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公開番号2025092440
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-19
出願番号2024204802
出願日2024-11-25
発明の名称放射線放出体および測定システム
出願人財團法人工業技術研究院,INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
代理人個人,個人,個人
主分類H01S 1/02 20060101AFI20250612BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】放射線放出体および測定システムを提供する。
【解決手段】放射線放出体100Aは、第1光路に沿って伝送する第1光ビームL1を放出する第1光源102と、前記第1光ビームの前記第1光路上に配置された偏光子104と、前記第1光ビームの前記第1光路上に配置された少なくとも1つのミラー106とを含み、前記第1光ビームは、前記少なくとも1つのミラーの第1ミラーによって反射され、前記放射線放出体を離れる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
放射線放出体であって、
第１光路に沿って伝送する第１光ビームを放出する第１光源と、
前記第１光ビームの前記第１光路上に配置された偏光子と、
前記第１光ビームの前記第１光路上に配置された少なくとも１つのミラーと、
を含み、
前記第１光ビームが、前記少なくとも１つのミラーの第１ミラーによって反射され、前記放射線放出体を離れる放射線放出体。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記第１光源が、光伝導アンテナである請求項１に記載の放射線放出体。
【請求項３】
前記第１光ビームが、テラヘルツ放射である請求項１に記載の放射線放出体。
【請求項４】
前記偏光子が、直線偏光子である請求項１に記載の放射線放出体。
【請求項５】
前記少なくとも１つのミラーの前記第１ミラーが、軸外放物面ミラーである請求項１に記載の放射線放出体。
【請求項６】
前記放射線放出体が、さらに、
第２光路に沿って伝送する第２光ビームを放出する第２光源を含み、
前記第２光ビームが、可視光であり、
前記第２光ビームが前記少なくとも１つのミラーの前記第１ミラーによって反射された後、またはそれを介して伝送された後、前記第２光路が、前記第１光路と重なり合う請求項１に記載の放射線放出体。
【請求項７】
サンプル上に形成された前記第１光ビームの第１光スポットと前記サンプル上に形成された前記第２光ビームの第２光スポットが、重なり合う請求項６に記載の放射線放出体。
【請求項８】
レーザービームを放出するレーザー源と、
前記レーザービームを前記レーザービームの第１部分と前記レーザービームの第２部分に分割するビームスプリッターと、
サンプルを保持するように構成されたサンプルステージと、
前記レーザービームの第１部分を受信する放射線放出体と、
前記レーザービームの第２部分を受信する放射線検出器と、
を含む測定システムにおいて、
前記放射線放出体は、
前記レーザービームの前記第１部分に基づいて第１光ビームを放出し、第１光路に沿って前記サンプルに伝送し、第１反射光ビームを生成する第１光源と、
前記第１光ビームの前記第１光路上に配置された偏光子と、
前記第１光ビームの前記第１光路上に配置され、前記第１光ビームが前記少なくとも１つのミラーの第１ミラーによって反射され、前記放射線放出体を離れて前記サンプルに到達する少なくとも１つのミラーと、
を含む、
前記放射線検出器は、
前記第１反射光ビームの一部を受信する少なくとも１つの受信機と、
前記放射線検出器に接続し、前記放射線検出器から検出された信号を受信するロックインアンプと、
を含む、
測定システム。
【請求項９】
前記第１光源が、光伝導アンテナである請求項８に記載の測定システム。
【請求項１０】
前記第１光ビームが、テラヘルツ放射である請求項８に記載の測定システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、放射線放出体および測定システムに関するものである。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
テラヘルツ（terahertz）放射は、半導体ウェハ検査などの非接触式測定に広く使用されている。従来のテラヘルツ検出システムでは、光伝導アンテナなどのテラヘルツ光源によって放出されるテラヘルツ放射を光軸に合わせることが困難であるため、サンプル上で適切にテラヘルツ放射の焦点を合わせることができず、測定品質が低下する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
より良いテラヘルツ放射アライメント（THz radiation alignment）でテラヘルツ光源によって放出されるテラヘルツ放射を生成することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の１つの実施形態に基づき、放射線放出体を提供する。放射線放出体は、第１光路に沿って伝送する第１光ビームを放出する第１光源と、第１光ビームの第１光路上に配置された偏光子と、第１光ビームの第１光路上に配置された少なくとも１つのミラーとを含み、第１光ビームは、少なくとも１つのミラーの第１ミラーによって反射され、放射線放出体を離れる。
【０００５】
本発明の別の実施形態に基づき、測定システムを提供する。測定システムは、レーザービームを放出するレーザー源と、レーザービームをレーザービームの第１部分とレーザービームの第２部分に分割するビームスプリッターと、サンプルを保持するように構成されたサンプルステージと、レーザービームの第１部分を受信する放射線放出体と、レーザービームの第２部分を受信する放射線検出器とを含む。前記放射線放出体は、レーザービームの第１部分に基づいて第１光ビームを放出し、第１光路に沿ってサンプルに伝送し、第１反射光ビームを生成する第１光源と、第１光ビームの第１光路上に配置された偏光子と、第１光ビームの第１光路上に配置された少なくとも１つのミラーとを含み、第１光ビームが少なくとも１つのミラーの第１ミラーによって反射され、放射線放出体を離れてサンプルに到達する。前記放射線検出器は、第１反射光ビームの一部を受信する少なくとも１つの受信機と、放射線検出器に接続し、放射線検出器から検出信号を受信するロックインアンプ（lock-in amplifier）増幅器とを含む。
【発明の効果】
【０００６】
テラヘルツ放射の光路の軸外配置（off-axis arrangement）は、テラヘルツ放射の光軸のずれを補償することができる。追加の可視光は、テラヘルツ放射の光軸のずれを補償する別の方法を提供する。サンプルによって反射されたテラヘルツ放射を放射線検出器で測定することにより、反射されたテラヘルツ放射を２つの異なる偏光方向において同時に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
本発明の１つの実施形態に係る測定システムの概略図である。
本発明の１つの実施形態に係る測定システムの放射線放出体の概略図である。
本発明の１つの実施形態に係る測定システムの放射線放出体の概略図である。
本発明の１つの実施形態に係る測定システムの放射線放出体の概略図である。
本発明の１つの実施形態に係る測定システムの放射線放出体の概略図である。
本発明の１つの実施形態に係る測定システムの放射線放出体および放射線検出器の概略図である。
本発明の１つの実施形態に係る測定システムの測定結果の例である。
本発明の１つの実施形態に係る測定システムの測定結果の例である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、実施形態と添付の図面を組み合わせて詳細に説明するが、提供される実施形態は、本発明の範囲を限定するために使用されるものではない。また、図面中の構成要素のサイズは、説明の便宜上描かれたものであり、実際の構成要素のサイズを表すものではない。さらに、異なる構成要素および／または膜層を説明するために、本文中で「第１」、「第２」などの用語を使用するが、これらの構成要素および／または膜層は、これらの用語に限定されるべきではない。むしろ、これらの用語は、１つの構成要素または膜層を他の構成要素または膜層から区別するためにのみ使用される。したがって、以下で議論される第１の構成要素または膜層は、実施形態の教示から逸脱することなく、第２の構成要素または膜層と呼ばれる場合もある。理解しやすいよう、以下の説明では、同じ符号を用いて類似する構成要素を記載する。
【０００９】
本発明の実施形態の説明において、異なる例で反復する参照符号および／または単語を使用することができる。これらの反復する符号または単語は、簡略化および明確化を目的とするものであり、様々な実施形態間の関係および／または外観構造を限定するために使用されるものではない。さらに、以下の明細書の開示において、第１の特徴が第２の特徴の上または上方に形成されると記載されている場合、形成された第１の特徴と第２の特徴が直接接触している実施形態を含むとともに、第１の特徴と第２の特徴の間に追加の特徴が形成されている実施形態も含むため、第１の特徴と第の２特徴が直接接触していない場合もある。理解しやすいよう、以下の説明では、同じ符号を用いて類似する構成要素を記載する。
【００１０】
図１は、本発明の１つの実施形態に係る測定システムの概略図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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