特許ウォッチ

公開番号2024154744
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-31
出願番号2023068756
出願日2023-04-19
発明の名称監視装置、監視方法、及び監視プログラム
出願人アズビル株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G01N 21/27 20060101AFI20241024BHJP(測定;試験)
要約【課題】測定対象中の気泡の状態について容易に監視すること。
【解決手段】監視装置100は、取得部121と演算部122とを備える。取得部121は、測定対象を透過した光の測定により得られた所定時間ごとのスペクトルを取得する。演算部122は、取得部121により取得された複数のスペクトルのそれぞれにおける所定の波長の光強度に基づき、複数の光強度の標準偏差である気泡発生度を演算する。
【選択図】図4

特許請求の範囲【請求項１】
測定対象を透過した光の測定により得られた所定時間ごとのスペクトルを取得する取得部と、
前記取得部により取得された複数のスペクトルのそれぞれにおける所定の波長の光強度に基づき、複数の光強度の標準偏差である気泡発生度を演算する演算部と
を備えることを特徴とする監視装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記演算部は、前記所定の波長として、所定条件下での光強度が最も強い波長の光強度に基づき、前記気泡発生度を演算する
ことを特徴とする請求項１に記載の監視装置。
【請求項３】
前記演算部は、前記気泡発生度を演算する度に気泡発生度の移動平均をさらに演算し、
正常状態における複数の前記気泡発生度に応じて設定された、前記気泡発生度の上限値および下限値を記憶する記憶部と、
前記演算部によって演算された前記移動平均が、前記記憶部によって記憶された前記上限値または前記下限値を超える場合に異常状態であると判定する判定部とをさらに備える
ことを特徴とする請求項１に記載の監視装置。
【請求項４】
前記記憶部は、前記上限値として、前記正常状態における複数の前記気泡発生度における最大値を記憶し、前記下限値として、前記正常状態における複数の前記気泡発生度における最小値を記憶する
ことを特徴とする請求項３に記載の監視装置。
【請求項５】
前記記憶部は、前記上限値および前記下限値として、前記正常状態における複数の前記気泡発生度における平均値と標準偏差とから算出される値を記憶する
ことを特徴とする請求項３に記載の監視装置。
【請求項６】
前記判定部によって異常状態と判定された場合に、異常状態である旨を外部に通知する通知部をさらに備える
ことを特徴とする請求項３に記載の監視装置。
【請求項７】
監視装置で実行される監視方法であって、
測定対象を透過した光の測定により得られた所定時間ごとのスペクトルを取得する取得工程と、
前記取得工程により取得された複数のスペクトルのそれぞれにおける所定の波長の光強度に基づき、複数の光強度の標準偏差である気泡発生度を演算する演算工程と
を含むことを特徴とする監視方法。
【請求項８】
測定対象を透過した光の測定により得られた所定時間ごとのスペクトルを取得する取得手順と、
前記取得手順により取得された複数のスペクトルのそれぞれにおける所定の波長の光強度に基づき、複数の光強度の標準偏差である気泡発生度を演算する演算手順と
をコンピュータに実行させることを特徴とする監視プログラム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、監視装置、監視方法、及び監視プログラムに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、光を用いて半導体のエッチング液や洗浄液といった水溶液の濃度を測定する技術が知られている。このような技術の一例として、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）から出射された光を水溶液に照射し、水溶液を介して受光した光の強度から水溶液の濃度を測定する技術が知られている。また、ＬＥＤから照射された光を光学系により測定セルに導き、測定セルを通過した光を光ファイバにより分光器に導いて光を検出する技術が知られている。
【０００３】
そして、前述の従来技術において、測定対象の水溶液の中に気泡が含まれている場合がある。また、気泡が含まれている水溶液の測定を行う場合には、気泡によって光の過剰透過や散乱が生じることにより、検出されるスペクトルが測定対象とは異なるスペクトルとなり、算出される濃度値に誤差が生じる場合があることが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平１１－３７９３６号公報
特開２０１５－１３７９８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来の技術では、測定対象中の気泡の状態について容易に監視することができないという課題がある。例えば、測定対象の種類によっては、化学反応により定常的に測定対象中に気泡が発生する場合があり、また、測定対象の温度や濃度の違いにより、測定対象中の気泡の発生状態は変化する場合があるため、測定対象中の気泡の状態について容易に監視することができない。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の監視装置は、測定対象を透過した光の測定により得られた所定時間ごとのスペクトルを取得する取得部と、取得部により取得された複数のスペクトルのそれぞれにおける所定の波長の光強度に基づき、複数の光強度の標準偏差である気泡発生度を演算する演算部とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、測定対象中の気泡の状態について容易に監視することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、実施形態に係る気泡監視システムの概要を示す図である。
図２は、実施形態に係る気泡発生度と気泡の大きさとの関連を示す図である。
図３は、実施形態に係る気泡発生度と測定対象の温度との関連を示す図である。
図４は、実施形態に係る監視装置の構成例を示す図である。
図５は、実施形態に係る監視装置の記憶部に記憶されるデータの具体例を示す図である。
図６は、実施形態に係る監視装置の処理の流れの一例を示す図である。
図７は、実施形態に係る演算処理により演算された気泡発生度の具体例を示す図である。
図８は、実施形態に係る正常状態の光強度と異常状態の光強度とを示す図である。
図９は、実施形態に係る異常判定処理の具体例を示す図である。
図１０は、実施形態に係る処理手順の一例を示すフローチャートである。
図１１は、ハードウェア構成の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、本願に係る監視装置、監視方法及び監視プログラムの実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態により本願に係る監視装置、監視方法及び監視プログラムが限定されるものではない。
【００１０】
〔１．気泡監視システムの概要〕
図１は、本実施形態に係る気泡監視装置を含む気泡監視システムの概要を示す図である。図１の例では、本実施形態に係る監視装置１００を含む気泡監視システムの構成例を示しており、監視装置１００は、分光装置２５０によって分光されたそれぞれの波長のスペクトルを所定時間ごとに取得し、後述する気泡発生度を演算して、上位機器３００に通知する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許