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公開番号2025087497
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-10
出願番号2023202196
出願日2023-11-29
発明の名称液体吐出装置、液体吐出方法及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類H10K 71/13 20230101AFI20250603BHJP()
要約【課題】生産性で有利な液体吐出装置を提供する。
【解決手段】複数の画素を有するディスプレイパネルを製造するための基板上の複数の目標領域に液体を吐出する液体吐出装置であって、第1液体を吐出する第1ノズルと、第2液体を吐出する第2ノズルとを含む吐出ヘッドと、吐出ヘッドに対して基板を相対的に第1方向に走査する走査駆動を行うための駆動機構と、制御部と、をし、複数の目標領域は第1方向に平行な走査ライン上に存在する第1目標領域及び第2目標領域を含み、第2目標領域の前記第1方向の幅は第1目標領域の第1方向の幅よりも狭く、制御部は第1目標領域に第1液体を供給するための第1走査駆動と、第1目標領域に第1液体を供給し、且つ、第2目標領域に第2液体を供給するための第2走査駆動とを行い、第2走査駆動における第2走査速度が第1走査駆動における第1走査速度よりも遅くなるように駆動機構を制御する液体吐出装置を提供する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
複数の画素を有するディスプレイパネルを製造するための基板上の複数の目標領域に対して液体を吐出する液体吐出装置であって、
第１液体を吐出する第１ノズルと、第２液体を吐出する第２ノズルと、を含む吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドに対して前記基板を相対的に第１方向に走査する走査駆動を行うための駆動機構と、
制御部と、を有し、
前記複数の目標領域は、前記第１方向に平行な走査ライン上に存在する第１目標領域及び第２目標領域を含み、
前記第２目標領域の前記第１方向の幅は、前記第１目標領域の前記第１方向の幅よりも狭く、
前記制御部は、前記第１目標領域に前記第１液体を供給するための第１走査駆動と、前記第１目標領域に前記第１液体を供給し、且つ、前記第２目標領域に前記第２液体を供給するための第２走査駆動とを行い、前記第２走査駆動における第２走査速度が前記第１走査駆動における第１走査速度よりも遅くなるように、前記駆動機構を制御する、
ことを特徴とする液体吐出装置。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
前記制御部は、
前記第１走査駆動において、前記第１ノズルから前記第１液体を吐出させ、且つ、前記第２ノズルから前記第２液体と吐出させないように、前記吐出ヘッドを制御し、
前記第２走査駆動において、前記第１ノズルから前記第１液体を吐出させ、且つ、前記第２ノズルから前記第２液体を吐出させるように、前記吐出ヘッドを制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記制御部は、
前記第１目標領域の前記第１方向の幅に関する情報、及び、前記第１ノズルの吐出特性に関する情報に基づいて、前記第１走査速度を決定し、
前記第２目標領域の前記第１方向の幅に関する情報、及び、前記第２ノズルの吐出特性に関する情報に基づいて、前記第２走査速度を決定する、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記吐出特性は、吐出速度のばらつき、又は、吐出角度のばらつきを含む、ことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記制御部は、
前記第１目標領域の前記第１方向の幅に関する情報、及び、前記第１ノズルから吐出される前記第１液体の直径に基づいて、前記第１走査速度を決定し、
前記第２目標領域の前記第１方向の幅に関する情報、及び、前記第２ノズルから吐出される前記第２液体の直径に基づいて、前記第２走査速度を決定する、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記制御部は、
前記第１目標領域の前記第１方向の幅と前記第１ノズルから吐出される前記第１液体の直径との差分を、前記第１ノズルから前記第１目標領域に供給される前記第１液体の前記第１方向の位置ずれの許容値として前記第１走査速度を決定し、
前記第２目標領域の前記第１方向の幅と前記第２ノズルから吐出される前記第２液体の直径との差分を、前記第２ノズルから前記第２目標領域に供給される前記第２液体の前記第１方向の位置ずれの許容値として前記第２走査速度を決定する、
ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記制御部は、
前記第１目標領域の前記第１方向の幅に関する情報、及び、互いに異なる複数の走査速度のそれぞれに対応する、前記第１ノズルから前記第１目標領域に供給される前記第１液体の前記第１方向の位置のばらつきに基づいて、前記第１走査速度を決定し、
前記第２目標領域の前記第１方向の幅に関する情報、及び、互いに異なる複数の走査速度のそれぞれに対応する、前記第２ノズルから前記第２目標領域に供給される前記第２液体の前記第１方向の位置のばらつきに基づいて、前記第２走査速度を決定する、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記制御部は、
前記第１目標領域及び前記第２目標領域のそれぞれの前記第１方向の幅に関する情報、前記第１目標領域及び前記第２目標領域のそれぞれに供給すべき前記第１液体の量及び前記第２液体の量に基づいて、前記走査駆動の回数を決定する、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記第１液体と前記第２液体とは、同一の液体である、ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
前記第１ノズルと前記第２ノズルとは、同一の吐出ヘッドに配列されている、ことを特徴とする請求項９に記載の液体吐出装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置、液体吐出方法及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、種々の機能素子を製造する際に、液体吐出装置（インクジェット装置）を用いて機能素子の材料を基板上に付与してパターンを形成すること（パターニング）が試みられている。液体吐出装置を用いたパターニングは、オンデマンドパターニングが可能であるため材料の使用効率が高いこと、非真空プロセスであるため製造装置が比較的小型になること、材料を大面積に高速に付与できることなどのメリットを有している。
【０００３】
このような液体吐出装置を表示装置の製造過程に適用することが考えられている。表示装置においては、様々な表示方式が提案され、特に、有機ＥＬ素子を用いた表示装置の開発が進められている。有機ＥＬ素子の材料は高価であるため、材料の使用効率が高く、材料を大面積に高速に付与できる液体吐出装置は、有機ＥＬ素子の製造に好適である。
【０００４】
また、近年では、有機ＥＬ素子の材料における赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色の発光効率の違いに対応するために、ＲＧＢごとに画素の幅（画素幅）を異ならせた有機ＥＬディスプレイが開発されている（特許文献１参照）。
【０００５】
ＲＧＢの画素幅が異なると、各画素に対して液体吐出装置に求められる液体の着弾精度（吐出精度）が異なり、画素幅の狭い画素については、画素幅が広い画素よりも高い着弾精度が必要となる。液体の着弾精度を向上させるためには、例えば、液体が着弾する基板の走査速度を低速にすることが考えられる。基板を低速で走査することで、液体の吐出ごとに異なる吐出速度のばらつきによる着弾誤差を低減することができる。
【０００６】
また、ＲＧＢの画素幅が異なると、液体吐出装置から吐出する液体（各色のインク）の量を、ＲＧＢの画素幅に応じて変更する必要がある。具体的には、画素幅が狭い画素には少量の液体を吐出し、画素幅が広い画素には多量の液体を吐出する必要がある。画素に対して多量の液体を吐出するためには、例えば、基板の走査を複数回繰り返しながら、各走査において、画素に液体を吐出することが考えられる。なお、複数回の走査を効率的に（高い生産性で）行うためには、基板の走査速度を高速にする必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２００２－２０８４８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来技術では、ＲＧＢの画素幅に応じて走査速度を変更することはせずに、画素幅が狭い画素、即ち、着弾精度が必要となる画素にあわせて基板を低速で走査しているため、生産性の低下を招く虞がある。
【０００９】
本発明は、このような従来技術の課題に鑑みてなされ、生産性の点で有利な液体吐出装置を提供することを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての液体吐出装置は、複数の画素を有するディスプレイパネルを製造するための基板上の複数の目標領域に対して液体を吐出する液体吐出装置であって、第１液体を吐出する第１ノズルと、第２液体を吐出する第２ノズルと、を含む吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドに対して前記基板を相対的に第１方向に走査する走査駆動を行うための駆動機構と、制御部と、を有し、前記複数の目標領域は、前記第１方向に平行な走査ライン上に存在する第１目標領域及び第２目標領域を含み、前記第２目標領域の前記第１方向の幅は、前記第１目標領域の前記第１方向の幅よりも狭く、前記制御部は、前記第１目標領域に前記第１液体を供給するための第１走査駆動と、前記第１目標領域に前記第１液体を供給し、且つ、前記第２目標領域に前記第２液体を供給するための第２走査駆動とを行い、前記第２走査駆動における第２走査速度が前記第１走査駆動における第１走査速度よりも遅くなるように、前記駆動機構を制御する、ことを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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