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公開番号2025010961
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-23
出願番号2023113286
出願日2023-07-10
発明の名称CT装置の測定誤差評価用器具
出願人株式会社島津製作所
代理人個人
主分類G01B 15/04 20060101AFI20250116BHJP(測定;試験)
要約【課題】カバーが取り外された状態と、カバーが取り付けられた状態との間において、評価用部材の空間的位置が変化するのを抑制することが可能なCT装置の測定誤差評価用器具を提供する。
【解決手段】この3次元形状測定用のCT装置100の測定誤差評価用器具10は、被写体載置部106に配置されて使用され、基台20と、基台20上に設けられた評価用部材23と、評価用部材23を覆うように配置されるカバー24と、カバー24と基台20とが相互に着脱可能であるとともに、基台20とカバー24とを連結する連結部30と、を備え、連結部30は、基台20に対して相対位置が変化するように係合され、基台20が被写体載置部106に配置された状態において、カバー24は、基台20に支持されず、連結部30とともに被写体載置部106に支持される。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項1】
X線源とX線検出器との間に設けられた被写体を載置する被写体載置部に配置されて使用される、3次元形状測定用のCT装置の測定誤差評価用器具であって、
基台と、
前記基台上に設けられた評価用部材と、
前記評価用部材を覆うように配置されるカバーと、
前記カバーと前記基台とが相互に着脱可能であるとともに、前記基台と前記カバーとを連結する連結部と、を備え、
前記連結部は、前記基台に対して相対位置が変化するように係合され、
前記基台が前記被写体載置部に配置された状態において、前記カバーは、前記基台に支持されず、前記連結部とともに前記被写体載置部に支持される、CT装置の測定誤差評価用器具。
続きを表示(約 1,400 文字)【請求項2】
X線源とX線検出器との間に設けられた被写体を載置する被写体載置部に配置されて使用される、3次元形状測定用のCT装置の測定誤差評価用器具であって、
基台と、
前記基台の裏面に設けられ、前記基台を支持する基台支持脚部と、
前記基台上に設けられた評価用部材と、
前記評価用部材を覆うように配置されるカバーと、
前記カバーと前記基台とが相互に着脱可能であるとともに、前記基台と前記カバーとを連結する連結部と、を備え、
前記連結部は、前記基台の表面における前記基台支持脚部に対応する対応位置または前記対応位置の近傍において前記基台に接触する基台接触部を含み、
前記基台が前記被写体載置部に配置された状態において、前記カバーは、前記連結部の前記基台接触部を介して前記基台に支持される、CT装置の測定誤差評価用器具。
【請求項3】
前記連結部は、鉛直方向および水平方向の両方において前記基台に対する前記カバーの相対位置が変化するように遊びを有した状態で前記基台に連結されている、請求項1または2に記載のCT装置の測定誤差評価用器具。
【請求項4】
前記連結部は、前記基台が前記被写体載置部から持ち上げられた状態において前記基台の裏面を支持する裏面支持部を含む、請求項1または2に記載のCT装置の測定誤差評価用器具。
【請求項5】
前記連結部は、前記基台が前記被写体載置部から持ち上げられた状態において前記基台の裏面を支持する裏面支持部を含み、
前記基台が前記被写体載置部に配置された状態において、前記裏面支持部は前記基台の裏面から離間するとともに、前記連結部は前記被写体載置部と接触する、請求項1に記載のCT装置の測定誤差評価用器具。
【請求項6】
前記基台は、厚み方向に貫通する貫通孔を含み、
前記連結部は、前記基台の前記貫通孔に挿通されるとともに、前記貫通孔の孔径よりも直径が小さく、かつ、前記貫通孔の深さよりも長い棒状部材を含む、請求項1に記載のCT装置の測定誤差評価用器具。
【請求項7】
前記基台支持脚部は前記基台の裏面に3つ設けられ、
前記連結部は、前記基台の外周の外側に配置される円環状の環状部材と、前記基台接触部を有するとともに前記基台と前記環状部材とを接続する3つの接続部材とをさらに含む、請求項2に記載のCT装置の測定誤差評価用器具。
【請求項8】
前記基台支持脚部は前記基台の裏面に3つ設けられ、
前記連結部は、3つの前記連結部により構成され、
前記カバーは、3つの前記連結部の各々の前記基台接触部を介して前記基台に支持されている、請求項2に記載のCT装置の測定誤差評価用器具。
【請求項9】
前記カバーは、前記基台と反対側に設けられた天面を含み、
前記基台支持脚部は前記基台の裏面に3つ設けられ、
前記連結部は、一方端に前記基台接触部が設けられているとともに他方端において前記天面と係合する棒状の3つの前記連結部により構成され、
前記カバーは、3つの前記連結部の各々の前記基台接触部を介して前記基台に支持されている、請求項2に記載のCT装置の測定誤差評価用器具。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、CT装置の測定誤差評価用器具に関する。
続きを表示(約 2,800 文字)【背景技術】
【0002】
従来、基台と、評価用部材と、評価用部材を覆うように配置されるカバーと、を備えるCT装置の測定誤差評価用器具が知られている(たとえば特許文献1)。
【0003】
上記特許文献1には、被検査物(被写体)の内部構造の観察装置としてのX線CT装置と、測定誤差評価用器物(測定誤差評価用器具)とが開示されている。X線CT装置は、X線照射部(X線源)とX線検出器との間に配置された回転ステージ(被写体載置部)上に被検査物(被写体)を載置して、内部観察や3次元形状測定を行うものである。測定誤差評価用器物は、X線CT装置により得られる3次元データの精度を評価するために用いられるものである。測定誤差評価用器物は、基台に複数の支持棒が垂直上方に延びるように設けられ、支持棒の各々の先端に球体(評価用部材)が取り付けられている。たとえば、測定誤差評価用器物を用いてX線CTによる長さ測定誤差を評価する際には、CMM(Coordinate Measuring Machine:接触式三次元座標測定器)などを使用して、予め球体の座標測定が行われる。そして、測定誤差評価用器物を回転ステージ上に載置して、X線CT撮影を行い、3次元データを取得する。そして、座標測定結果から求めた球間距離の値と、X線CT撮影による3次元データにおける球間距離の値との差から、X線CTによる長さ測定誤差を評価している。X線CTによる長さ測定誤差の評価は、たとえば、ドイツの国内ガイドラインVDI/VDE2630-1.3に従って行われる。
【0004】
また、上記特許文献1には、測定誤差評価用器物に対するCMMによる座標測定を行った後の球体の空間的位置に位置ずれが生じないように、測定誤差評価用器物は、保管時および使用時において、円筒状のカバーによって覆われることが開示されている。上記特許文献1には、カバーの固定方法は明記されていないが、カバーは基台上に載置されていることが図示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
特許第6901733号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、上記特許文献1の測定誤差評価用器物(測定誤差評価用器具)では、基台上に載置されたカバーの荷重に起因して、基台が歪む可能性があると考えられる。カバーの荷重に起因して基台が歪む場合、CMMなどによる球体の座標測定時における、カバーが取り外された測定誤差評価用器物の球体(評価用部材)の空間的位置と、CT装置によるX線CT撮影時における、カバーが取り付けられた測定誤差評価用器物の球体(評価用部材)の空間的位置とが変化する場合がある。そのため、CMMなどによる球体の座標測定による球間距離の値と、X線CT撮影による3次元データにおける球間距離の値との差に基づいて、X線CTによる長さ測定誤差の評価を精度良く行うことが困難な場合がある。そこで、カバーが取り外された状態と、カバーが取り付けられた状態との間において、評価用部材の空間的位置(3次元的な位置)が変化するのを抑制することが可能なCT装置の測定誤差評価用器具が望まれている。
【0007】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、カバーが取り外された状態と、カバーが取り付けられた状態との間において、評価用部材の空間的位置が変化するのを抑制することが可能なCT装置の測定誤差評価用器具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
この発明の第1の局面におけるCT装置の測定誤差評価用器具は、X線源とX線検出器との間に設けられた被写体を載置する被写体載置部に配置されて使用される、3次元形状測定用のCT装置の測定誤差評価用器具であって、基台と、基台上に設けられた評価用部材と、評価用部材を覆うように配置されるカバーと、カバーと基台とが相互に着脱可能であるとともに、基台とカバーとを連結する連結部と、を備え、連結部は、基台に対して相対位置が変化するように係合され、基台が被写体載置部に配置された状態において、カバーは、基台に支持されず、連結部とともに被写体載置部に支持される。
【0009】
この発明の第2の局面におけるCT装置の測定誤差評価用器具は、X線源とX線検出器との間に設けられた被写体を載置する被写体載置部に配置されて使用される、3次元形状測定用のCT装置の測定誤差評価用器具であって、基台と、基台の裏面に設けられ、基台を支持する基台支持脚部と、基台上に設けられた評価用部材と、評価用部材を覆うように配置されるカバーと、カバーと基台とが相互に着脱可能であるとともに、基台とカバーとを連結する連結部と、を備え、連結部は、基台の表面における基台支持脚部に対応する対応位置または対応位置の近傍において基台に接触する基台接触部を含み、基台が被写体載置部に配置された状態において、カバーは、連結部の基台接触部を介して基台に支持される。
【発明の効果】
【0010】
上記第1の局面におけるCT装置の測定誤差評価用器具では、上記のように、評価用部材を覆うように配置されるカバーと、カバーと基台とが相互に着脱可能であるとともに、基台とカバーとを連結する連結部と、を備え、連結部は、基台に対して相対位置が変化するように係合され、基台が被写体載置部に配置された状態において、カバーは、基台に支持されず、連結部とともに被写体載置部に支持される。これにより、基台が被写体載置部に配置された状態において、連結部の基台に対する相対位置が変化することにより、カバーを、基台に支持させずに被写体載置部に支持させることができる。そのため、カバーが配置された測定誤差評価用器具がCT装置によりX線CT撮影される場合に、基台が被写体載置部に配置された状態において、カバーの荷重は、基台にかからずに被写体載置部にかかることになる。また、測定誤差評価用器具がCMMにより評価用部材の座標測定が行われる場合には、カバーは測定誤差評価用器具から取り外されているため、カバーの荷重は当然に基台にかからない。よって、カバーが取り外された状態と、カバーが取り付けられた状態との間において、カバーの荷重に起因する基台の状態(歪み)が変化するのを抑制することができる。その結果、カバーが取り外された状態と、カバーが取り付けられた状態との間において、評価用部材の空間的位置(3次元的な位置)が変化するのを抑制することができる。
(【0011】以降は省略されています)

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