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公開番号2024070440
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-23
出願番号2022180940
出願日2022-11-11
発明の名称搬送パッド
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20240516BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】湾曲したウェーハであっても、これを確実に吸引保持して安定的に搬送することができる搬送パッドを提供すること。
【解決手段】湾曲したウェーハW1(W2)を吸引保持して搬送する搬送パッド1は、ウェーハW1(W2)の形状に沿って変形可能な可撓性を有する搬送シート2と、エア供給源30から供給されるエアを搬送シート2の中心部から噴出するエア噴出口3と、搬送シート2の下面外周部に取り付けられた複数のスペーサ4と、を備え、エア噴出口3からウェーハW1(W2)の上面と搬送シート2の下面との間の隙間δにエアを流すことによって該隙間δに負圧を発生させてウェーハW1(W2)を搬送シート2によって保持する。ここで、搬送シート2には、中心部から外周縁に向かって延びる少なくとも1本のスリット5が形成されてもよい。また、搬送シート2の上面外周部に複数の錘6が設置されていてもよい。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
湾曲したウェーハを吸引保持して搬送する搬送パッドであって、
ウェーハの形状に沿って変形可能な可撓性を有する搬送シートと、
エア供給源から供給されるエアを該搬送シートの中心部から噴出するエア噴出口と、
該搬送シートの下面外周部に取り付けられた複数のスペーサと、
を備え、
該エア噴出口からウェーハの上面と該搬送シートの下面との間の隙間にエアを流すことによって該隙間に負圧を発生させてウェーハを該搬送シートによって保持することを特徴とする搬送パッド。
続きを表示（約 210 文字）【請求項２】
該搬送シートには、中心部から外周縁に向かって延びる少なくとも１本のスリットが形成されていることを特徴とする請求項１記載の搬送パッド。
【請求項３】
該搬送シートの上面外周部に複数の錘が設置されていることを特徴とする請求項１記載の搬送パッド。
【請求項４】
該搬送シートは、樹脂または金属で構成されていることを特徴とする請求項１～３の何れかに記載の搬送パッド。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、湾曲したウェーハをベルヌーイ効果によって吸引保持して搬送するための搬送パッドに関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
ウェーハを加工する加工装置においては、ウェーハがその上面を吸引パッドによって吸引保持されて所定の位置へと搬送されるが、搬送パッドには、ベルヌーイ効果を利用してウェーハを保持するものがある。このような搬送パッドとしては、保持面に開口する噴射口からエアを保持面の外周縁に向かって直線状に流すベルヌーイ式のもの（例えば、特許文献１，２参照）と、噴射口から噴射するエアを旋回させながら保持面の外周縁に向かって流すサイクロン式のもの（例えば、特許文献３，４参照）とが知られている。何れの搬送パッドにおいても、該搬送パッドとウェーハとの間の隙間をエアが流れることによる動圧の増加分だけ隙間の静圧が下がって負圧が発生するため、この負圧に引かれてウェーハが搬送パッドによって吸引保持或いは非接触でフローティング支持される。
【０００３】
したがって、ベルヌーイ効果を利用した搬送パッドによれば、該搬送パッドの保持面とウェーハとの間の隙間を流れるエアの流量（流速）を調整することによって、隙間に発生する負圧を調整することができ、該搬送パッドによるウェーハの接触保持と非接触保持とを選択的に行うことができる。
【０００４】
ところで、ウェーハには、例えば、研削する前に一方の面に樹脂層を形成することがあり、このような樹脂層が形成されたウェーハは、その外周部分が強い力によって反り上がって円弧曲面状に湾曲する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１８－０５８１３９号公報
特開２０１８－０６０８８１号公報
特許第４６６９２５２号公報
特開２００７－１７６６３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、円弧曲面状に湾曲したウェーハにあっては、ベルヌーイ効果を利用する搬送パッドによって吸引保持することができないという問題がある。すなわち、搬送パッドの保持面と湾曲したウェーハとの間の隙間が一定でなく、隙間が広い箇所でのエアの流速が低下するためにウェーハを吸引保持するために必要十分な負圧が隙間に発生せず、ウェーハを安定的に吸引保持することができない。
【０００７】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、湾曲したウェーハであっても、これを確実に吸引保持して安定的に搬送することができる搬送パッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための本発明は、湾曲したウェーハを吸引保持して搬送する搬送パッドであって、ウェーハの形状に沿って変形可能な可撓性を有する搬送シートと、エア供給源から供給されるエアを該搬送シートの中心部から噴出するエア噴出口と、該搬送シートの下面外周部に取り付けられた複数のスペーサと、を備え、該エア噴出口からウェーハの上面と該搬送シートの下面との間の隙間にエアを流すことによって該隙間に負圧を発生させてウェーハを該搬送シートによって保持することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、可撓性を有する搬送シートが湾曲したウェーハの形状に沿って変形し、ウェーハとの間に一定幅の隙間を形成するため、この隙間をエア噴射口から噴射されるエアが所定の速度で流れ、このエアの流れに伴う動圧分だけ隙間の静圧が低下して隙間に負圧が発生する。このため、隙間に発生する負圧に引かれてウェーハの上面外周部の複数箇所が搬送シートの下面外周部に取り付けられたスペーサに当接した状態で該ウェーハが搬送シートに吸引保持される。したがって、湾曲したウェーハであっても、これを確実に吸引保持して安定的に搬送することができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の第１実施形態に係る搬送パッドを備える搬送手段と保持テーブルの斜視図である。
本発明の第１実施形態に係る搬送パッドの上面側斜視図である。
本発明の第１実施形態に係る搬送パッドの下面側斜視図である。
本発明の第１実施形態に係る搬送パッドの連結部材の斜視図である。
本発明の第１実施形態に係る搬送パッドによって下に凸に湾曲したウェーハを吸引保持している状態を示す側面図である。
本発明の第１実施形態に係る搬送パッドによって上に凸に湾曲したウェーハを吸引保持している状態を示す側面図である。
本発明の第２実施形態に係る搬送パッドの下面側斜視図である。
本発明の第２実施形態に係る搬送パッドの連結部材を斜め上から見た断面斜視図である。
本発明の第２実施形態に係る搬送パッドの連結部材を斜め下から見た断面斜視図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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