特許ウォッチ

公開番号2025136507
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024035132
出願日2024-03-07
発明の名称電気光学装置および電子機器
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人弁理士法人旺知国際特許事務所
主分類G09F 9/30 20060101AFI20250911BHJP(教育;暗号方法;表示;広告;シール)
要約【課題】半導体層に入射する光に対する遮光性の向上を図ることができる電気光学装置、および電子機器を提供すること。
【解決手段】電気光学装置は、基板と、ゲート電極、および半導体層を含むトランジスターと、走査線と、前記半導体層に対して前記第1方向に配置される第1遮光部と、前記半導体層に対して第2方向に配置される第2遮光部と、を備え、前記第1遮光部の電位と前記第2遮光部の電位とは、互いに異なり、前記第1遮光部は、前記半導体層の幅方向の両側に設けられ、前記走査線と前記ゲート電極との間の第1絶縁層から前記半導体層と前記第2遮光部との間の第2絶縁層まで延在する第1部分を有し、前記第1部分と前記第2遮光部との間には、前記第1部分および前記第2遮光部に接触する中間層が配置されており、前記中間層は、絶縁性を有する層を含み、かつ前記第1絶縁層および前記第2絶縁層の各材料とは異なる材料を含む。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
基板と、
前記基板に対して第１方向に配置されるゲート電極、および前記基板と前記ゲート電極との間に配置される半導体層を含むトランジスターと、
前記ゲート電極に対して前記第１方向に配置され、前記ゲート電極に電気的に接続される走査線と、
前記半導体層に対して前記第１方向に配置され、前記第１方向からみた平面視で前記半導体層と重なる第１遮光部と、
前記半導体層に対して前記第１方向と反対の第２方向に配置され、前記平面視で前記半導体層と重なる第２遮光部と、を備え、
前記第１遮光部の電位と前記第２遮光部の電位とは、互いに異なり、
前記第１遮光部は、前記半導体層の幅方向の両側に設けられ、前記走査線と前記ゲート電極との間の第１絶縁層から前記半導体層と前記第２遮光部との間の第２絶縁層まで延在する第１部分を有し、
前記第１部分と前記第２遮光部との間には、前記第１部分および前記第２遮光部に接触する中間層が配置されており、
前記中間層は、絶縁性を有する層を含み、かつ前記第１絶縁層および前記第２絶縁層の各材料とは異なる材料を含む、
ことを特徴とする電気光学装置。
続きを表示（約 970 文字）【請求項２】
前記第１遮光部は、第２部分および第３部分をさらに備え、
前記第２部分は、前記半導体層と前記走査線が設けられる層との間に設けられ、
前記第３部分は、前記ゲート電極と前記走査線が設けられる層との間に設けられ、
前記第３部分の前記第２方向の長さ、前記第２部分の前記第２方向の長さ、および前記第１部分の前記第２方向の長さは、この順に長くなり、前記第１部分の前記第２方向の長さが最も長い、
請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項３】
前記第１部分と前記半導体層との距離、前記第２部分と前記半導体層との間の距離、および前記第３部分と前記半導体層との間の距離は、この順に長くなり、前記第３部分と前記半導体層との間の距離が最も長い、
請求項２に記載の電気光学装置。
【請求項４】
前記半導体層は、ドレイン領域、ソース領域、および前記ドレイン領域と前記ソース領域との間に設けられるチャネル領域を含み、
前記第１遮光部は、前記ドレイン領域に電気的に接続され、前記第１遮光部は、前記平面視で前記ドレイン領域に重なる部分を有し、
前記第２遮光部は、前記ゲート電極に電気的に接続される、
請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項５】
前記中間層は、前記第１絶縁層および前記第２絶縁層のそれぞれよりもフッ素系エッチング剤に対するエッチングレートが遅い、
請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項６】
前記中間層は、窒化ケイ素を含む、
請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項７】
前記中間層は、金属を含む第１層と、絶縁性の第２層とを有する、
請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項８】
前記第１層は、前記第２絶縁層と同材料を含む、
請求項７に記載の電気光学装置。
【請求項９】
前記中間層の厚さは、前記第２遮光部の厚さよりも薄い、
請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１項に記載の電気光学装置と、
前記電気光学装置の動作を制御する制御部と、を有することを特徴とする電子機器。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置および電子機器に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
プロジェクター等の電子機器には、例えば、画素ごとに光学的特性を変更可能な液晶表示装置等の電気光学装置が用いられる。当該電気光学装置の例として、特許文献１に記載の表示装置が知られている。
【０００３】
特許文献１に記載の表示装置は、半導体膜および当該半導体膜よりも上層に配置されたゲート電極を含む薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）と、ゲート電極よりも上層に配置された走査線とを備える。当該ゲート電極と走査線とは、コンタクトホールを介して電気的に接続されている。また、当該表示装置では、半導体膜の上層に設けられた走査線を遮光層として利用している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１５－７８０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の装置では、半導体膜の上層に設けられた走査線を遮光層として利用しているが、これだけでは、半導体膜に対する遮光性が充分では無いという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の電気光学装置の一態様は、基板と、前記基板に対して第１方向に配置されるゲート電極、および前記基板と前記ゲート電極との間に配置される半導体層を含むトランジスターと、前記ゲート電極に対して前記第１方向に配置され、前記ゲート電極に電気的に接続される走査線と、前記半導体層に対して前記第１方向に配置され、前記第１方向からみた平面視で前記半導体層と重なる第１遮光部と、前記半導体層に対して前記第１方向と反対の第２方向に配置され、前記平面視で前記半導体層と重なる第２遮光部と、を備え、前記第１遮光部の電位と前記第２遮光部の電位とは、互いに異なり、前記第１遮光部は、前記半導体層の幅方向の両側に設けられ、前記走査線と前記ゲート電極との間の第１絶縁層から前記半導体層と前記第２遮光部との間の第２絶縁層まで延在する第１部分を有し、前記第１部分と前記第２遮光部との間には、前記第１部分および前記第２遮光部に接触する中間層が配置されており、前記中間層は、絶縁性を有する層を含み、かつ前記第１絶縁層および前記第２絶縁層の各材料とは異なる材料を含む。
【０００７】
本発明の電子機器の一態様は、電気光学装置と、前記電気光学装置の動作を制御する制御部と、を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施形態に係る電気光学装置の平面図である。
図１に示す電気光学装置のＡ－Ａ線の断面図である。
図１の素子基板の電気的な構成を示す等価回路図である。
図２の表示領域における素子基板の一部を示す平面図である。
図４のＡ１―Ａ１線の断面図である。
図４のＡ２―Ａ２線の断面図である。
図５中のトランジスターを示す平面図である。
図５に示す第２遮光部の平面図である。
図５に示す第１遮光部および第２遮光部の平面図である。
図５に示す第１遮光部および第２遮光部の平面図である。
図１０中のＡ３―Ａ３線の断面図である。
図１０中のＡ４―Ａ４線の断面図である。
図１２に示す中間層の平面図である。
図１２に示す中間層の製造方法を説明するための図である。
図１２に示す中間層の製造方法を説明するための図である。
第１凹部の製造方法を説明するための断面図である。
第１凹部の製造方法を説明するための平面図である。
第２凹部の製造方法を説明するための断面図である。
第２凹部の製造方法を説明するための平面図である。
第３凹部の製造方法を説明するための平面図である。
第１遮光部の製造方法を説明するための図である。
第２実施形態における中間層を示す断面図である。
第２実施形態における中間層を示す断面図である。
図２２に示す中間層の第２層を示す平面図である。
電子機器の一例であるパーソナルコンピューターを示す斜視図である。
電子機器の一例であるスマートフォンを示す平面図である。
電子機器の一例であるプロジェクターを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態を説明する。なお、図面において各部の寸法または縮尺は実際と適宜に異なり、理解を容易にするために模式的に示す部分もある。また、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られない。
【００１０】
１．電気光学装置
１Ａ．基本構成
図１は、実施形態に係る電気光学装置１００の平面図である。図２は、図１に示す電気光学装置１００のＡ－Ａ線の断面図である。なお、図１では、対向基板３の図示を省略する。また、以下では、説明の便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を適宜用いて説明する。また、Ｘ軸に沿う一方向をＸ１方向と表記し、Ｘ１方向とは反対の方向をＸ２方向と表記する。同様に、Ｙ軸に沿う一方向をＹ１方向と表記し、Ｙ１方向とは反対の方向をＹ２方向と表記する。Ｚ軸に沿う一方向をＺ１方向と表記し、Ｚ１方向とは反対の方向をＺ２方向と表記する。Ｚ１方向は「第１方向」に相当し、Ｚ２方向は、「第２方向」に相当する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許