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公開番号2024074328
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-31
出願番号2022185400
出願日2022-11-21
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類H02P 8/30 20060101AFI20240524BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】脱調を避けつつ、ステッピングモータの停止時に供給される電力を低減することができる加工装置を提供する。
【解決手段】加工装置2の制御手段22は、複数のステッピングモータの稼働をコントロールするコントローラー22aと、コントローラー22aの指令によってパルス信号を生成するパルス信号生成部22bと、パルス信号生成部22bからのパルス信号によって電流値を調整するドライバー22cと、制御すべきステッピングモータを記録する記録部22dと、記録部22dに記録されているステッピングモータのホールディングトルクを管理するホールディングトルク管理部22eとを備える。ホールディングトルク管理部22eは、停止しているステッピングモータの停止位置が、稼働しているステッピングモータの振動によって脱調を起こさないように、所要のホールディングトルクが得られる電流値を調整してステッピングモータに供給する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
複数のステッピングモータと、該複数のステッピングモータに連結されて作動する複数の作動体と、該複数のステッピングモータを制御する制御手段と、を含む加工装置であって、
該制御手段は、
該複数のステッピングモータの稼働をコントロールするコントローラーと、該コントローラーの指令によってパルス信号を生成するパルス信号生成部と、該パルス信号生成部からのパルス信号によって電流値を調整するドライバーと、制御すべきステッピングモータを記録する記録部と、該記録部に記録されているステッピングモータのホールディングトルクを管理するホールディングトルク管理部と、を備え、
該ホールディングトルク管理部は、停止しているステッピングモータの停止位置が、稼働しているステッピングモータの振動によって脱調を起こさないように、所要のホールディングトルクが得られる電流値を調整してステッピングモータに供給する加工装置。
続きを表示（約 130 文字）【請求項２】
該記録部は、加工装置が有するすべてのステッピングモータを記録し、
該ホールディングトルク管理部は、該記録部に記録されたステッピングモータのうち、停止中のステッピングモータのホールディングトルクの大きさを管理する請求項１記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のステッピングモータと、複数のステッピングモータに連結されて作動する複数の作動体と、複数のステッピングモータを制御する制御手段と、を含む加工装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
ダイシング装置は、フレームに支持されたウエーハを収容したカセットが載置されるカセットテーブルと、カセットからウエーハを支持したフレームを搬出する搬出手段と、搬出されたフレームを機械的に位置合わせする仮受け支持部と、仮受け支持部からチャックテーブルまでウエーハを支持したフレームを搬送する第一の搬送手段と、チャックテーブルを加工送りする加工送り手段と、フレームとともにチャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削手段と、切削手段を割り出し送りする割り出し送り手段と、切削手段を切り込み送りする切り込み送り手段と、切削済みのウエーハを支持したフレームを洗浄手段まで搬送する第二の搬送手段と、から概ね構成されていてウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００３－２０３８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
また、カセットテーブル、搬出手段、仮受け支持部、第一・第二の搬送手段、加工送り手段、割り出し送り手段、切り込み送り手段などの作動機構は、駆動源と、駆動源に連結されて作動する作動体と、駆動源を制御する制御手段と、を含む。
【０００６】
作動体は、駆動源に連結され回動するボールねじと、ボールねじに螺合するナットと、を備えており、ガイドレールに支持されてガイドレールに沿って作動するようになっている。
【０００７】
駆動源は、位置制御が比較的容易なステッピングモータが適宜採用され、これによって高精度な制御が可能になっている。
【０００８】
しかし、ステッピングモータの駆動を制御するパルス信号とステッピングモータの回転数との同期が崩れて脱調が生じると、位置制御が困難になることから、脱調を避けるためにステッピングモータの停止時にはホールディングトルク（磁力）を高める高出力の電流が供給されており不経済であるとともに、脱炭素に反するという問題がある。
【０００９】
本発明の課題は、脱調を避けつつ、ステッピングモータの停止時に供給される電力を低減することができる加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば、上記課題を解決する以下の加工装置が提供される。すなわち、
「複数のステッピングモータと、該複数のステッピングモータに連結されて作動する複数の作動体と、該複数のステッピングモータを制御する制御手段と、を含む加工装置であって、
該制御手段は、
該複数のステッピングモータの稼働をコントロールするコントローラーと、該コントローラーの指令によってパルス信号を生成するパルス信号生成部と、該パルス信号生成部からのパルス信号によって電流値を調整するドライバーと、制御すべきステッピングモータを記録する記録部と、該記録部に記録されているステッピングモータのホールディングトルクを管理するホールディングトルク管理部と、を備え、
該ホールディングトルク管理部は、停止しているステッピングモータの停止位置が、稼働しているステッピングモータの振動によって脱調を起こさないように、所要のホールディングトルクが得られる電流値を調整してステッピングモータに供給する加工装置」が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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