TOP
|
特許
|
意匠
|
商標
特許ウォッチ
Twitter
他の特許を見る
公開番号
2025086788
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2025-06-09
出願番号
2023201074
出願日
2023-11-28
発明の名称
フッ化水素酸含有水の処理装置、及びフッ化水素酸含有水の処理方法
出願人
オルガノ株式会社
代理人
弁理士法人YKI国際特許事務所
主分類
B01D
39/06 20060101AFI20250602BHJP(物理的または化学的方法または装置一般)
要約
【課題】フッ化水素酸含有水を処理する際、ろ材の溶解によるろ材の減少を抑え、装置を安定的に運転できるフッ化水素酸含有水の処理装置を提供する。
【解決手段】pH4未満のフッ化水素酸含有水の処理装置1であって、ろ材が充填されたろ過装置12と、ろ過装置12の後段に配置され、イオン交換体が充填された脱イオン装置16と、を有し、前記ろ材は、ケイ素の成分比率が90質量%以上であるろ過砂を含むことを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲
【請求項1】
pH4未満のフッ化水素酸含有水の処理装置であって、
ろ材が充填されたろ過装置と、前記ろ過装置の後段に配置され、イオン交換体が充填された脱イオン装置と、を有し、
前記ろ材は、ケイ素の成分比率が90質量%以上であるろ過砂を含むことを特徴とするフッ化水素酸含有水の処理装置。
続きを表示(約 1,000 文字)
【請求項2】
前記ろ過砂のアルミニウムの成分比率が2質量%以下であることを特徴とする請求項1に記載のフッ化水素酸含有水の処理装置。
【請求項3】
前記ろ過装置には前記ろ材を支持する支持体が設けられ、
前記支持体は、ケイ素の成分比率が90質量%以上であり、アルミニウムの成分比率が2質量%以下であり、有効径が2~6mmの砂利であることを特徴とする請求項1又は2に記載のフッ化水素酸含有水の処理装置。
【請求項4】
前記ろ材は、前記ろ過砂と炭素系ろ材の組合せから構成されることを特徴とする請求項1又は2に記載のフッ化水素酸含有水の処理装置。
【請求項5】
前記ろ材は、前記ろ過砂と合成樹脂製ろ材との組み合わせから構成されることを特徴とする請求項1又は2に記載のフッ化水素酸含有水の処理装置。
【請求項6】
前記フッ化水素酸含有水は半導体工場の除害設備の排水であって、前記排水のフッ素濃度が100mg/L以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のフッ化水素酸含有水の処理装置。
【請求項7】
pH4未満のフッ化水素酸含有水の処理方法であって、
ろ材が充填されたろ過装置に前記フッ化水素酸含有水を通水して、ろ過水を得るろ過工程と、
イオン交換体が充填された脱イオン装置に前記ろ過水を通水して、イオン交換処理水を得る脱イオン工程と、を有し、
前記ろ材は、ケイ素の成分比率が90質量%以上であるろ過砂を含むことを特徴とするフッ化水素酸含有水の処理方法。
【請求項8】
前記ろ過砂のアルミニウムの成分比率が2質量%以下であることを特徴とする請求項7に記載のフッ化水素酸含有水の処理方法。
【請求項9】
前記ろ過装置には、前記ろ材を支持する支持体が設けられ、
前記支持体は、ケイ素の成分比率が90質量%以上であり、アルミニウムの成分比率が2質量%以下であり、有効径が2~6mmの砂利であることを特徴とする請求項7又は8に記載のフッ化水素酸含有水の処理方法。
【請求項10】
前記ろ材は、前記ろ過砂と炭素系ろ材の組合せから構成されることを特徴とする請求項7又は8に記載のフッ化水素酸含有水の処理方法。
(【請求項11】以降は省略されています)
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、フッ化水素酸含有水の処理装置、及びフッ化水素酸含有水の処理方法の技術に関する。
続きを表示(約 1,100 文字)
【背景技術】
【0002】
近年、各産業において生産拠点での取水量および排水量を低減するため、排水から水回収を行って水を再利用するケースが増えている。この水回収を行う水処理システムは原水水質に応じて様々であるが、例えば凝集沈殿、除濁膜、砂ろ過などの濁質除去工程の後、RO膜やイオン交換などの脱イオン工程を行うことが一般的である。
【0003】
例えば半導体工場においては、HFガス成分をスクラバーで処理したフッ化水素酸含有排水(例えば、除害系設備の排水:除害系排水)が排出されるが、このようなフッ化水素酸を含む水から水回収を行う場合、フッ化水素酸によって、各材料が溶解されることが問題となる。なお、半導体工場においては、高い水回収率が求められる場合が多いため、脱イオン工程をRO膜でなくイオン交換体により行うことも多い。
【0004】
例えば、特許文献1には、フッ素含有排水から水回収を晶析+砂ろ過+イオン交換樹脂で行うフローが開示されている。なお、晶析は、晶析槽内のpHを4~10の範囲に調整し、フッ化水素酸をフッ化物イオンとする中性域で行われている。
【0005】
水回収を行う際、ろ材として主成分がSiO
2
であるろ過砂と炭素系のアンスラサイトを用いた2層ろ過を適用することが多いが、フッ化水素酸のまま通水すると、ろ過砂の部分がHFによってケイフッ化物イオンとなって溶解して消失するという課題がある。
【0006】
また、ろ過砂から溶出したSiO
2
やAl等の成分が、後段の処理に影響を与えるという課題もある。具体的には、イオン交換樹脂への負荷量が増大するという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0007】
特開2001-96281号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
そこで、本発明の目的は、フッ化水素酸含有水を処理する際、ろ材の溶解によるろ材の減少を抑え、装置を安定的に運転できるフッ化水素酸含有水の処理装置及び処理方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本実施形態は、pH4未満のフッ化水素酸含有水の処理装置であって、ろ材が充填されたろ過装置と、前記ろ過装置の後段に配置され、イオン交換体が充填された脱イオン装置と、を有し、前記ろ材は、ケイ素の成分比率が90質量%以上であるろ過砂を含むことを特徴とする。
【0010】
また、前記フッ化水素酸含有水の処理装置において、前記ろ過砂のアルミニウムの成分比率は2質量%以下であることが好ましい。
(【0011】以降は省略されています)
この特許をJ-PlatPatで参照する
関連特許
東ソー株式会社
捕捉剤
1か月前
プライミクス株式会社
攪拌装置
1か月前
個人
二酸化炭素吸着分離装置
2日前
株式会社フクハラ
CO2分離方法
1か月前
株式会社近畿理研
吸引・収集装置
23日前
白元アース株式会社
除湿容器
2日前
東ソー株式会社
カルボニル化合物の捕捉剤
1か月前
株式会社石垣
フィルタープレスの運転方法
8日前
トヨタ自動車株式会社
ガスミキサー
3日前
日本バイリーン株式会社
円筒型フィルター
23日前
株式会社Tornada
気泡発生装置
22日前
東ソー株式会社
二酸化炭素分離用アミン組成物
1か月前
個人
循環槽用フィルタ及び浄化システム
24日前
株式会社クレハ
流体処理装置
17日前
株式会社トクヤマ
有機スズ化合物を低減する方法
1か月前
ユニチカ株式会社
フィルター材の製造方法
1か月前
株式会社神戸製鋼所
混練機
1か月前
トヨタ自動車株式会社
混合ガスの均一化方法
22日前
アクアインテック株式会社
攪拌槽
17日前
東レ株式会社
除害装置、除害方法及び半導体製造方法
24日前
日本特殊陶業株式会社
セラミック多孔体
1か月前
株式会社放電精密加工研究所
混合溶融装置
29日前
東レ株式会社
親水性多孔質フィルムおよび、その製造方法
1か月前
DIC株式会社
二酸化炭素吸収材
18日前
花王株式会社
分散液の製造方法
1か月前
株式会社神戸製鋼所
混練機の軸受構造
1か月前
リンナイ株式会社
混合装置
1か月前
日亜化学工業株式会社
流体処理装置
18日前
阪和化工機株式会社
撹拌翼及び撹拌構造体
1か月前
パナソニックIPマネジメント株式会社
除湿装置
18日前
いすゞ自動車株式会社
吸収装置
1か月前
住友重機械エンバイロメント株式会社
沈殿装置
1か月前
アクアインテック株式会社
固液分離システム
22日前
オルガノ株式会社
液体処理ユニットとその運転方法
29日前
株式会社島津理化
局所排気装置
3日前
クリーン・テクノロジー株式会社
排ガスの処理装置
8日前
続きを見る
他の特許を見る