特許ウォッチ

公開番号2025168291
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-07
出願番号2025069268
出願日2025-04-21
発明の名称カーボンナノ構造体のコーティングされた自立型フィルム
出願人カナトゥフィンランドオイ
代理人個人
主分類G03F 1/62 20120101AFI20251030BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】印刷の欠陥はEUVリソグラフィの取り込み(uptake)に対する主要な制約である。
【解決手段】支持体に取り付けられたコーティングされた自立型フィルムを含む構造体が開示される。自立型フィルムはカーボンナノ構造体の自立型フィルムであり、自立型フィルムの上に5～200nmの厚さを有するパリレンコーティングが提供される。支持体に取り付けられたカーボンナノ構造体の自立型フィルムと、金属ベースのコーティングとを含む構造体に5～200nmの厚さを有するパリレンコーティングを提供することによって、この構造体のガス透過率を低減させる一方で、イオン化放射線の透過を可能にするためのパリレンコーティングの使用もさらに開示される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
支持体に取り付けられたコーティングされた自立型フィルムを含む構造体であって、前記自立型フィルムがカーボンナノ構造体の自立型フィルムであり、前記自立型フィルムの上に５～２００ｎｍの厚さを有するパリレンコーティングが提供される、構造体。
続きを表示（約 990 文字）【請求項２】
前記パリレンが、非置換型パリレン、塩素化パリレン、フッ素化パリレン、アルキル置換型パリレン、反応性パリレン、着色パリレン、若しくは架橋パリレン、又はこれらのうちの少なくとも２つの任意の組み合わせである、請求項１に記載の構造体。
【請求項３】
前記パリレンコーティングが、前記カーボンナノ構造体の自立型フィルムの片側にのみ提供される、請求項１～２のいずれか一項に記載の構造体。
【請求項４】
前記パリレンコーティングが、前記カーボンナノ構造体の自立型フィルムの両側に提供される、請求項１～３のいずれか一項に記載の構造体。
【請求項５】
パリレンコーティングが、１０～１９０ｎｍ、又は１５～１７０ｎｍ、又は２０～１５０ｎｍ、又は２５～１３０ｎｍ、又は３０～１００ｎｍ、又は３５～８０ｎｍ、又は４０～６０ｎｍの厚さを有する、請求項１～４のいずれか一項に記載の構造体。
【請求項６】
前記カーボンナノ構造体の自立型フィルムが、８～８０００ｎｍ、又は１５～７０００ｎｍ、又は２０～５０００ｎｍ、又は５０～２５００ｎｍ、又は１００～１０００ｎｍ、又は２００～６００ｎｍの厚さを有する、請求項１～５のいずれか一項に記載の構造体。
【請求項７】
前記支持体がガラス、金属、プラスチック、又はそれらの任意の組み合わせで形成される、請求項１～６のいずれか一項に記載の構造体。
【請求項８】
前記コーティングされた自立型フィルムが、０．１～１０００ｃｍ
２
、又は１～５００ｃｍ
２
、又は５～３５０ｃｍ
２
、又は１０～２００ｃｍ
２
、又は５０～１５０ｃｍ
２
のサイズを有する、請求項１～７のいずれか一項に記載の構造体。
【請求項９】
前記パリレンコーティングの上に金属ベースのコーティングが提供される、請求項１～８のいずれか一項に記載の構造体。
【請求項１０】
前記パリレンコーティングと前記カーボンナノ構造体の自立型フィルムとの間に金属ベースのコーティングが提供される、請求項１～９のいずれか一項に記載の構造体。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、支持体に取り付けられたコーティングされた自立型フィルムを含む構造体に関する。本開示は、支持体に取り付けられたカーボンナノ構造体の自立型フィルム（ｆｒｅｅ－ｓｔａｎｄｉｎｇｆｉｌｍ）と、金属ベースのコーティングとを含む構造体のガス透過率を低減させる一方で、イオン化放射線の透過を可能にするための方法及び使用に関する。さらに、この構造体の使用が開示される。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
極端紫外線リソグラフィ（ｅｘｔｒｅｍｅｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）（ＥＵＶ又はＥＵＶＬ）は、極端紫外線波長の範囲を使用した光リソグラフィ技術である。ウェハ上のフォトマスクを欠陥から保護すること、精度を高めること、処理を短くすること、及び生産効率を増加させることのために、ＥＵＶペリクルフィルムが使用される。しかしながら、印刷の欠陥は、なおもＥＵＶリソグラフィの取り込み（ｕｐｔａｋｅ）に対する主要な制約である。よって、ＥＵＶペリクルフィルムと類似の洗練された粒子フィルタが必要とされる。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００３】
支持体に取り付けられたコーティングされた自立型フィルムを含む構造体が開示される。自立型フィルムは、カーボンナノ構造体の自立型フィルムである。自立型フィルムの上に、５～２００ｎｍの厚さを有するパリレンコーティングが提供される。
【０００４】
支持体に取り付けられたカーボンナノ構造体の自立型フィルムと、金属ベースのコーティングとを含む構造体のガス透過率を低減させる一方で、イオン化放射線の透過を可能にするための方法がさらに開示され、この方法は、構造体に５～２００ｎｍの厚さを有するパリレンコーティングを提供するステップを含む。
【０００５】
支持体に取り付けられたカーボンナノ構造体の自立型フィルムと、金属ベースのコーティングとを含む構造体に５～２００ｎｍの厚さを有するパリレンコーティングを提供することによって、この構造体のガス透過率を低減させる一方で、イオン化放射線の透過を可能にするためのパリレンコーティングの使用がさらに開示される。
【０００６】
現在の開示において開示される構造体の、センサ、光学フィルタ、デブリフィルタ、ペリクル、膜フィルタ、電子遮断（ｅｌｅｃｔｒｏｎｂｌｏｃｋｉｎｇ）ウィンドウ、又はこれらのうちの少なくとも２つの任意の組み合わせとしての使用がさらに開示される。
【０００７】
添付の図面は、実施形態のさらなる理解を提供し、この明細書の一部を構成するために含まれ、一実施形態を示し、説明と共に本発明の原理を説明するために役立つものである。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
一実施形態による構造体の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の顕微鏡写真を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本開示は、支持体に取り付けられたコーティングされた自立型フィルムを含む構造体に関し、自立型フィルムはカーボンナノ構造体の自立型フィルムであり、自立型フィルムの上に５～２００ｎｍの厚さを有するパリレンコーティングが提供される。
【００１０】
本開示はさらに、支持体に取り付けられたカーボンナノ構造体の自立型フィルムと、金属ベースのコーティングとを含む構造体のガス透過率を低減させる一方で、イオン化放射線の透過を可能にするための方法に関し、この方法は、構造体に５～２００ｎｍの厚さを有するパリレンコーティングを提供するステップを含む。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許