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公開番号2024038844
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-21
出願番号2022143165
出願日2022-09-08
発明の名称液滴移動用基板及び液滴移動デバイス
出願人日本電気硝子株式会社
代理人弁理士法人大阪フロント特許事務所
主分類C03C 19/00 20060101AFI20240313BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約【課題】微小な液滴を移動させる場合においても、液滴の位置を精度良く制御することができる、液滴移動用基板を提供する。
【解決手段】表面1aに凹凸を有する、液滴移動用基板1であって、凹凸を有する表面1aにおける5μm×5μmの領域において、高域フィルタのカットオフ値を2.5μmとしたときに、算術平均高さSa1が、0.3nm以上、100nm以下である、液滴移動用基板1。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
表面に凹凸を有する、液滴移動用基板であって、
前記凹凸を有する表面における５μｍ×５μｍの領域において、高域フィルタのカットオフ値を２．５μｍとしたときに、算術平均高さＳａ１が、０．３ｎｍ以上、１００ｎｍ以下である、液滴移動用基板。
続きを表示（約 650 文字）【請求項２】
前記凹凸を有する表面における９２μｍ×７６μｍの領域において、高域フィルタのカットオフ値を５０μｍとし、低域フィルタのカットオフ値を２．５μｍとしたときに、算術平均高さＳａ２が、５ｎｍ以上、２０００ｎｍ以下である、請求項１に記載の液滴移動用基板。
【請求項３】
前記凹凸を有する表面上に２０μＬの水からなる液滴を載置し水平方向に対して傾けたときに、前記液滴が滑落する角度である滑落角が、３０°以上である、請求項１又は２に記載の液滴移動用基板。
【請求項４】
前記液滴移動用基板が、ガラス基板である、請求項１又は２に記載の液滴移動用基板。
【請求項５】
前記液滴移動用基板の表面における少なくとも一部に、撥水性を有する領域が設けられている、請求項１又は２に記載の液滴移動用基板。
【請求項６】
基板本体と、
前記基板本体の表面における少なくとも一部に設けられた撥水性膜と、
を備え、
前記撥水性膜の表面が、前記凹凸を有する表面である、請求項１又は２に記載の液滴移動用基板。
【請求項７】
振動により液滴を移動させる、液滴移動デバイスであって、
請求項１又は２に記載の液滴移動用基板と、
アクチュエータと、
を備える、液滴移動デバイス。
【請求項８】
前記アクチュエータが、ピエゾアクチュエータである、請求項７に記載の液滴移動デバイス。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴移動用基板及び該液滴移動用基板を用いた液滴移動デバイスに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
微小化学分析や、バイオセンシング等の分野では、検体量や薬品量の削減を目的として、微小な液滴の位置を任意に制御する方法が検討されている。また、車載用や監視用等の屋外で使用されるカメラのカバー部材には撥水性材料が用いられ、カメラ表面に水滴が付着することを防止しているが、微小な液滴は凝集力が支配的になり重力下でも滑落し難いことから、この分野においても微小な液滴の位置を任意に制御する方法が検討されている。このように、微小な液滴の位置を任意に制御する方法は、近年益々需要が高まっており、注目を集めている。
【０００３】
例えば、下記の特許文献１には、表面エネルギ勾配を用いて微量液滴を輸送する簡便な独自技術と、エレクトロウェッティングという電気的制御性に優れた従来技術を組み合わせることにより、デバイス上に表面張力の差あるいは勾配を電気的に形成し、デバイス上での液滴輸送を電気的に制御することができる、微量液滴輸送デバイスが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第４３８５１２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１のような微量液滴輸送デバイスでは、疎水部と親水部とが生じることから、親水部では液滴が大きく濡れ広がってしまうという問題がある。また、液滴の厳密な位置制御が難しいという問題もある。
【０００６】
本発明の目的は、微小な液滴を移動させる場合においても、液滴の位置を精度良く制御することができる、液滴移動用基板及び該液滴移動用基板を用いた液滴移動デバイスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する液滴移動用基板及び該液滴移動用基板を用いた液滴移動デバイスの各態様について説明する。
【０００８】
本発明の態様１に係る液滴移動用基板は、表面に凹凸を有する、液滴移動用基板であって、前記凹凸を有する表面における５μｍ×５μｍの領域において、高域フィルタのカットオフ値を２．５μｍとしたときに、算術平均高さＳａ１が、０．３ｎｍ以上、１００ｎｍ以下であることを特徴としている。
【０００９】
態様２の液滴移動用基板では、前記凹凸を有する表面における９２μｍ×７６μｍの領域において、高域フィルタのカットオフ値を５０μｍとし、低域フィルタのカットオフ値を２．５μｍとしたときに、算術平均高さＳａ２が、５ｎｍ以上、２０００ｎｍ以下であることが好ましい。
【００１０】
態様３の液滴移動用基板では、態様１又は態様２において、前記凹凸を有する表面上に２０μＬの水からなる液滴を載置し水平方向に対して傾けたときに、前記液滴が滑落する角度である滑落角が、３０°以上であることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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