーブルの保持面と該フレーム支持面が同一面になるように該テーブルを該第１の速度よりも低速の第２の速度で移動させる第２速度テーブル移動ステップと、
該ワークの外側の該テープを加熱し収縮させる収縮ステップと、を備えた拡張方法。
続きを表示（約 820 文字）【請求項２】
該収縮ステップは、該第２速度テーブル移動ステップの実施後に実施される、請求項１に記載の拡張方法。
【請求項３】
該収縮ステップは、少なくとも該第２速度テーブル移動ステップと同時に実施される、請求項１に記載の拡張方法。
【請求項４】
ワークがテープを介してフレームに装着されたワークユニットの該テープを拡張する拡張装置であって、
該ワークユニットの該フレームを支持するフレーム支持面を含むフレーム支持部と、該フレーム支持部を昇降させる昇降ユニットと、該昇降ユニットにより上昇させたフレーム支持部とともに該フレームを挟持するフレーム押さえ部と、を備えるフレーム固定ユニットと、
該フレーム固定ユニットで該フレームが固定された該ワークユニットの該テープ側から該ワークの外側の該テープを押圧して該テープを拡張し該ワークを該フレーム支持面から離反した位置に位置づける押圧部材と、該押圧部材が該テープを拡張した状態で、該ワークが載置された保持面に該テープを介して該ワークを吸引保持するテーブルと、該押圧部材を昇降させるとともに該押圧部材を上昇させると該テープを拡張し該ワークを該フレーム支持面から離反した位置に位置づける押圧部材昇降ユニットと、該テーブルが該テープを介して該ワークを吸引保持し、該昇降ユニットが該フレーム支持部を下降させ、該押圧部材昇降ユニットが該押圧部材を下降させた状態で、該テーブルの該保持面を該フレーム支持面の高さ位置に近づくように該テーブルを第１の速度で移動させるとともに、該テーブルを該第１の速度で移動させた後、該テーブルの該保持面と該フレーム支持面が同一面になるように該テーブルを該第１の速度よりも低速の第２の速度で移動させるテーブル移動ユニットと、を備えた拡張ユニットと、
該ワークの外側の該テープを加熱し収縮させる加熱ユニットと、を備えた拡張装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、拡張方法及び拡張装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
ワークやダイアタッチフィルム等のワークがシートを介してフレームに装着されたワークユニットにおいてシートを拡張することでワークを分割する拡張装置が広く利用されている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
【０００３】
前述した特許文献１及び特許文献に示された拡張装置は、シートを拡張することでシートには弛みが形成されるが、シートが弛んだ状態だとワークが分割されて形成されたチップ同士が接触して損傷しかねない。
【０００４】
そこで、前述した特許文献１及び特許文献に示された拡張装置は、シート拡張後には弛んだシートを加熱して収縮させている。具体的には、シートが拡張された状態でシートを介してワークを吸引テーブルで吸引保持し、隣接するチップ間の間隔を維持してからワークをフレームと同一面に位置づけている。ワークがフレームと同一高さに位置づけられるとシートには弛みが形成され、この弛んだシートを加熱することで収縮させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００７－１５７８８７号公報
特開２０１６－１２５８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１及び特許文献２に示された拡張装置は、ワークをフレームと同一面に位置づける間に、シートがテーブルの保持面から剥がれ、負圧がリークしてしまうことがあり、シートがテーブルの保持面から剥がれると、チップ同士が接触して損傷しかねない。
【０００７】
本発明の目的は、チップ同士の接触を抑制することができる拡張方法及び拡張装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の拡張方法は、ワークがテープを介してフレームに装着されたワークユニットの該テープを拡張する拡張方法であって、該ワークユニットの該フレームを支持するフレーム支持面を含むフレーム支持部と該フレーム支持部とともに該フレームを挟持するフレーム押さえ部とを備えたフレーム固定ユニットで該フレームを固定するフレーム固定ステップと、該フレーム固定ステップを実施した後、該ワークユニットの該テープ側から該ワークの外側の該テープを押圧して該テープを拡張し該ワークを該フレーム支持面から離反した位置に位置づける拡張ステップと、該拡張ステップを実施した後、該ワークを吸引保持する保持面を有したテーブルで該テープを介して該ワークを吸引保持する保持ステップと、該保持ステップを実施した後、該テーブルの該保持面を該フレーム支持面の高さ位置に近づくように該テーブルを第１の速度で移動させる第１速度テーブル移動ステップと、該第１速度テーブル移動ステップを実施した後、該テーブルの保持面と該フレーム支持面が同一面になるように該テーブルを該第１の速度よりも低速の第２の速度で移動させる第２速度テーブル移動ステップと、該ワークの外側の該テープを加熱し収縮させる収縮ステップと、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
前記拡張方法において、該収縮ステップは、該第２速度テーブル移動ステップの実施後に実施されても良い。
【００１０】
前記拡張方法において、該収縮ステップは、少なくとも該第２速度テーブル移動ステップと同時に実施されても良い。
（【００１１】以降は省略されています）

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