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公開番号2024073263
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-29
出願番号2022184370
出願日2022-11-17
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20240522BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】試験片等を保持しても装置の大型化を抑制することができる加工装置を提供すること。
【解決手段】加工装置は、ウェーハ200を保持する保持テーブルユニット10とウェーハ200の外周に沿って保持テーブルユニット10で保持されたウェーハ200を切削する切削ユニットとを備え、保持テーブルユニット10は、ウェーハ200の外周部を保持するウェーハ保持面113を含むウェーハ保持部11と、ウェーハ保持部11で囲繞された凹部118に収容され、試験片300を保持する試験片保持面123を含む試験片保持部12と、を備え、試験片保持面123の高さ129は、試験片保持面123で試験片300を保持した状態でウェーハ保持部11でウェーハ200を保持できる高さに設定される。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハを保持する保持テーブルユニットとウェーハの外周に沿って該保持テーブルユニットで保持されたウェーハを加工する加工ユニットと、を備えた加工装置であって、
該保持テーブルユニットは、ウェーハの外周部を保持するウェーハ保持面を含むウェーハ保持部と、
該ウェーハ保持部で囲繞された凹部に収容され、試験片を保持する試験片保持面を含む試験片保持部と、を備え、
該試験片保持面の高さは、該試験片保持面で試験片を保持した状態で該ウェーハ保持部でウェーハを保持できる高さに設定される、加工装置。
続きを表示（約 200 文字）【請求項２】
該試験片保持部には、該試験片保持面に開口する吸引口と、一端が該吸引口に連通するとともに他端が吸引源に接続された試験片吸引路が形成され、
該ウェーハ保持部には、該ウェーハ保持面に開口する吸引口と、一端が該吸引口に連通するとともに他端が吸引源に接続されたウェーハ吸引路が形成されるとともに、該凹部を該保持テーブルユニットの外と繋ぐ貫通部が形成された、請求項１に記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの外周に沿ってウェーハを加工する加工装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
ウェーハの裏面研削に際してあらかじめウェーハ外周の面取り部を切削ブレードやレーザビームを利用して除去する所謂エッジトリミングが広く行われている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１３－１４６８３１号公報
特開２００６－１０８５３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に記載された方法では、切削ブレードでエッジトリミングを行うと偏摩耗が生じ易いため、例えば特許文献１に記載された方法では、切削ブレードを確認テーブル上の確認用被加工物に切り込ませることで切削ブレードの偏摩耗を監視している。偏摩耗が生じた切削ブレードは、特許文献１等で開示される研磨テーブルや、ドレスボードや試験片に切り込ませることで、整形される。
【０００５】
しかし、ドレスボードや試験片を保持する確認用テーブルと研磨テーブルを、ウェーハを保持する保持テーブルの脇に配設すると装置が大型化するため、改善が切望されている。また、確認用テーブルと研磨テーブルを、ウェーハを保持する保持テーブルの脇に配設すると、切削ブレードでエッジトリミングする際に生じる切削屑が、ドレスボードや研磨テーブルに付着して、これらが汚れてしまうという不具合もあった。
【０００６】
本発明の目的は、試験片等を保持しても装置の大型化を抑制することができる加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、ウェーハを保持する保持テーブルユニットとウェーハの外周に沿って該保持テーブルユニットで保持されたウェーハを加工する加工ユニットと、を備えた加工装置であって、該保持テーブルユニットは、ウェーハの外周部を保持するウェーハ保持面を含むウェーハ保持部と、該ウェーハ保持部で囲繞された凹部に収容され、試験片を保持する試験片保持面を含む試験片保持部と、を備え、該試験片保持面の高さは、該試験片保持面で試験片を保持した状態で該ウェーハ保持部でウェーハを保持できる高さに設定されることを特徴とする。
【０００８】
前記加工装置では、該試験片保持部には、該試験片保持面に開口する吸引口と、一端が該吸引口に連通するとともに他端が吸引源に接続された試験片吸引路が形成され、該ウェーハ保持部には、該ウェーハ保持面に開口する吸引口と、一端が該吸引口に連通するとともに他端が吸引源に接続されたウェーハ吸引路が形成されるとともに、該凹部を該保持テーブルユニットの外と繋ぐ貫通部が形成されても良い。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、試験片等を保持しても装置の大型化を抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。
図２は、図１に示された加工装置の加工対象のウェーハの一例を示す斜視図である。
図３は、図２中のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿う断面図である。切削ユニットの斜視図である。
図４は、図１に示された加工装置の保持テーブルユニットの構成を示す断面図である。
図５は、図４に示された保持テーブルユニットの他の断面図である。
図６は、図１に示された加工装置の保持テーブルユニットの試験片保持部が試験片を保持した状態を示す断面図である。
図７は、図１に示された加工装置の保持テーブルユニットのウェーハ保持部にウェーハが搬入された状態を示す断面図である。
図８は、図１に示された加工装置の保持テーブルユニットのウェーハ保持部にウェーハを保持した状態を示す断面図である。
図９は、図１に示された加工装置の切削ユニットがウェーハをエッジトリミングする状態を示す断面図である。
図１０は、図１に示された加工装置の保持テーブルユニットのウェーハ保持部からウェーハを搬出する状態を示す断面図である。
図１１は、図１に示された加工装置の切削ユニットの切削ブレードが試験片に切り込んでいる状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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