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公開番号2025005008
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-16
出願番号2023104982
出願日2023-06-27
発明の名称サンプリングボックス
出願人住友化学株式会社
代理人弁理士法人ブナ国際特許事務所
主分類B25J 21/02 20060101AFI20250108BHJP(手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ)
要約【課題】出荷環境に近い状態で、検品用の製品をサンプリング容器に採取することができるサンプリングボックスを提供する。
【解決手段】本発明に係るサンプリングボックスは、サンプリング容器を洗浄する第1室と、サンプリング容器に試料を採取する第2室と、外気側から第1室内に向かって位置する第1グローブと、外気側から第2室内に向かって位置する第2グローブと、第1室の外面に位置する第1扉と、第2室の外面のうち、第1グローブを用いて開閉可能な場所に位置する第2扉とを含み、第1室および第2室が陽圧室である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
サンプリング容器を洗浄する第１室と、
前記サンプリング容器に試料を採取する第２室と、
外気側から前記第１室内に向かって位置する第１グローブと、
前記外気側から前記第２室内に向かって位置する第２グローブと、
前記第１室の外面に位置する第１扉と、
前記第２室の外面のうち、前記第１グローブを用いて開閉可能な場所に位置する第２扉と、
を含み、
前記第１室および前記第２室が陽圧室である、
サンプリングボックス。
続きを表示（約 480 文字）【請求項２】
前記第２室の外面は、前記試料が流れるノズルの先端開口を通す開口部を、さらに有する、請求項１に記載のサンプリングボックス。
【請求項３】
前記第２室の床面の下部に第２廃液室が、さらに位置し、
前記第２室の床面は、前記第２廃液室まで貫通する複数の貫通孔を有する、
請求項１または２に記載のサンプリングボックス。
【請求項４】
前記第１室の床面の下部に第１廃液室が、さらに位置し、
前記第１室の床面は、前記第１廃液室まで貫通する複数の貫通孔を有する、
請求項１または２に記載のサンプリングボックス。
【請求項５】
前記第２室は、前記第１室の内部に位置する、請求項１または２に記載のサンプリングボックス。
【請求項６】
前記第１室の外面に第１ＨＥＰＡフィルターが、さらに位置している、請求項５に記載のサンプリングボックス。
【請求項７】
前記第２室の外面に第２ＨＥＰＡフィルターが、さらに位置している、請求項５に記載のサンプリングボックス。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、サンプリングボックスに関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、半導体工場などで使用されるシリコンウエハーなどの洗浄液として、高純度の硫酸が使用されている。このような高純度の硫酸は、例えば、特許文献１に記載のような方法で製造される。製造後、サンプリングを行い、製造された硫酸の検品が行われる。
【０００３】
サンプリングは、製品を検品するために行われる。そのため、サンプリング容器に不純物などが付着していると、サンプリング容器に採取した製品の検品を高精度で行うことができない。例えば、外気と接触しているサンプリング容器は、外気によって汚染される可能性がある。そのため、サンプリング容器に採取した製品は、実際に製造された製品よりも多くの不純物などが検出される場合があり、不純物が、サンプリング容器の汚染に起因するものなのか、あるいは実際の製品に含まれるものなのか区別することができない。その結果、サンプリング容器の汚染に起因する不純物であったとしても、最悪の場合、製品が廃棄処分されることもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特公平４－２１６０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の課題は、出荷環境に近い状態で、検品用の製品をサンプリング容器に採取することができるサンプリングボックスを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、上記課題を解決するべく鋭意検討を行った結果、以下の構成からなる解決手段を見出し、本発明を完成するに至った。
（１）サンプリング容器を洗浄する第１室と、サンプリング容器に試料を採取する第２室と、外気側から第１室内に向かって位置する第１グローブと、外気側から第２室内に向かって位置する第２グローブと、第１室の外面に位置する第１扉と、第２室の外面のうち、第１グローブを用いて開閉可能な場所に位置する第２扉とを含み、第１室および第２室が陽圧室であるサンプリングボックス。
（２）第２室の外面は、試料が流れるノズルの先端開口を通す開口部を、さらに有する、上記（１）に記載のサンプリングボックス。
（３）第２室の床面の下部に第２廃液室が、さらに位置し、第２室の床面は、第２廃液室まで貫通する複数の貫通孔を有する、上記（１）または（２）に記載のサンプリングボックス。
（４）第１室の床面の下部に第１廃液室が、さらに位置し、第１室の床面は、第１廃液室まで貫通する複数の貫通孔を有する、上記（１）～（３）のいずれかに記載のサンプリングボックス。
（５）第２室は、第１室の内部に位置する、上記（１）～（４）のいずれかに記載のサンプリングボックス。
（６）第１室の外面に第１ＨＥＰＡフィルターが、さらに位置している、上記（１）～（５）のいずれかに記載のサンプリングボックス。
（７）第２室の外面に第２ＨＥＰＡフィルターが、さらに位置している、上記（１）～（６）のいずれかに記載のサンプリングボックス。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係るサンプリングボックスは、上記のような構成を有することによって、出荷環境に近い状態で、検品用の製品をサンプリング容器に採取することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の一実施形態に係るサンプリングボックスの一部を示す説明図である。
図１に示す矢印Ａ方向から見たサンプリングボックスの外観を示す説明図である。
図１に示す面（正面）と反対の面（背面）から見たサンプリングボックスの外観を示す説明図である。
図１に示す矢印Ａ方向から見たサンプリングボックスの内部を示す説明図である。
本発明の他の実施形態に係るサンプリングボックスの一部を示す説明図である。
図５に示す矢印Ｂ方向から見たサンプリングボックスの内部を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の一実施形態に係るサンプリングボックスを、図１～４に基づいて説明する。図１は、本発明の一実施形態に係るサンプリングボックス１０の一部を示す説明図である。
【００１０】
図１に示す一実施形態に係るサンプリングボックス１０は、第１室１および第２室２の２つの室で構成されている。具体的には、第１室１の内部に第２室２が位置している。
（【００１１】以降は省略されています）

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