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公開番号2024049435
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-10
出願番号2022155662
出願日2022-09-29
発明の名称ヨーク組立体及びリニアモータ
出願人株式会社プロテリアル
代理人
主分類H02K 41/03 20060101AFI20240403BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】リニアモータの小型化、軽量化を図るとともに、均一な推力でかつ高い出力を得ることが可能なヨーク組立体及び当該ヨーク組立体を有するリニアモータを提供する。
【解決手段】固定子1と可動子とが相対的に移動可能なリニアモータに用いられるヨーク組立体41であって、空隙を介して対向配置される長尺板状の一対のヨーク212と、一対のヨークの短手方向一方端において一対のヨークをそれぞれ片持ち梁状に支持するヨーク固定部411を有し、ヨーク固定部の一対のヨークを支持する面に突起部415が形成されており、突起部により、一対のヨークが一方端側から他方端側に空隙を広げるように構成されている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
固定子と可動子とが相対的に移動可能なリニアモータに用いられるヨーク組立体であって、
空隙を介して対向配置される長尺板状の一対のヨークと、前記一対のヨークの短手方向一方端において前記一対のヨークをそれぞれ片持ち梁状に支持するヨーク固定部を有し、
前記ヨーク固定部の前記一対のヨークを支持する面に突起部が形成されており、前記突起部により、前記一対のヨークが前記一方端側から他方端側に前記空隙を広げるように構成されていること特徴とするヨーク組立体。
続きを表示（約 370 文字）【請求項２】
固定子と可動子とが相対的に移動可能なリニアモータに用いられるヨーク組立体であって、
空隙を介して対向配置される長尺板状の一対のヨークと、前記一対のヨークの長手方向両端部において前記一対のヨークをそれぞれ支持するヨーク固定部を有し、
前記ヨーク固定部の前記一対のヨークを支持する面に突起部が形成されており、前記突起部により、前記一対のヨークが前記ヨーク固定部から離れるにしたがって前記一対のヨーク間の前記空隙が広がるように構成されていることを特徴とするヨーク組立体。
【請求項３】
請求項１または２に記載の前記ヨーク組立体の、前記空隙を介して対向配置される一対のヨークの対向面それぞれに複数の永久磁石が配置され、前記複数の永久磁石が対向する空隙にコイルが配置されたことを特徴とするリニアモータ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータの固定子あるいは可動子を構成するヨーク組立体及び当該ヨーク組立体を有するリニアモータに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置、液晶製造装置、あるいは半導体素子や液晶ディスプレイ等の検査装置においては、各種部品の搬送装置として２軸のステージ装置、いわゆるＸ－Ｙステージが使用されている。Ｘ－Ｙステージは、定盤に対して所定の方向（Ｘ方向）に移動するＸステージと、Ｘ方向に直交する方向（Ｙ方向）に移動するＹステージとを備える。
Ｘステージ及びＹステージはリニアモータ等により駆動される駆動部を含む。リニアモータは、Ｎ極とＳ極が対向するようにヨークに支持された永久磁石を有する断面コの字型の磁界発生部材と、その磁界内を横切るコイルを有するコイル部材を備えている。
リニアモータはコイルに電流を流すことで、永久磁石による磁界と、コイルに発生する磁界の相互作用で、磁界発生部材とコイル部材との相対移動ができるようになっている。
【０００３】
特許文献１には、断面コの字状のヨークの内面側に、隣り合う永久磁石及び対向する永久磁石の磁極が異なる様に配置された固定子と、永久磁石の列に対向配置されたコイルからなる可動子で構成されたリニアモータが開示されている。
特許文献２には、平面視（上面視）でロの字状の枠体（ヨーク）内に、永久磁石を対向配置させた可動子と、該枠体内に配置したコイルを固定子とするリニアモータが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００８－２４５４７５号公報
特開２００４－４０９３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような配置のリニアモータにおいては、高い出力を得るために強い磁力を有する永久磁石が用いられており、磁石同士の吸引力により、磁石を配置したヨークが湾曲することがあり、磁石と可動子（固定子）の間の隙間が十分得られなくなるおそれがある。
ヨークの湾曲を抑えるために、ヨークの肉厚を厚くすることによって、湾曲しづらくするなどの対応が考えられるが、リニアモータの小型化、軽量化が難しくなるといった問題がある。
また、ヨークの湾曲によって、ヨーク内面（対向面）に配置された磁石の間隔が場所によって異なることで、可動子（固定子）の相対的な位置で推力が異なるおそれがある。
【０００６】
本発明は、リニアモータの小型化、軽量化を図るとともに、均一な推力でかつ高い出力の得ることが可能なヨーク組立体及び当該ヨーク組立体を有するリニアモータの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のヨーク組立体は、固定子と可動子とが相対的に移動可能なリニアモータに用いられるヨーク組立体であって、空隙を介して対向配置される長尺板状の一対のヨークと、前記一対のヨークの短手方向一方端において前記一対のヨークをそれぞれ片持ち梁状に支持するヨーク固定部を有し、前記ヨーク固定部の前記一対のヨークを支持する面に突起部が形成されており、前記突起部により、前記一対のヨークが前記一方端側から他方端側に前記空隙を広げるように構成されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明のヨーク組立体は、固定子と可動子とが相対的に移動可能なリニアモータに用いられるヨーク組立体であって、空隙を介して対向配置される長尺板状の一対のヨークと、前記一対のヨークの長手方向両端部において前記一対のヨークをそれぞれ支持するヨーク固定部を有し、前記ヨーク固定部の前記一対のヨークを支持する面に突起部が形成されており、前記突起部により、前記一対のヨークが前記ヨーク固定部から離れるにしたがって前記一対のヨーク間の前記空隙が広がるように構成されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明のリニアモータは、前記ヨーク組立体の、前記空隙を介して対向配置される一対のヨークの対向面それぞれに複数の永久磁石が配置され、前記複数の永久磁石が対向する空隙にコイルが配置されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、リニアモータの小型化、軽量化を図るとともに、均一な推力でかつ高い出力の得ることが可能なヨーク組立体及び当該ヨーク組立体を有するリニアモータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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