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公開番号2025079061
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-21
出願番号2023191475
出願日2023-11-09
発明の名称X線検査装置及びX線検査システム
出願人アンリツ株式会社
代理人弁理士法人日誠国際特許事務所
主分類G01N 23/18 20180101AFI20250514BHJP(測定;試験)
要約【課題】被検査物の搬送速度を減速することなく、ノイズが少なく、かつ鮮明な透過画像を得ることができるX線検査装置及びX線検査システムを提供すること。
【解決手段】X線発生器とX線検出器とがワークWの搬送方向と平行な方向に往復移動可能であって、ワークWの搬送速度と等速で撮像開始位置P1から撮像終了位置P2まで搬送方向に移動しつつワークWの撮像を行い、撮像終了後、次のワークWが撮像開始位置P1に到達する前に撮像開始位置P1に戻るよう構成され、ワークWを予め撮像した基準画像の画像情報である基準画像情報が記憶された基準画像情報記憶部と、撮像により得られたX線画像の画像情報が基準画像情報と一致しているか否かを判断する判断部と、撮像により得られたX線画像の画像情報が基準画像情報と一致していないと判断部によって判断された場合に、撮像ユニットの移動速度を調整する制御部と、を備える。
【選択図】図9
特許請求の範囲【請求項１】
順次搬送される被検査物（Ｗ）にＸ線を照射するＸ線発生器（１０）と、
前記被検査物を透過した前記Ｘ線を検出するＸ線検出器（１１）と、を備え、
前記被検査物が通過する搬送路（３）を挟んで対向するように、前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とが配置されたＸ線検査装置であって、
前記Ｘ線発生器は、前記被検査物の撮像時、前記Ｘ線の照射範囲を移動可能に構成されており、
前記Ｘ線検出器は、前記Ｘ線の照射範囲の移動に連動して前記被検査物の搬送方向と平行な方向に往復移動可能に構成されており、
前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とは、前記被検査物が撮像開始位置（Ｐ１）から撮像終了位置（Ｐ２）まで移動する間、前記被検査物に追従する追従移動を行うように前記Ｘ線発生器の前記Ｘ線の照射範囲が移動するとともに前記Ｘ線検出器が前記搬送方向に移動しつつ前記被検査物の撮像を行い、先の被検査物が前記撮像終了位置まで移動した後、次に搬送される被検査物が前記撮像開始位置に到達する前に、前記撮像開始位置に位置する被検査物を撮像可能な位置に戻る復帰移動を行うよう構成されており、
前記Ｘ線検査装置は、
前記被検査物を予め撮像した基準画像の画像情報である基準画像情報が記憶された基準画像情報記憶部（２６）と、
前記撮像により得られたＸ線画像の画像情報が前記基準画像情報と一致しているか否かを判断する判断部（２７）と、
前記撮像により得られたＸ線画像の画像情報が前記基準画像情報と一致していないと前記判断部によって判断された場合に、前記Ｘ線の照射範囲及び前記Ｘ線検出器の移動速度を調整する制御部（２５）と、を備えるＸ線検査装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記判断部は、前記撮像により得られたＸ線画像内の被検査物のコントラストが前記基準画像内の被検査物のコントラストと異なる場合に、前記撮像により得られたＸ線画像の画像情報が前記基準画像情報と一致していない第１のパターンと判断し、
前記制御部は、前記第１のパターンの場合、前記追従移動の移動速度を調整する請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記判断部は、前記撮像により得られたＸ線画像内の被検査物の位置が前記基準画像内の被検査物の位置と異なる場合に、前記撮像により得られたＸ線画像の画像情報が前記基準画像情報と一致していない第２のパターンと判断し、
前記制御部は、前記第２のパターンの場合、前記復帰移動の移動速度を調整する請求項１又は請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記判断部は、前記撮像により得られたＸ線画像内の被検査物の位置が前記基準画像内の被検査物の位置と異なる場合に、前記撮像により得られたＸ線画像の画像情報が前記基準画像情報と一致していない第２のパターンと判断し、
前記制御部は、前記第２のパターンの場合、前記撮像により得られたＸ線画像の画像情報が前記基準画像情報と一致していない旨を外部に報知する請求項１又は請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とは、前記復帰移動中も撮像を行うよう構成されており、
前記判断部は、前記復帰移動中に撮像されたＸ線画像内に被検査物があるか否かを判断し、
前記制御部は、前記復帰移動中に撮像されたＸ線画像内に被検査物があると前記判断部によって判断された場合に、被検査物の搬送に異常があることを外部に報知する請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とは、前記搬送方向と平行な方向に一体で往復移動可能なようにユニット化されていることを特徴とする請求項１、請求項２又は請求項５に記載のＸ線検査装置。
【請求項７】
前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とは、前記搬送方向と平行な方向に一体で往復移動可能なようにユニット化されていることを特徴とする請求項３に記載のＸ線検査装置。
【請求項８】
前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とは、前記搬送方向と平行な方向に一体で往復移動可能なようにユニット化されていることを特徴とする請求項４に記載のＸ線検査装置。
【請求項９】
請求項１に記載のＸ線検査装置（１）と、
前記Ｘ線検査装置に被検査物を搬送する搬送装置（５）と、
前記搬送装置に前記被検査物を投入する投入装置（４）と、を含むＸ線検査システムであって、
前記判断部は、前記撮像により得られたＸ線画像内の被検査物の位置が前記基準画像内の被検査物の位置と異なる場合に、前記撮像により得られたＸ線画像の画像情報が前記基準画像情報と一致していない第２のパターンと判断し、
前記制御部は、前記第２のパターンの場合、前記搬送装置への前記被検査物の投入タイミングを調整するよう前記投入装置に信号を出力するＸ線検査システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置及びＸ線検査システムに関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、搬送路の途中の検査空間の上方に所定高さ離隔して配置され、順次搬送される被検査物に対して当該検査空間においてＸ線を照射するＸ線発生器と、搬送部内にＸ線発生器と対向して配置され、被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線ラインセンサと、を備えたＸ線異物検査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第７０６０４４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のＸ線異物検査装置において、被検査物に対する露光時間が短いと、得られる透過画像がノイズの多い画像となってしまう。また、例えば比較的厚さのある被検査物を検査する場合、露光時間が短いと、得られる透過画像が不鮮明な画像となってしまう。このため、被検査物に対する露光時間が短いと、検査精度を向上させることができない。
【０００５】
これに対し、露光時間を長くすると、ノイズが少なく、かつ鮮明な透過画像を得ることができるが、露光時間を長くする分、被検査物の搬送速度を遅くしたり、場合によっては一時停止させたりする必要があり、効率的な検査を行うことができない。
【０００６】
本発明は、上述のような事情に鑑みてなされたもので、被検査物の搬送速度を減速することなく、ノイズが少なく、かつ鮮明な透過画像を得ることができるＸ線検査装置及びＸ線検査システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るＸ線検査装置は、順次搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線発生器と、前記被検査物を透過した前記Ｘ線を検出するＸ線検出器と、を備え、前記被検査物が通過する搬送路を挟んで対向するように、前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とが配置されたＸ線検査装置であって、前記Ｘ線発生器は、前記被検査物の撮像時、前記Ｘ線の照射範囲を移動可能に構成されており、前記Ｘ線検出器は、前記Ｘ線の照射範囲の移動に連動して前記被検査物の搬送方向と平行な方向に往復移動可能に構成されており、前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とは、前記被検査物が撮像開始位置から撮像終了位置まで移動する間、前記被検査物に追従する追従移動を行うように前記Ｘ線発生器の前記Ｘ線の照射範囲が移動するとともに前記Ｘ線検出器が前記搬送方向に移動しつつ前記被検査物の撮像を行い、先の被検査物が前記撮像終了位置まで移動した後、次に搬送される被検査物が前記撮像開始位置に到達する前に、前記撮像開始位置に位置する被検査物を撮像可能な位置に戻る復帰移動を行うよう構成されており、前記Ｘ線検査装置は、前記被検査物を予め撮像した基準画像の画像情報である基準画像情報が記憶された基準画像情報記憶部と、前記撮像により得られたＸ線画像の画像情報が前記基準画像情報と一致しているか否かを判断する判断部と、前記撮像により得られたＸ線画像の画像情報が前記基準画像情報と一致していないと前記判断部によって判断された場合に、前記Ｘ線の照射範囲及び前記Ｘ線検出器の移動速度を調整する制御部と、を備える。
【０００８】
この構成により、本発明に係るＸ線検査装置は、撮像開始位置から撮像終了位置まで被検査物に追従する追従移動を行うようにＸ線発生器のＸ線の照射範囲が移動するとともにＸ線検出器が搬送方向に移動しつつ被検査物の撮像を行うので、Ｘ線発生器とＸ線検出器とを固定して撮像する構成と比較して、被検査物の搬送速度を減速することなく露光時間を長くすることができる。
【０００９】
また、撮像により得られたＸ線画像の画像情報が基準画像情報と一致していないと判断部によって判断された場合に、Ｘ線の照射範囲及びＸ線検出器の移動速度を調整する制御部を備えるので、被検査物の移動とＸ線の照射範囲及びＸ線検出器の追従移動との間にずれが生じることによって、例えばＸ線画像内の被検査物が不鮮明となったり、Ｘ線画像内の被検査物の位置が基準画像内のワーク画像の位置からずれたりしてＸ線画像の質が低下した場合であっても、Ｘ線の照射範囲及びＸ線検出器の移動速度を調整することによりＸ線画像の質を改善することができる。
【００１０】
このため、本発明に係るＸ線検査装置は、被検査物の搬送速度を減速することなく、ノイズが少なく、かつ鮮明な透過画像を得ることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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