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公開番号2025082562
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-29
出願番号2023195976
出願日2023-11-17
発明の名称基板洗浄装置の位置決め方法及び搬送制御方法
出願人AGC株式会社
代理人弁理士法人栄光事務所
主分類B65G 49/06 20060101AFI20250522BHJP(運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い)
要約【課題】搬送部を高精度に位置決めして速度差を制御し、ガラス板を円滑に搬送させて良好に洗浄可能な状態とする基板洗浄装置の位置決め方法及び搬送制御方法を提供する。
【解決手段】ガラス板GをパスラインPLに沿って搬送する複数の搬送ローラ11を備えた基板洗浄装置100における搬送ローラ11の位置決めを行う位置決め方法であって、基準とする搬送ローラ11Aと位置決め対象の搬送ローラ11Bとにわたって位置決め用基板GAを架け渡し、位置決め用基板GAの傾き角θを測定し、傾き角θと、基準となる搬送ローラ11Aと位置決め対象の搬送ローラ11Bとのピッチ寸法Pとから高さの差ΔHを算出し、高さの差ΔHが予め設定した基準値以下となるように、位置決め対象の搬送ローラ11Bの高さを調整する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
ガラス板を搬送経路に沿って搬送する複数の搬送ローラを備えた基板洗浄装置における前記搬送ローラの位置決めを行う位置決め方法であって、
基準とする搬送ローラと位置決め対象の搬送ローラとにわたって位置決め用基板を架け渡し、
前記位置決め用基板の傾き角を測定し、
前記傾き角と、前記基準となる搬送ローラと前記位置決め対象の搬送ローラとのピッチ寸法とから高さの差を算出し、
前記高さの差が予め設定した基準値以下となるように、前記位置決め対象の搬送ローラの高さを調整する、
基板洗浄装置の位置決め方法。
続きを表示（約 490 文字）【請求項２】
ガラス板を搬送経路に沿って搬送する搬送部の少なくとも一側において、前記ガラス板の側縁に接触して前記ガラス板を案内する複数のガイドローラが前記搬送経路の上下流にわたって設けられた基板洗浄装置における前記ガイドローラの位置決め方法であって、
上流端の複数のガイドローラを基準のガイドローラとし、これらのガイドローラに側縁が接するように位置決め用基板を配置させ、
前記位置決め用基板を下流側へ移動させ、下流側のガイドローラを前記位置決め用基板の側縁に接する位置へ順に配置させる、
基板洗浄装置の位置決め方法。
【請求項３】
駆動モータによって回転される複数の搬送ローラによってガラス板を搬送経路に沿って搬送しながら洗浄処理を行う複数の処理ユニットが連設された基板洗浄装置における搬送制御方法であって、
前記処理ユニット毎の前記搬送ローラによる前記ガラス板の搬送速度を算出し、
前記搬送速度の差が予め設定した閾値以下となるように、前記処理ユニットの前記駆動モータを制御する、
基板洗浄装置の搬送制御方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板洗浄装置の位置決め方法及び搬送制御方法に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）やＯＬＥＤ（Organic Light-Emitting Diode）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ:Flat Panel Display）用に使用されるガラス板は、その表面が洗浄装置によって洗浄される。
【０００３】
ガラス板を洗浄する洗浄装置は、例えば、洗剤や純水をガラス板の表面に供給して表面を洗い流すように洗浄するユニットや、ガラス板の表面と接触しながら回転するブラシによってガラス板を洗浄するユニットなどの各種のユニットを備えている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１７－１４０６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、ガラス板に対して各種の処理を行うユニットは、ガラス板を搬送する複数の搬送ローラからなる搬送部を備えている。つまり、洗浄装置は、個別の駆動モータによって駆動される各ユニットの搬送部が連なった構成を有しており、各ユニットの搬送部によってガラス板を一方向の搬送方向へ搬送しながら、ガラス板に対して各ユニットで各種の洗浄処理を行う。
【０００６】
このため、例えば、各ユニット間において、搬送部の搬送ローラに位置や速度のずれが生じていると、搬送されるガラス板が蛇行するなどの搬送トラブルが生じ、ガラス板がダメージを受けてしまうおそれがある。
【０００７】
そこで本発明は、搬送部を高精度に位置決めと速度差を制御し、ガラス板を円滑に搬送させて良好に洗浄可能な状態とする基板洗浄装置の位置決め方法及び搬送制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は下記構成からなる。
（１）ガラス板を搬送経路に沿って搬送する複数の搬送ローラを備えた基板洗浄装置における前記搬送ローラの位置決めを行う位置決め方法であって、
基準とする搬送ローラと位置決め対象の搬送ローラとにわたって位置決め用基板を架け渡し、
前記位置決め用基板の傾き角を測定し、
前記傾き角と、前記基準となる搬送ローラと前記位置決め対象の搬送ローラとのピッチ寸法とから高さの差を算出し、
前記高さの差が予め設定した基準値以下となるように、前記位置決め対象の搬送ローラの高さを調整する、
基板洗浄装置の位置決め方法。
（２）ガラス板を搬送経路に沿って搬送する搬送部の少なくとも一側において、前記ガラス板の側縁に接触して前記ガラス板を案内する複数のガイドローラが前記搬送経路の上下流にわたって設けられた基板洗浄装置における前記ガイドローラの位置決め方法であって、
上流端の複数のガイドローラを基準のガイドローラとし、これらのガイドローラに側縁が接するように位置決め用基板を配置させ、
前記位置決め用基板を下流側へ移動させ、下流側のガイドローラを前記位置決め用基板の側縁に接する位置へ順に配置させる、
基板洗浄装置の位置決め方法。
（３）駆動モータによって回転される複数の搬送ローラによってガラス板を搬送経路に沿って搬送しながら洗浄処理を行う複数の処理ユニットが連設された基板洗浄装置における搬送制御方法であって、
前記処理ユニット毎の前記搬送ローラによる前記ガラス板の搬送速度を算出し、
前記搬送速度の差が予め設定した閾値以下となるように、前記処理ユニットの前記駆動モータを制御する、
基板洗浄装置の搬送制御方法。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、搬送部を高精度に位置決めして速度差を制御し、ガラス板を円滑に搬送させて良好に洗浄可能な状態とする基板洗浄装置の位置決め方法及び搬送制御方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、基板洗浄装置の全体構成を説明する上方から見た概略構成図である。
図２は、基板洗浄装置を構成する処理ユニットの搬送部の概略平面図である。
図３は、基板洗浄装置を構成する処理ユニットの搬送部の概略側面図である。
図４は、図２におけるＩＶ－ＩＶ線断面図である。
図５は、搬送ローラの位置決め手順を説明する搬送部の概略平面図である。
図６は、搬送ローラの位置決め手順を説明する搬送部の概略側面図である。
図７は、ガイドローラの位置決め手順を説明する模式図である。
図８は、ガイドローラの位置決め手順を説明する模式図である。
図９は、ガイドローラの位置決め手順を説明する模式図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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