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公開番号2025133021
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-10
出願番号2024220236,2024029924
出願日2024-12-16,2024-02-29
発明の名称清浄装置、清浄システム、及び清浄方法
出願人信越ポリマー株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250903BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】清浄化のための追加の構造を収納容器に設けることなく、収納容器の内部空間を清浄化することができる清浄装置、清浄システム、及び清浄方法を提供すること。
【解決手段】清浄装置1は、開口とパネルを収納する内部空間とを有する容器本体と、開口を閉塞する蓋体と、を備える収納容器の内部空間を清浄化する清浄装置である。清浄装置1は、蓋体が外された状態の開口を閉塞する閉塞体であって、内部空間にガスが導入される給気口と、内部空間からガスが排出される排気口とを有する閉塞体と、給気口を介して内部空間にガスを供給する給気装置と、を備える。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
開口とパネルを収納する内部空間とを有する容器本体と、前記開口を閉塞する蓋体と、を備える収納容器の前記内部空間を清浄化する清浄装置であって、
前記蓋体が外された状態の前記開口を閉塞する閉塞体であって、前記内部空間にガスが導入される給気口と、前記内部空間からガスが排出される排気口とを有する閉塞体と、
前記給気口を介して前記内部空間にガスを供給する給気装置と、
を備える、清浄装置。
続きを表示（約 830 文字）【請求項２】
前記内部空間から前記排気口を介してガスを排出する排気装置を更に備える、請求項１に記載の清浄装置。
【請求項３】
前記内部空間の気圧が陽圧を維持するように、前記給気装置又は前記排気装置を制御する制御装置を更に備える、請求項２に記載の清浄装置。
【請求項４】
前記蓋体が外された状態の前記開口を前記閉塞体が閉塞するように、前記容器本体と前記閉塞体とを相対的に移動させる第１移動機構を更に備える、請求項１～請求項３のいずれか一項に記載の清浄装置。
【請求項５】
前記容器本体が載置されるとともに、前記容器本体を第１方向に移動するステージを含む載置台を更に備え、
前記閉塞体は、前記載置台の前記第１方向における端縁に設けられ、
前記第１移動機構は、前記ステージを含む、請求項４に記載の清浄装置。
【請求項６】
前記載置台は、前記容器本体を前記ステージに固定するクランプ機構を更に含む、請求項５に記載の清浄装置。
【請求項７】
前記蓋体を吸着する吸着パッドを有し、前記蓋体の施錠及び解錠を操作する開閉機構を更に備える、請求項５に記載の清浄装置。
【請求項８】
前記閉塞体及び前記開閉機構と前記容器本体とを前記第１方向と交差する第２方向に相対的に移動させる第２移動機構を更に備え、
前記閉塞体と前記開閉機構とは、前記第２方向に配列されている、請求項７に記載の清浄装置。
【請求項９】
前記給気装置は、前記容器本体の底板に設けられた給気バルブを更に介して前記内部空間にガスを供給する、請求項１～請求項３のいずれか一項に記載の清浄装置。
【請求項１０】
前記給気装置は、パーティクル除去用のフィルタを有する、請求項１～請求項３のいずれか一項に記載の清浄装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、清浄装置、清浄システム、及び清浄方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
収納容器の内部空間をガスにより清浄化する技術が知られている。例えば、特許文献１に記載の基板収納容器においては、容器本体を閉塞する蓋体の内壁面に設けられたガス噴出部からリテーナにガスを吹き付けることにより、リテーナに付着したパーティクルが吹き落とされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１４５００８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の技術では、蓋体にガス噴出部を設ける必要があり、さらに外部から容器本体の給気バルブに供給されたガスを蓋体のガス噴出部まで導入するための流路を設ける必要がある。本技術分野においては、清浄化のための追加の構造を収納容器に設けることなく、収納容器の内部空間を清浄化することが望まれている。
【０００５】
本開示は、清浄化のための追加の構造を収納容器に設けることなく、収納容器の内部空間を清浄化することができる清浄装置、清浄システム、及び清浄方法を説明する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一側面に係る清浄装置は、開口とパネルを収納する内部空間とを有する容器本体と、開口を閉塞する蓋体と、を備える収納容器の内部空間を清浄化する清浄装置である。この清浄装置は、蓋体が外された状態の開口を閉塞する閉塞体であって、内部空間にガスが導入される給気口と、内部空間からガスが排出される排気口とを有する閉塞体と、給気口を介して内部空間にガスを供給する給気装置と、を備える。
【０００７】
この清浄装置では、蓋体が外された状態の容器本体の開口が、給気口と排気口とを有する閉塞体によって閉塞され、給気装置によって給気口を介して容器本体の内部空間にガスが供給される。これにより、内部空間内のパーティクルがガスとともに排気口から排出される。このように、蓋体に代えて清浄化のための閉塞体を用いることにより、収納容器の内部空間が清浄化されるので、収納容器には清浄化のための追加の構造を設ける必要がない。言い換えると、上記清浄装置によれば、清浄化のための追加の構造を収納容器に設けることなく、収納容器の内部空間を清浄化することが可能となる。
【０００８】
上記清浄装置は、内部空間から排気口を介してガスを排出する排気装置を更に備えてもよい。この構成によれば、排気口からガスが排出されやすくなる。したがって、内部空間の清浄効率を向上させることが可能となる。
【０００９】
上記清浄装置は、内部空間の気圧が陽圧を維持するように、給気装置又は排気装置を制御する制御装置を更に備えてもよい。内部空間の気圧が陽圧であると、外部から内部空間にパーティクルが入り込む可能性が低減される。したがって、内部空間の清浄効率を向上させることが可能となる。
【００１０】
上記清浄装置は、蓋体が外された状態の開口を閉塞体が閉塞するように、容器本体と閉塞体とを相対的に移動させる第１移動機構を更に備えてもよい。この構成によれば、第１移動機構によって、閉塞体で開口が閉塞される。このため、開口を閉塞体で閉塞する作業時間を短縮することができ、外部から内部空間にパーティクルが入り込む可能性が低減される。したがって、内部空間の清浄効率を向上させることが可能となる。
（【００１１】以降は省略されています）

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