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公開番号2024058084
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-25
出願番号2022165225
出願日2022-10-14
発明の名称洗浄装置および洗浄方法
出願人三菱電機ビルソリューションズ株式会社,三菱電機株式会社
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類B01D 41/04 20060101AFI20240418BHJP(物理的または化学的方法または装置一般)
要約【課題】複数の洗浄ステージを経由して被洗浄物を洗浄する洗浄装置において、各洗浄ステージで利用される洗浄液を浄化することで被洗浄物の洗浄効果を向上させる。
【解決手段】第1の洗浄ステージは、被洗浄物に散布された洗浄液を第1の洗浄液槽に回収して洗浄液を被洗浄物に散布する。第2の洗浄ステージは、搬送路の搬送方向において第1の洗浄ステージの下流側に設けられ、被洗浄物に散布された洗浄液を第2の洗浄液槽に回収して洗浄液を被洗浄物に散布する。第2の洗浄ステージは、第2の洗浄液槽の洗浄液を、浄化装置を経て第1の洗浄液槽へ移送するための移送経路と、洗浄液を第2の洗浄液槽から浄化装置を経て第2の洗浄液槽に戻すための循環経路と、移送経路および循環経路の間で、洗浄液が通流する経路を切り替えるための切替手段とを含む。制御装置は、切替手段を制御することにより、洗浄液が通流する経路を切り替える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
洗浄液を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、
前記被洗浄物を搬送する搬送路と、
前記搬送路に設けられ、前記被洗浄物に前記洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第１の洗浄ステージと、
前記被洗浄物の搬送方向において前記第１の洗浄ステージの下流側に設けられ、前記被洗浄物に前記洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第２の洗浄ステージと、
制御装置とを備え、
前記第１の洗浄ステージは、
前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を回収するための第１の洗浄液槽と、
前記第１の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布するための第１の循環系統とを含み、
前記第２の洗浄ステージは、
前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を回収する第２の洗浄液槽と、
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布する第２の循環系統と、
前記洗浄液を浄化する浄化装置と、
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を、前記浄化装置を経て前記第１の洗浄液槽へ移送するための移送経路と、
前記洗浄液を前記第２の洗浄液槽から前記浄化装置を経て前記第２の洗浄液槽に戻すための循環経路と、
前記移送経路および前記循環経路の間で、前記洗浄液が通流する経路を切り替えるための切替手段とを含み、
前記制御装置は、前記切替手段を制御することにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、洗浄装置。
続きを表示（約 1,700 文字）【請求項２】
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液の液量を検出するためのレベルセンサをさらに備え、
前記制御装置は、前記レベルセンサにより検出される前記第２の洗浄液槽の液量に応じて前記切替手段を制御することにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記制御装置は、
前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が第１の閾値以上となったときには、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が前記第１の閾値よりも低い第２の閾値以下となったときには、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御する、請求項２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記第２の洗浄ステージは、前記搬送路の最下流に配置されており、
前記第２の洗浄液槽には、未使用の洗浄液を供給するための供給配管が接続され、
前記制御装置は、
前記未使用の洗浄液を前記第２の洗浄液槽に供給し、かつ、前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が前記第１の閾値以上となったときには、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が前記第１の閾値よりも低い第２の閾値以下となったときには、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御するとともに、前記第２の洗浄液槽への前記未使用の洗浄液の供給を停止する、請求項３に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記第２の洗浄ステージにおける前記被洗浄物の有無を検知するための物体検知センサをさらに備え、
前記制御装置は、前記物体検知センサからの信号に応じて前記切替手段を制御することにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記制御装置は、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置することが検知された場合には、前記第２の循環系統を作動するとともに、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置しないことが検知された場合には、前記第２の循環系統を停止するとともに、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御する、請求項５に記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記第２の洗浄ステージは、前記搬送路の最下流に配置されており、
前記第２の洗浄液槽には、未使用の洗浄液を供給するための供給配管が接続され、
前記制御装置は、前記物体検知センサからの信号に応じて、前記第２の洗浄液槽への前記未使用の洗浄液の供給を制御する、請求項５に記載の洗浄装置。
【請求項８】
前記制御装置は、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置することが検知された場合には、前記第２の洗浄液槽に前記未使用の洗浄液を供給し、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置しないことが検知された場合には、前記第２の洗浄液槽への前記未使用の洗浄液の供給を停止する、請求項７に記載の洗浄装置。
【請求項９】
前記浄化装置は、除菌効果を有する波長域の光線を前記洗浄液に照射する光線照射装置を含む、請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項１０】
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液の前記光線の透過率を検出する透過率検出部をさらに備え、
前記制御装置は、前記洗浄液の前記光線の透過率が基準値未満である場合には、当該透過率が前記基準値以上である場合に比べて、前記移送経路および前記循環経路を通流する前記洗浄液の流量を低下させる、請求項９に記載の洗浄装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、洗浄液により被洗浄物を洗浄する洗浄装置および洗浄方法に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
特開２０１２－１９２３６９号公報（特許文献１）には、洗浄液によりフィルタを洗浄するフィルタ洗浄装置が開示されている。フィルタ洗浄装置は、フィルタを搬送する搬送路と、フィルタの搬送方向に沿って配置された複数の洗浄ステージとを備えている。
【０００３】
各洗浄ステージは、搬送路に沿って搬送されるフィルタに、ノズルから洗浄液を散布するとともに、散布された洗浄液を回収タンクに回収して上記ノズルに循環させる循環系統を有している。フィルタ搬送方向の最下流側の洗浄ステージには、未使用の洗浄液をフィルタに噴霧するためのノズルがさらに配置されている。当該洗浄ステージの回収タンクは、当該ノズルから噴霧された洗浄液をさらに回収する。
【０００４】
フィルタ洗浄装置は、フィルタ搬送方向の下流側の洗浄ステージの回収タンクから、フィルタ搬送方向の上流側の洗浄ステージの回収タンクに洗浄液を順次移送する移送系統と、フィルタ搬送方向の最上流側の洗浄ステージの回収タンクの洗浄液を外部に排水する排水系統とをさらに備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１２－１９２３６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記フィルタ洗浄装置では、移送系統を用いて、フィルタ搬送方向の最下流側の洗浄ステージの回収タンクから、フィルタ搬送方向の上流側の洗浄ステージの回収タンクに洗浄液が順次移送される。フィルタ搬送方向の最下流側の洗浄ステージでは、精密洗浄によって、フィルタに付着した微細な異物が除去される。そのため、当該洗浄ステージの回収タンクに貯留される洗浄液は、当該微細な異物を含んでいる。
【０００７】
この微細な異物を含んだ洗浄液が、フィルタ搬送方向の上流側の洗浄ステージの回収タンクに移送されることで、当該上流側の洗浄ステージにて、回収タンクに貯留される洗浄液を再利用してフィルタを洗浄する際に、異物をフィルタに再付着させてしまう可能性がある。その結果、後続する精密洗浄によっても当該異物を除去しきれず、洗浄装置全体の洗浄能力を低下させる可能性が懸念される。
【０００８】
本開示はこのような問題点を解決するためになされたものであって、本開示の目的は、複数の洗浄ステージを経由して被洗浄物を洗浄する洗浄装置において、各洗浄ステージで利用される洗浄液を浄化することで被洗浄物の洗浄効果を向上させることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示の一態様に係る洗浄装置は、洗浄液を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、被洗浄物を搬送する搬送路と、第１の洗浄ステージと、第２の洗浄ステージと、制御装置とを備える。第１の洗浄ステージは、搬送路に設けられ、被洗浄物に洗浄液を散布することにより被洗浄物を洗浄する。第２の洗浄ステージは、搬送路の搬送方向において第１の洗浄ステージの下流側に設けられ、被洗浄物に洗浄液を散布することにより被洗浄物を洗浄する。第１の洗浄ステージは、被洗浄物に散布された洗浄液を回収するための第１の洗浄液槽と、第１の洗浄液槽に貯留されている洗浄液を被洗浄物に散布するための第１の循環系統とを含む。第２の洗浄ステージは、被洗浄物に散布された洗浄液を回収する第２の洗浄液槽と、第２の洗浄液槽に貯留されている洗浄液を被洗浄物に散布する第２の循環系統と、洗浄液を浄化する浄化装置と、第２の洗浄液槽に貯留されている洗浄液を、浄化装置を経て第１の洗浄液槽へ移送するための移送経路と、洗浄液を第２の洗浄液槽から浄化装置を経て第２の洗浄液槽に戻すための循環経路と、移送経路および循環経路の間で、洗浄液が通流する経路を切り替えるための切替手段とを含む。制御装置は、切替手段を制御することにより、洗浄液が通流する経路を切り替える。
【００１０】
本開示の一態様に係る洗浄方法は、洗浄装置で被洗浄物を洗浄する方法である。洗浄装置は、被洗浄物を搬送する搬送路と、第１の洗浄ステージと、第２の洗浄ステージとを含む。第１の洗浄ステージは、搬送路に設けられ、被洗浄物に洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する。第２の洗浄ステージは、被洗浄物の搬送方向において第１の洗浄ステージの下流側に設けられ、被洗浄物に洗浄液を散布することにより被洗浄物を洗浄する。洗浄方法は、第１の洗浄ステージにて、被洗浄物に散布された洗浄液を第１の洗浄液槽に回収し、第１の洗浄液槽に貯留される洗浄液を前記被洗浄物に散布するステップと、第２の洗浄ステージにて、被洗浄物に散布された洗浄液を第２の洗浄液槽に回収し、第２の洗浄液槽に貯留される洗浄液を被洗浄物に散布するステップと、第２の洗浄液槽に貯留される洗浄液を、浄化装置を経て第１の洗浄液槽へ移送するための移送経路を形成するステップと、洗浄液を第２の洗浄液槽から浄化装置を経て第２の洗浄液槽に戻すための循環経路を形成するステップと、移送経路および循環経路の間で、洗浄液が通流する経路を切り替えるステップとを備える。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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