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公開番号2025091174
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-18
出願番号2023206271
出願日2023-12-06
発明の名称露光装置
出願人株式会社ベアック
代理人めぶき弁理士法人
主分類G03F 7/20 20060101AFI20250611BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】露光工程の生産効率を格段に高めることが可能な露光装置を提供すること。
【解決手段】露光装置1は、光ビームL1～L6を走査して基板W1、W2,W3の露光部WRに露光パターンを形成する露光装置である。露光装置1は、独立して駆動制御が可能なRoll to Roll方式の第1基板搬送機構11及び第2基板搬送機構12を有する。第1露光ユニット35と第2露光ユニット36とは、第1基板搬送機構11及び第2基板搬送機構12それぞれが搬送する基板W1、W2,W3の露光部WRを挟んで対向して配置される。第1基板搬送機構11及び第2基板搬送機構12が搬送する基板W1,W2は、露光部WRが離間し、かつ平行に配置される。以上のような構成の露光装置1は、1枚の基板W3の両面露光が可能であり、基板W1,W2の1枚ずつの片面露光は勿論、基板W1,W2の片面露光を同時に行うことができる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
光ビームを走査して基板の露光面に露光パターンを形成する露光装置であって、
独立して駆動制御が可能なRoll to Roll方式の第１基板搬送機構及び第２基板搬送機構と、
前記第１基板搬送機構及び前記第２基板搬送機構それぞれが搬送する前記基板の露光部を挟んで対向して配置され、前記第１基板搬送機構側に配置される第１露光ユニット、及び前記第２基板搬送機構側に配置される第２露光ユニットと、を有し、
前記第１基板搬送機構及び前記第２基板搬送機構それぞれが搬送する前記基板は、前記露光部が離間して平行に配置されている、
ことを特徴とする露光装置。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
請求項１に記載の露光装置において、
少なくとも前記第１露光ユニット及び前記第２露光ユニットのいずれか一方は、前記基板の前記露光部に向かって進退させることが可能な露光ユニット位置調整機構をさらに有している、
ことを特徴とする露光装置。
【請求項３】
請求項１に記載の露光装置において、
前記第１基板搬送機構及び前記第２基板搬送機構それぞれが搬送する前記基板の前記露光部の間に配置される第１エア噴射ユニットと、
前記第１基板搬送機構が搬送する前記基板と前記第１露光ユニットとの間に配置される第２エア噴射ユニットと、
前記第２基板搬送機構が搬送する前記基板と前記第２露光ユニットとの間に配置される第３エア噴射ユニットと、をさらに有し、
前記第１エア噴射ユニット、前記第２エア噴射ユニット及び前記第３エア噴射ユニットは、前記第１露光ユニット又は前記第２露光ユニットから照射される前記光ビームが通過することが可能な開口部を有している、
ことを特徴とする露光装置。
【請求項４】
請求項３に記載の露光装置において、
前記第１エア噴射ユニット、前記第２エア噴射ユニット及び前記第３エア噴射ユニットは、各前記基板に対向する面に、多数のエア噴射孔を備えるエア噴射部材を有し、
前記第１エア噴射ユニット、前記第２エア噴射ユニット及び前記第３エア噴射ユニットが対面する各前記基板に向かって噴射するエアの圧力が同じである、
ことを特徴とする露光装置。
【請求項５】
請求項３に記載の露光装置において、
前記第１エア噴射ユニットは、前記第２エア噴射ユニット又は前記第３エア噴射ユニットを前記第１エア噴射ユニットに向かって進退させることが可能なエア噴射ユニット位置調整機構を有している、
ことを特徴とする露光装置。
【請求項６】
請求項３に記載の露光装置において、
前記開口部には、少なくとも前記基板側に光透過率の高い封止材が埋設されている、
ことを特徴とする露光装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
表裏両面に感光層が設けられた基板の表面側及び裏面側の両方に配置される露光ユニットによって、基板の表裏両面を同時に露光することが可能な露光装置が従前から知られている。この露光装置は、基板送り出しロールと基板巻取りロールとで長尺感光性フィルム（基板という）を間欠的に搬送し、露光ユニットにより基板の表裏両面に露光パターンを形成するというものである（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－３４８４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に記載の露光装置は、表裏両面に感光層を有する基板の表裏両面に同時に露光することが可能である。また、この露光装置は、基板の一方の面のみに露光層を有している基板には、一方の面側に配置される露光ユニットにより、片面露光を行うことも可能な構成となっている。しかし、この露光装置は、基板送り出しロール、基板巻取りロール、ガイドローラー、及び搬送ローラーなどで構成される基板搬送機構が１セット構成である。すなわち、この露光装置は、１枚の基板の搬送のみが可能となっていることから、同時に２枚の基板の片面露光を行うことは不可能である。したがって、例えば、複数種類の基板に対応するための切換え段取りなどを考慮すると、露光工程の生産性をさらに高めることは困難である。
【０００５】
そこで、本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、露光工程の生産性を格段に高めることが可能な露光装置を実現しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
［１］本発明の露光装置は、光ビームを走査して基板の露光面に露光パターンを形成する露光装置であって、独立して駆動制御が可能なRoll to Roll方式の第１基板搬送機構及び第２基板搬送機構と、前記第１基板搬送機構及び前記第２基板搬送機構それぞれが搬送する前記基板の露光部を挟んで対向して配置され、前記第１基板搬送機構側に配置される第１露光ユニット、及び前記第２基板搬送機構側に配置される第２露光ユニットと、を有し、前記第１基板搬送機構及び前記第２基板搬送機構それぞれが搬送する前記基板は、前記露光部が離間して平行に配置されている、ことを特徴とする。
【０００７】
［２］本発明の露光装置においては、少なくとも前記第１露光ユニット及び前記第２露光ユニットのいずれか一方は、前記基板の前記露光部に向かって進退させることが可能な露光ユニット位置調整機構をさらに有していることが好ましい。
【０００８】
［３］本発明の露光装置においては、前記第１基板搬送機構及び前記第２基板搬送機構それぞれが搬送する前記基板の前記露光部の間に配置される第１エア噴射ユニットと、前記第１基板搬送機構が搬送する前記基板と前記第１露光ユニットとの間に配置される第２エア噴射ユニットと、前記第２基板搬送機構が搬送する前記基板と前記第２露光ユニットとの間に配置される第３エア噴射ユニットと、をさらに有し、前記第１エア噴射ユニット、前記第２エア噴射ユニット及び前記第３エア噴射ユニットは、前記第１露光ユニット又は前記第２露光ユニットから照射される前記光ビームが通過することが可能な開口部を有していることが好ましい。
【０００９】
［４］本発明の露光装置においては、前前記第１エア噴射ユニット、前記第２エア噴射ユニット及び前記第３エア噴射ユニットは、各前記基板に対向する面に、多数のエア噴射孔を備えるエア噴射部材を有し、前記第１エア噴射ユニット、前記第２エア噴射ユニット及び前記第３エア噴射ユニットが対面する各前記基板に向かって噴射するエアの圧力が同じであることが好ましい。
【００１０】
［５］本発明の露光装置においては、前記第１エア噴射ユニットは、前記第２エア噴射ユニット又は前記第３エア噴射ユニットを前記第１エア噴射ユニットに向かって進退させることが可能なエア噴射ユニット位置調整機構を有していることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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