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公開番号2025119518
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-14
出願番号2024014458
出願日2024-02-01
発明の名称情報処理装置及び情報処理方法
出願人キオクシア株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G06N 20/00 20190101AFI20250806BHJP(計算;計数)
要約【課題】入力パラメータを短時間で最適化する。
【解決手段】情報処理装置は、入力パラメータに基づいて実験またはシミュレーションを行って得られる出力データと、出力データの物理量とを取得する出力データ取得部と、学習済みのモデルに出力データを入力して、出力データの特徴量を抽出する出力特徴量抽出部と、第1基準特徴量を生成する第1基準特徴量生成部と、第1基準特徴量と出力データの特徴量との類似度と、出力データの物理量とに基づいて、第2基準特徴量を生成する第2基準特徴量生成部と、第2基準特徴量と出力データの特徴量との類似度と出力データの物理量とに基づいて評価値を設定する評価値設定部と、評価値に基づいて次回の実験又はシミュレーションのための入力パラメータを決定する入力パラメータ決定部と、所定の条件を満たすまで、上述した各部の処理を繰り返す反復判定部と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
入力パラメータに基づいて実験またはシミュレーションを行うことにより得られる出力データと、前記出力データの物理量とを取得する出力データ取得部と、
学習済みのモデルに前記出力データを入力して、前記出力データの特徴量を抽出する出力特徴量抽出部と、
第１基準特徴量を生成する第１基準特徴量生成部と、
前記第１基準特徴量と前記出力データの特徴量との類似度と、前記出力データの物理量とに基づいて、第２基準特徴量を生成する第２基準特徴量生成部と、
前記第２基準特徴量と前記出力データの特徴量との類似度を算出し、算出された前記類似度と前記出力データの物理量とに基づいて評価値を設定する評価値設定部と、
前記評価値に基づいて、次回の実験又はシミュレーションのための入力パラメータを決定する次入力パラメータ決定部と、
所定の条件を満たすまで、前記出力データ取得部、前記出力特徴量抽出部、前記第１基準特徴量生成部、前記第２基準特徴量生成部、前記評価値設定部、及び前記次入力パラメータ決定部の処理を繰り返す反復判定部と、を備える、
情報処理装置。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記第２基準特徴量生成部は、前記第１基準特徴量と前記出力データの特徴量との類似度と、前記出力データの物理量のうち所定の条件を満たす物理量とに基づいて、前記第２基準特徴量を生成する、
請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記物理量は、処理対象物を製造する製造装置で用いられる処理媒体の流速又は濃度を含む、
請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記出力データは、出力画像と、前記出力画像に対応する前記物理量とを含む、
請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項５】
複数の処理対象物に対応する複数のチャネルのそれぞれごとに複数の前記出力画像を生成した後に、前記複数の出力画像を合成した合成出力画像を生成する画像合成部をさらに備える、
請求項４に記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記画像合成部は、前記複数の出力画像に対してグレースケール変換を行ってデータ量を削減した後に、前記複数のチャネルのそれぞれに応じた画像処理を行う、
請求項５に記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記画像合成部は、前記複数のチャネルのそれぞれごとに重みを変えて前記複数の出力画像を生成する、
請求項５に記載の情報処理装置。
【請求項８】
前記複数の出力画像に対応する前記複数の物理量と所定の評価指標とに基づいて、前記複数のチャネルに対応する複数の重みを算出する重み算出部を備え、
前記画像合成部は、前記複数の重みに基づいて前記複数の出力画像を生成する、
請求項７に記載の情報処理装置。
【請求項９】
前記重み算出部は、前記複数の物理量のそれぞれと前記評価指標との二乗誤差が最小化されるように、前記複数の重みを算出する、
請求項８に記載の情報処理装置。
【請求項１０】
前記複数の出力画像は、それぞれ異なる処理対象物についての画像である、
請求項５に記載の情報処理装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の一実施形態は、情報処理装置及び情報処理方法に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
複雑な事象の動作をシミュレータで模擬的に実行させる場合、出力データが多次元になる場合がある。出力データが多次元の場合、入力パラメータを更新するのに膨大な計算処理が必要になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第７３４４１４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の一実施形態では、入力パラメータを短時間で最適化できる情報処理装置及び情報処理方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明の一実施形態によれば、入力パラメータに基づいて実験またはシミュレーションを行うことにより得られる出力データと、前記出力データの物理量とを取得する出力データ取得部と、
学習済みのモデルに前記出力データを入力して、前記出力データの特徴量を抽出する出力特徴量抽出部と、
第１基準特徴量を生成する第１基準特徴量生成部と、
前記第１基準特徴量と前記出力データの特徴量との類似度と、前記出力データの物理量とに基づいて、第２基準特徴量を生成する第２基準特徴量生成部と、
前記第２基準特徴量と前記出力データの特徴量との類似度を算出し、算出された前記類似度と前記出力データの物理量とに基づいて評価値を設定する評価値設定部と、
前記評価値に基づいて、次回の実験又はシミュレーションのための入力パラメータを決定する入力パラメータ決定部と、
所定の条件を満たすまで、前記出力データ取得部、前記出力特徴量抽出部、前記第１基準特徴量生成部、前記第２基準特徴量生成部、前記評価値設定部、及び前記次入力パラメータ決定部の処理を繰り返す反復判定部と、を備える、情報処理装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
一実施形態に係る情報処理装置の全体構成を示すブロック図。
一実施形態に係る情報処理装置の処理動作を説明する図。
次入力パラメータ決定部の処理手順の一例を示すフローチャート。
第２基準特徴量生成部の処理動作を説明する図。
図４における第２基準特徴量生成部に入力される出力データのそれぞれが合成出力画像と対応する物理量を含む例を示す図。
基準画像なしで第１基準特徴量生成部が第１基準特徴量を生成する処理動作を説明する図。
一部の特徴量を除外して第１基準特徴量と第２基準特徴量を生成する特徴量除外部の処理動作を説明する図。
一実施形態の一変形例に係る情報処理装置の全体構成を示すブロック図。
一変形例に係る情報処理装置の処理動作を説明する図。
物理量の寄与率に基づいて第２基準特徴量を生成する手法を説明する図。
画像合成部が行う第１例に係る画像合成処理を示す図。
画像合成部が行う第２例に係る画像合成処理を示す図。
画像合成部が行う第３例に係る画像合成処理を示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、図面を参照して、情報処理装置及び情報処理方法の実施形態について説明する。以下では、情報処理装置及び情報処理方法の主要な構成部分を中心に説明するが、情報処理装置及び情報処理方法には、図示又は説明されていない構成部分や機能が存在しうる。以下の説明は、図示又は説明されていない構成部分や機能を除外するものではない。
【０００８】
（情報処理装置の全体構成）
図１は一実施形態に係る情報処理装置１の全体構成を示すブロック図である。一実施形態に係る情報処理装置１は、出力データ取得部２と、出力特徴量抽出部３と、第１基準特徴量生成部４と、第２基準特徴量生成部５と、評価値設定部６と、次入力パラメータ決定部７と、反復判定部８とを備える。
【０００９】
一実施形態に係る情報処理装置１は、例えばシミュレータ９又は実験装置の入力パラメータを決定することを特徴とする。シミュレータ９又は実験装置が行うシミュレーション又は実験の内容は問わない。例えば、半導体製造装置が製造する半導体装置の構造、表面形状、又は電気特性などをシミュレーション又は実験してもよい。
【００１０】
出力データ取得部２は、入力パラメータに基づいて実験またはシミュレーションを行うことにより得られる出力データと、出力データの物理量とを取得する。出力データ取得部２は、１つ以上の入力パラメータを取得する。入力パラメータは、圧力、電圧、温度、プロセス条件などの種々のパラメータである。物理量は、圧力、電圧、温度、プロセス条件などの値又は量である。より具体的な一例では、物理量は、処理対象物を製造する製造装置で用いられる処理媒体の流速又は濃度を含む。入力パラメータと物理量の具体的な種類と数は問わない。
（【００１１】以降は省略されています）

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