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公開番号2024067614
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-17
出願番号2022177824
出願日2022-11-07
発明の名称保持パッド、及び、搬送装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20240510BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】保持パッド及び搬送装置において、ワークを吸引保持する保持パッドの吸引力の低下を抑制する。
【解決手段】保持パッド(40,140)は、吸引面(44,144)でワーク(W)の上面を吸引保持する保持パッド(40,140)であって、吸引面(44,144)の中央に形成した凹部(411,1411)の底面に吸引口(412,1412)を備える吸引板(41,141)と、吸引口(1412)を囲むように吸引面(144)に配置、または、吸引面(44)の外周を囲むように吸引板(41)に配置し、先端を吸引面(44,144)より突出させたリング状のリング弾性体(70,171,172)と、凹部(411,1411)に配置し吸引口(412,1412)からワーク(W)の欠片(D)の進入を塞ぐフィルタ(42,142)と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
吸引面でワークの上面を吸引保持する保持パッドであって、
該吸引面の中央に形成した凹部の底面に吸引口を備える吸引板と、該吸引口を囲むように該吸引面に配置、または、該吸引面の外周を囲むように該吸引板に配置し、先端を該吸引面より突出させたリング状のリング弾性体と、該凹部に配置し該吸引口からワークの欠片の進入を塞ぐフィルタと、を備える保持パッド。
続きを表示（約 310 文字）【請求項２】
請求項１記載の保持パッドを装着しワークを第１の位置から第２の位置に搬送する搬送装置であって、
該保持パッドを該第１の位置から該第２の位置に移動させる移動機構と、制御部とを備え、
該制御部は、該第１の位置のワークの上面に少なくとも該リング弾性体を接触させ、該吸引口を吸引源に連通させ、該吸引面でワークを吸引保持する保持制御部と、
該保持パッドを該第１の位置から該第２の位置に移動させワークを離間させるとき、または、該保持パッドがワークを吸引保持する前に、該吸引口とエア供給源とを連通させ、該フィルタからエアを噴出させ該フィルタを清掃するフィルタ清掃制御部と、を備える搬送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸引面でワークの上面を吸引保持する保持パッド、及び、この保持パッドを装着しワークを第１の位置から第２の位置に搬送する搬送装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
チャックテーブルの保持面に保持されたウェーハ（ワーク）を砥石で研削する研削装置は、チャックテーブルにウェーハを搬入する搬入機構と、研削されたウェーハをチャックテーブルから搬出する搬出機構とを備えている。搬入機構及び搬出機構は、ウェーハの上面を吸引保持する保持パッドを備えている。また、研削装置は、１つの保持パッドで搬入と搬出とを行う搬送機構を備える場合がある。このような搬入機構、搬出機構、搬送機構の総称として、以下では搬送装置と呼ぶ。
【０００３】
従来の搬送装置において、凹凸なウェーハの上面に接触するリング状の弾性体（Ｏリング）を備え、このリング弾性体に囲まれた内側部分のウェーハの上面を吸引してウェーハを保持するウェーハ保持具がある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００７－２９４５８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のウェーハ保持具などの保持パッド、すなわち、ウェーハの上面に接触するリング状の弾性体を備える保持パッドは、リング状の弾性体に囲まれた内側部分に吸引孔が開口している。
【０００６】
上記の吸引孔からエアを吸引することによって保持パッドがウェーハを保持した際には、ウェーハが割れたり、割れたウェーハを吸引したりすることがある。ウェーハの割れによって発生した欠片を吸引口から吸引すると、吸引路内に欠片が留まり、保持パッドの吸引力を低下させるという問題が生じる。
【０００７】
或いは、炭化ケイ素（ＳｉＣ）などのインゴットに対して、レーザ照射を行って端面に平行なレーザ加工層を形成し、レーザ加工層に沿って剥離させてウェーハを形成する手法では、剥離したウェーハの上面を研削砥石で研削している。そのため、剥離装置でレーザ加工層に沿ってインゴットからウェーハを剥離させた後、ウェーハの剥離面を保持パッドで保持し、研削装置のチャックテーブルに搬送している。レーザ加工層に沿って剥離させたウェーハの上面には欠片（屑）が生じる場合がある。その欠片を吸引口から吸引し、吸引路内に欠片が留まるため、保持パッドの吸引力を低下させるという問題が同様に生じる。
【０００８】
なお、上述の保持パッドの吸引力を低下させるという問題は、搬送装置が研削装置に配置される場合に限らず、ウェーハなどのワークを保持パッドによって吸引保持して搬送する搬送装置であれば生じ得る問題である。
【０００９】
本発明の目的は、ワークを吸引保持する保持パッドの吸引力の低下を抑制することができる保持パッド及び搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
１つの態様では、保持パッドは、吸引面でワークの上面を吸引保持する保持パッドであって、該吸引面の中央に形成した凹部の底面に吸引口を備える吸引板と、該吸引口を囲むように該吸引面に配置、または、該吸引面の外周を囲むように該吸引板に配置し、先端を該吸引面より突出させたリング状のリング弾性体と、該凹部に配置し該吸引口からワークの欠片の進入を塞ぐフィルタと、を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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