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公開番号2024073709
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-30
出願番号2022184560
出願日2022-11-18
発明の名称拡張装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/301 20060101AFI20240523BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】拡張可能なシートの加熱を適切、かつ、簡易に実施する拡張装置を提供する。
【解決手段】被加工物13と、被加工物13に固定された拡張可能なシート19と、シート19の外周部が固定された環状のフレーム21と、を含む被加工物ユニット11のシート19を拡張する拡張装置2であって、フレーム21を保持してシート19を拡張する拡張ユニット28と、発熱部84及び発熱部84の温度を測定する第1の温度計86を有し、拡張ユニット28によって拡張されたシート19のうち被加工物13又はフレーム21に固定されていない領域を発熱部84によって加熱して収縮させる加熱ユニット30と、発熱部84の温度を測定する第2の温度計と、第2の温度計90を発熱部84と対面するように位置付ける移動機構66と、実際の発熱部84の温度の予測値を補正するコントローラ42と、を有する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物と、該被加工物に固定された拡張可能なシートと、該シートの外周部が固定された環状のフレームと、を含む被加工物ユニットの該シートを拡張する拡張装置であって、
該フレームを保持して該シートを拡張する拡張ユニットと、
発熱部及び該発熱部の温度を測定する第１の温度計を有し、該拡張ユニットによって拡張された該シートのうち該被加工物又は該フレームに固定されていない領域を該発熱部によって加熱して収縮させる加熱ユニットと、
該発熱部の温度を測定する第２の温度計と、
該第２の温度計を該発熱部と対面するように位置付ける移動機構と、
該第１の温度計によって測定された該発熱部の温度に基づいて実際の該発熱部の温度の予測値を算出するとともに、該予測値を、該発熱部と対面するように位置付けられた該第２の温度計によって測定された該発熱部の温度に近づくように補正するコントローラと、を有することを特徴とする拡張装置。
続きを表示（約 150 文字）【請求項２】
該被加工物ユニットを搬送する搬送ユニットをさらに備え、
該搬送ユニットは、該第２の温度計及び該移動機構を有することを特徴とする請求項１に記載の拡張装置。
【請求項３】
該第２の温度計は、非接触式の温度計であることを特徴とする請求項１又は２に記載の拡張装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物に固定されたシートを拡張する拡張装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
デバイスチップの製造プロセスでは、互いに交差する複数のストリート（分割予定ライン）によって区画された複数の領域にそれぞれデバイスが形成されたウェーハが用いられる。このウェーハをストリートに沿って分割することにより、デバイスを備えるチップ（デバイスチップ）が得られる。デバイスチップは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に組み込まれる。
【０００３】
ウェーハの分割には、環状の切削ブレードで被加工物を切削する切削装置が用いられる。また、近年では、レーザー加工によってウェーハを分割するプロセスの開発も進められている。例えば、ウェーハに対して透過性を有する波長のレーザービームをウェーハの内部で集光させつつ、レーザービームをストリートに沿って走査することにより、ウェーハの内部に改質層がストリートに沿って形成される。ウェーハの改質層が形成された領域は、他の領域よりも脆くなる。そのため、改質層が形成されたウェーハに外力を付与すると、改質層が分割起点として機能し、ウェーハがストリートに沿って分割される。
【０００４】
ウェーハへの外力の付与には、例えば拡張可能なシート（エキスパンドシート）が用いられる。ウェーハにシートを固定した後、シートを引っ張って拡張することにより、ウェーハに外力が付与される。シートの拡張は、手作業で実施することもできるが、専用の拡張装置（エキスパンド装置）によって実施されることもある。拡張装置を用いると、シートの拡張作業が自動化され、ウェーハの処理効率が向上する。
【０００５】
なお、ウェーハが複数のデバイスチップに分割された後にシートの拡張を解除すると、シートに弛みが生じる。このシートの弛みは、デバイスチップの位置ずれ、デバイスチップ同士の衝突によるデバイスチップの損傷等の不都合が生じる原因となる。そこで、シートの拡張を解除した後、シートの弛みが生じた領域を加熱して熱収縮させる、ヒートシュリンクと称される工程が実施されることがある（特許文献１参照）。ヒートシュリンクを施すと、シートの弛みが解消され、デバイスチップの位置ずれや損傷が防止される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０２０－１７７９５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のように、拡張可能なシート（エキスパンドシート）を用いてウェーハ等の被加工物を分割する場合には、シートの拡張が解除された後、シートの弛みが生じた領域がヒータで加熱される。その際、ヒータの温度を温度計で測定、監視することにより、シートが所望の温度で加熱されるようにヒータの温度を調節できる。
【０００８】
なお、ヒータの温度を常時監視する温度計がヒータの発熱部に接触し、又は発熱部の近傍に設けられていると、温度計の劣化が早まり、温度計の測定精度の低下や故障が生じやすくなる。そのため、温度計は発熱部から離隔した位置に設定され、発熱部の温度を間接的に測定する。ただし、ヒータの発熱部と温度計との位置が離れていると、温度計によって測定される温度と実際の発熱部の温度との間に誤差が生じ、ヒータの温度を所望の目標値に高精度で設定することが困難になる。
【０００９】
そこで、拡張装置の出荷時に、オペレータが実際の発熱部の温度を直接測定し、温度計によって測定された温度を実際の発熱部の温度に基づいて補正する機能が拡張装置に組み込まれることがある。これにより、温度計によって測定される温度と実際の発熱部の温度との誤差を考慮したヒータの温度制御が行われる。
【００１０】
しかしながら、拡張装置を長期間使用すると、温度計が徐々に劣化し、温度計によって測定される温度が変動する。この場合、温度計によって測定される温度と実際の発熱部の温度との間の誤差も変動するため、拡張装置の出荷時に設定された補正機能では誤差に対応することができず、ヒータの適切な温度制御が困難になる。
（【００１１】以降は省略されています）

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