特許ウォッチ

公開番号2025087433
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-10
出願番号2023202090
出願日2023-11-29
発明の名称基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置
出願人株式会社SCREENホールディングス
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250603BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板を効率良く搬送することができる基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】インデクサロボットIRは、第1のハンド19,21と、ダミー基板DWの外周面を挟持して基板をハンドから離間させて保持する少なくとも2個のガイド67と、少なくとも2個のガイド67のうち、少なくとも1個のガイドを可動ガイドとしてダミー基板DWに対して進退駆動させる移動片71と、サーボモータ79と、ボールネジ83と、を備える。インデクサロボットIRは、ガイド67がダミー基板DWの外周面を挟持した水平面内での位置を示す初期位置情報P0,定期位置情報P1,P2を、触覚センサ73とエンコーダ81によって取得する。インデクサロボットIRは、取得された初期位置情報P0,定期位置情報P1,P2に基づいてガイド67の消耗度合いが第1消耗F1、第2消耗F2を越えた否かを判定する。
【選択図】図25
特許請求の範囲【請求項１】
基板を搬送する基板搬送装置において、
基板を水平姿勢で保持するハンドと、
基板を受け渡すために前記ハンドを水平面内で進退駆動する水平駆動機構と、
前記ハンドに設けられ、基板の外周面を挟持して前記基板を前記ハンドから離間させて保持する少なくとも２個のガイドと、
前記少なくとも２個のガイドのうち、少なくとも１個のガイドを可動ガイドとして前記基板に対して進退駆動させる進退駆動機構と、
前記ガイドが基板の前記外周面を挟持した前記水平面内での位置を示す挟持位置情報を取得する取得部と、
取得された前記挟持位置情報に基づいて前記ガイドの消耗度合いを判定する制御部と、を備える
ことを特徴とする基板搬送装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記制御部は、
初期状態にある前記ガイドの前記挟持位置情報と、取得された前記ガイドの前記挟持位置情報との差分情報を算出し、
前記差分情報に基づいて前記消耗度合いを判定する
ことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
請求項２に記載の基板搬送装置において、
前記制御部は、前記差分情報が第１閾値を超えた場合に、第１制御を行う
ことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項４】
請求項２に記載の基板搬送装置において、
前記制御部は、前記差分情報が前記第１閾値よりも前記消耗度合いが大きい第２閾値を超えた場合に、第２制御を行う
ことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項５】
請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記進退駆動機構は、前記進退駆動のための駆動力を与えるモータと、
前記モータの回転を検出し、検出信号として出力するセンサーとを含み、
前記取得部は、前記センサーによって与えられた前記検出信号に基づいて、前記挟持位置情報を取得する
ことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項６】
請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記進退駆動機構は、前記ガイドの移動距離を計測し、計測信号として出力する計測部を含み、
前記取得部は、前記計測部によって与えられた前記計測信号に基づいて、前記挟持位置情報を取得する
ことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項７】
請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記制御部は、前記消耗度合いに応じて、情報を出力する出力部に、前記消耗度合いに応じた情報を出力させる
ことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項８】
請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記制御部は、前記消耗度合いに応じて、基板の搬送を停止させる
ことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項９】
請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記制御部は、前記消耗度合いに応じて、前記ガイドと基板の前記外周面との接触位置が変わるように、前記ガイドを動作させる
ことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれかに記載の基板搬送装置と、
前記基板搬送装置によって搬送される基板に対して所定の処理を行う処理部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板、液晶表示用や有機ＥＬ（Electroluminescence）表示装置などのＦＰＤ（Flat Panel Display）用基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の基板を搬送する基板搬送装置及びそれを備えた基板処理装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、この種の装置として、基板を搬送する基板搬送装置と、基板を処理する処理部とを備えるものがある。基板搬送装置は、基板を把持するハンドを備える。ハンドは、先端側に固定された固定ガイドと、基端側に設けられ駆動機構によって進退可能な可動ガイドとを備える。ハンドは、固定ガイドに基板が支持された状態で、可動ガイドが基板を固定ガイドに押し付けることで、基板を把持する（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－４８３５９号公報（第１９頁、図１５）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置は、ハンドが基板の把持を繰り返すことによって、固定ガイドや可動ガイドが摩耗する。固定ガイドや可動ガイドの摩耗状態は、作業者が目視によって判断する。そのため、摩耗状態が適切に判断されないと、基板を適正に搬送できない搬送不良が生じる場合がある。その結果、基板を効率良く搬送できないという問題がある。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板を効率良く搬送できる基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明は、基板を搬送する基板搬送装置において、基板を水平姿勢で保持するハンドと、基板を受け渡すために前記ハンドを水平面内で進退駆動する水平駆動機構と、前記ハンドに設けられ、基板の外周面を挟持して前記基板を前記ハンドから離間させて保持する少なくとも２個のガイドと、前記少なくとも２個のガイドのうち、少なくとも１個のガイドを可動ガイドとして前記基板に対して進退駆動させる進退駆動機構と、前記ガイドが基板の前記外周面を挟持した前記水平面内での位置を示す挟持位置情報を取得する取得部と、取得された前記挟持位置情報に基づいて前記ガイドの消耗度合いを判定する制御部と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る基板搬送装置によれば、ガイドが基板の外周面を挟持した水平面内での位置を示す挟持位置情報が取得され、取得された挟持位置情報に基づいてガイドの消耗度合いが判定される。挟持位置情報は、ガイドの消耗度合いによって変化する。ガイドの消耗度合いを判定することで、基板の搬送不良を生じさせ難くすることができる。その結果、基板を効率良く搬送できる基板搬送装置を提供することができる。
【０００８】
また、本発明に係る基板搬送装置において、前記制御部は、初期状態にある前記ガイドの前記挟持位置情報と、取得された前記ガイドの前記挟持位置情報との差分情報を算出し、前記差分情報に基づいて前記消耗度合いを判定することが好ましい（請求項２）。これにより、初期状態のガイドの挟持位置情報と取得されたガイドの挟持位置情報とを比較することで、ガイドの消耗度合いを正確に検出することができる。
【０００９】
また、本発明に係る基板搬送装置において、前記制御部は、前記差分情報が第１閾値を超えた場合に、第１制御を行うことが好ましい（請求項３）。これにより、差分情報が第１閾値を超えるようなガイドの消耗度合いとなった場合に、適切な制御を行うことができる。
【００１０】
また、本発明に係る基板搬送装置において、前記制御部は、前記差分情報が前記第１閾値よりも前記消耗度合いが大きい第２閾値を超えた場合に、第２制御を行うことが好ましい（請求項４）。これにより、差分情報が第２閾値を超えるような大きなガイドの消耗度合いとなった場合に、さらに適切な制御を行うことができる。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許