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公開番号2025091635
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-19
出願番号2023206999
出願日2023-12-07
発明の名称X線管装置、X線装置、およびX線管装置のトリートメント方法
出願人キヤノン電子管デバイス株式会社
代理人弁理士法人iX
主分類H01J 35/06 20060101AFI20250612BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】本発明が解決しようとする課題は、陰極から放出される電子の量を回復させることができるX線管装置、X線装置、およびX線管装置のトリートメント方法を提供することである。
【解決手段】
実施形態に係るX線管装置は、電圧が印加されることで、電子を放出可能な電子源と、前記電子源を囲む集束電極と、前記電子源から放出された前記電子が入射することでX線を発生可能な陽極と、前記電子源に前記電圧を印加可能な陰極電源と、前記集束電極にプラスの第1の電圧を印加可能な電源と、を備えている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
電圧が印加されることで、電子を放出可能な電子源と、
前記電子源を囲む集束電極と、
前記電子源から放出された前記電子が入射することでＸ線を発生可能な陽極と、
前記電子源に前記電圧を印加可能な陰極電源と、
前記集束電極にプラスの第１の電圧を印加可能な電源と、
を備えたＸ線管装置。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
内部に、前記電子源、前記集束電極、および前記陽極が設けられる外囲器と、
前記陽極にプラスの電圧を印加可能な高圧電源と、
前記外囲器における、管電流および管電圧の少なくともいずれかを検出可能な第１の検出部と、
前記第１の検出部からの検出値に基づいて、前記陰極電源と、前記電源と、を制御可能なコントローラと、
をさらに備え、
前記コントローラは、前記第１の検出部からの前記検出値が所定の値以下となった場合には、
前記陰極電源を制御して、前記電子源から前記電子を放出させ、
前記電源を制御して、前記集束電極に前記プラスの前記第１の電圧を印加する請求項１記載のＸ線管装置。
【請求項３】
前記コントローラは、前記高圧電源をさらに制御可能であり、
前記コントローラは、前記電源を制御して、前記集束電極に前記プラスの前記第１の電圧を印加する場合には、前記高圧電源を制御して、前記陽極に前記プラスの前記電圧を印加しない請求項２記載のＸ線管装置。
【請求項４】
前記集束電極に流れる電流、および前記集束電極における電圧の少なくともいずれかを検出可能な第２の検出部をさらに備え、
前記コントローラは、前記集束電極に前記プラスの前記第１の電圧を印加した後に、前記第２の検出部からの検出値が所定の値以上となった場合には、
前記陰極電源を制御して、前記電子源への前記電圧の印加を停止し、
前記電源を制御して、前記集束電極への前記プラスの前記第１の電圧の印加を停止する請求項２記載のＸ線管装置。
【請求項５】
前記コントローラは、前記集束電極に前記プラスの前記第１の電圧を印加した後に、所定の時間が経過した場合には、
前記陰極電源を制御して、前記電子源への前記電圧の印加を停止し、
前記電源を制御して、前記集束電極への前記プラスの前記第１の電圧の印加を停止する請求項２記載のＸ線管装置。
【請求項６】
前記電源は、前記集束電極に印加する前記プラスの前記第１の電圧と、マイナスの第２の電圧と、の切り替えがさらに可能であり、
前記コントローラは、前記集束電極への前記プラスの前記第１の電圧の印加を停止した後に、
前記電源を制御して、前記集束電極への前記プラスの前記第１の電圧の印加の停止を継続、または、前記集束電極に前記マイナスの前記第２の電圧を印加し、
前記陰極電源を制御して、前記電子源に前記電圧を印加することで前記電子源から前記電子を放出させ、
前記高圧電源を制御して、前記陽極に前記プラスの前記電圧を印加する請求項４または５に記載のＸ線管装置。
【請求項７】
請求項１～５のいずれか１つに記載のＸ線管装置と、
前記Ｘ線管装置から放射され、対象物を透過したＸ線を検出可能なＸ線検出装置と、
を備えたＸ線装置。
【請求項８】
電子を放出可能な電子源と、前記電子源を囲む集束電極と、を備えたＸ線管装置のトリートメント方法であって、
管電流および管電圧の少なくともいずれかが所定の値以下となった場合には、
前記電子源に電圧を印加して前記電子源から前記電子を放出させ、前記集束電極にプラスの第１の電圧を印加するＸ線管装置のトリートメント方法。
【請求項９】
前記管電流および前記管電圧の少なくともいずれかが前記所定の値以下となった場合には、前記Ｘ線管装置の使用者に対して警告を発する請求項８記載のＸ線管装置のトリートメント方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、Ｘ線管装置、Ｘ線装置、およびＸ線管装置のトリートメント方法に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
Ｘ線管装置は、例えば、大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能な外囲器と、外囲器の内部に設けられた陰極と、外囲器の内部の、陰極と対向する位置に設けられたターゲットと、を備えている。また、陰極は、例えば、電子を放出するフィラメントと、フィラメントを囲む筒状の集束電極と、を備えている。
【０００３】
ここで、陰極から放出される電子の量が、経時的に減少する場合がある。放出される電子の量が経時的に減少する原因は、必ずしも明らかではないが、外囲器の内部にある残留ガスなどがプラスイオンとなって、マイナス電位の、集束電極やフィラメントの表面に付着することが考えられる。
【０００４】
陰極から放出される電子の量が減少すると、Ｘ線管装置から放射されるＸ線の線量が減少することになるので、例えば、Ｘ線画像の品質が低下したり、対象物の厚みの測定や検査などの精度が低下したりするおそれがある。
【０００５】
そこで、陰極から放出される電子の量を回復させることができる技術の開発が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１７－４７４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、陰極から放出される電子の量を回復させることができるＸ線管装置、Ｘ線装置、およびＸ線管装置のトリートメント方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
実施形態に係るＸ線管装置は、電圧が印加されることで、電子を放出可能な電子源と、前記電子源を囲む集束電極と、前記電子源から放出された前記電子が入射することでＸ線を発生可能な陽極と、前記電子源に前記電圧を印加可能な陰極電源と、前記集束電極にプラスの第１の電圧を印加可能な電源と、を備えている。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本実施の形態に係るＸ線管装置を例示するためのブロック図である。
電源の作用を例示するためのブロック図である。
（ａ）～（ｃ）は、電源による電圧印加の効果を例示するためのグラフである。
本実施の形態に係るＸ線装置を例示するためのブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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