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公開番号2024070355
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-23
出願番号2022180785
出願日2022-11-11
発明の名称テープ貼着装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240516BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】毎回同一のテンションをテープにかけた状態で、テープをワークに貼着することができるテープ貼着装置を提供する。
【解決手段】テープ貼着装置2は、ワークを保持する保持テーブル4と、剥離紙Pを備えたロール状テープTrの軸心を支持し回転するテープ送り軸6と、保持テーブル4に保持されたワークにテープTを押しつけて貼着するテープ貼着ローラ8と、剥離紙Pを巻き取る巻き取りローラ10と、巻き取りローラ10に剥離紙Pをガイドするガイドローラ12と、制御手段14とを含む。制御手段14は、テープ送り軸6が所定のテンションを維持するために、ロール状テープTrの送り出し量に対するテープ送り軸6の回転角度を計測し、ロール状テープTrの半径を求め、「半径×テンション=該テープ送り軸のトルク」を制御する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ワークにテープを貼着するテープ貼着装置であって、
ワークを保持する保持テーブルと、
剥離紙を備えたロール状テープの軸心を支持し回転するテープ送り軸と、
該保持テーブルに保持されたワークにテープを押しつけて貼着するテープ貼着ローラと、
剥離紙を巻き取る巻き取りローラと、
該巻き取りローラに剥離紙をガイドするガイドローラと、
制御手段と、を含み、
該制御手段は、該テープ送り軸が所定のテンションを維持するために、該ロール状テープの送り出し量に対する該テープ送り軸の回転角度を計測し、該ロール状テープの半径を求め、「半径×テンション＝該テープ送り軸のトルク」を制御するテープ貼着装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークにテープを貼着するテープ貼着装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されたデバイス領域とデバイス領域を囲繞する外周余剰領域とが表面に形成されたウエーハは、裏面が研削されて所望の厚みに形成された後、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
また、研削されたウエーハの搬送を容易にするために外周余剰領域に対応する裏面にリング状の補強部を残存させ所定の加工を施した後、ウエーハの裏面にダイシングテープを貼着するとともにフレームで支持した上で、ウエーハからリング状の補強部を除去する技術を本出願人が提案している（特許文献１参照）。
【０００４】
さらに、外周にリング状の補強部が形成されたウエーハの裏面にダイシングテープを貼着してフレームと一体にする作業が困難であるとともに、リング状の補強部を切断しデバイス領域から取り外すことが困難であり生産性が悪いという問題があることから、本出願人は、外周余剰領域の裏面側にリング状の補強部が凸状に形成されたウエーハから補強部を除去する加工装置を開発した（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１０－６２３７５号公報
特開２０２２－１９３９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、加工装置を構成するフレームテーブルの上部に配設されフレームにテープを貼着するテープ貼着手段において、毎回同一のテンションをテープにかけることが困難であるという問題がある。テープのテンションがフレームによって異なると、フレームの開口部にテープを介して収容されたウエーハを、個々のデバイスに分割する際にデバイスに欠けが生じてデバイスチップの品質を低下させるおそれがある。
【０００７】
本発明の課題は、毎回同一のテンションをテープにかけた状態で、テープをワークに貼着することができるテープ貼着装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、上記課題を解決する以下のテープ貼着装置が提供される。すなわち、
「ワークにテープを貼着するテープ貼着装置であって、
ワークを保持する保持テーブルと、
剥離紙を備えたロール状テープの軸心を支持し回転するテープ送り軸と、
該保持テーブルに保持されたワークにテープを押しつけて貼着するテープ貼着ローラと、
剥離紙を巻き取る巻き取りローラと、
該巻き取りローラに剥離紙をガイドするガイドローラと、
制御手段と、を含み、
該制御手段は、該テープ送り軸が所定のテンションを維持するために、該ロール状テープの送り出し量に対する該テープ送り軸の回転角度を計測し、該ロール状テープの半径を求め、「半径×テンション＝該テープ送り軸のトルク」を制御するテープ貼着装置」が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のテープ貼着装置は、
ワークを保持する保持テーブルと、
剥離紙を備えたロール状テープの軸心を支持し回転するテープ送り軸と、
該保持テーブルに保持されたワークにテープを押しつけて貼着するテープ貼着ローラと、
剥離紙を巻き取る巻き取りローラと、
該巻き取りローラに剥離紙をガイドするガイドローラと、
制御手段と、を含み、
該制御手段は、該テープ送り軸が所定のテンションを維持するために、該ロール状テープの送り出し量に対する該テープ送り軸の回転角度を計測し、該ロール状テープの半径を求め、「半径×テンション＝該テープ送り軸のトルク」を制御するので、ロール状テープの半径が小さくなっても、毎回同一のテンションをテープにかけた状態で、テープをワークに貼着することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明に従って構成されたテープ貼着装置の斜視図。
図１に示すロール状テープの展開図。
図１に示す保持テーブルにフレームを保持させた状態を示す模式図。
図３に示すロール状テープからテープおよび剥離紙を送り出した状態を示す模式図。
テープ送り軸からテープおよび剥離紙にテンションをかけている状態を示す模式図。
剥離紙からのテープの剥離を開始した状態を示す模式図。
フレームにテープを貼着している状態を示す模式図。
フレームへのテープの貼着が完了した状態を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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