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公開番号2024138915
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-09
出願番号2023049637
出願日2023-03-27
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20241002BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】誘電体基板に内蔵された導体層への給電を安定して行うことのできる静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100に内蔵された吸着電極130と、誘電体基板100の面120に設けられた電極端子50と、吸着電極130と電極端子50との間を電気的に接続するビア部40と、を備える。ビア部40の単位体積あたりにおけるアルミナの含有量は、吸着電極130のうちビア部40が接続されている部分とその近傍とを除く部分、の単位体積あたりにおけるアルミナの含有量よりも多い。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板に内蔵された導体層と、
前記誘電体基板のうち前記載置面とは反対側となる位置に設けられた電極部と、
前記導体層と前記電極部との間を電気的に接続するビア部と、を備え、
前記誘電体基板は所定材料を含み、
前記ビア部の単位体積あたりにおける前記所定材料の含有量は、
前記導体層のうち前記ビア部が接続されている部分とその近傍とを除く部分、の単位体積あたりにおける前記所定材料の含有量よりも多いことを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 480 文字）【請求項２】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板に内蔵された導体層と、
前記誘電体基板のうち前記載置面とは反対側となる位置に設けられた電極部と、
前記導体層と前記電極部との間を電気的に接続するビア部と、を備え、
前記誘電体基板は所定材料を含み、
前記導体層のうち前記ビア部が接続されている部分とその近傍とを含む部分のことを第１部分とし、
前記導体層のうち前記第１部分の周囲にある部分のことを第２部分としたときに、
前記第１部分の単位体積あたりにおける前記所定材料の含有量は、
前記第２部分の単位体積あたりにおける前記所定材料の含有量よりも多いことを特徴とする静電チャック。
【請求項３】
前記第１部分における前記導体層の厚さは、前記ビア部に近づくに従って厚くなっていることを特徴とする、請求項２に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記所定材料はアルミナであることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばＣＶＤ装置やエッチング装置のような半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板と、誘電体基板を支持するベースプレートと、を備え、これらが互いに接合された構成を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【０００３】
誘電体基板の内部には導体層が埋め込まれる。導体層は、例えば上記の吸着電極であるが、電気ヒーターやＲＦ電極等であってもよい。誘電体基板のうち載置面とは反対側となる位置には、導体層への給電を行うための電極部（例えば電極端子）が設けられる。下記特許文献１に示されるように、導体層と電極部との間は、誘電体基板の内部に設けられた電路によって電気的に接続される。
【０００４】
上記電路としては、誘電体基板１００において載置面とは垂直な方向に伸びるように形成された穴（ビア）の内側に、例えばタングステンのような導電性の材料を充填した構成のものが採用されることが多い。このような構成の電路のことを、以下では「ビア部」とも称する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第７１８４０３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
導体層やビア部を構成する材料の熱膨張係数と、誘電体基板を構成する材料の熱膨張係数とは、互いに異なる。このため、誘電体基板の焼成時や、静電チャックの使用時等においては、両者の熱膨張係数の差に起因して、導体層から電極部までの電路の途中において断線等の不具合が生じ、導体層への給電が適切に行われなくなってしまう可能性がある。
【０００７】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、誘電体基板に内蔵された導体層への給電を安定して行うことのできる静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、誘電体基板に内蔵された導体層と、誘電体基板のうち載置面とは反対側となる位置に設けられた電極部と、導体層と電極部との間を電気的に接続するビア部と、を備える。誘電体基板は所定材料を含む。ビア部の単位体積あたりにおける所定材料の含有量は、導体層のうちビア部が接続されている部分とその近傍とを除く部分、の単位体積あたりにおける所定材料の含有量よりも多い。
【０００９】
このような構成の静電チャックでは、ビア部が、誘電体基板と共通の「所定材料」を含んでいる。所定材料は導体層にも含まれていてもよいが、いずれにしても、ビア部では、導体層に比べてより多くの所定材料を含んでいる。熱膨張に伴う断線等が最も生じやすい部分であるビア部の熱膨張係数が、その周囲にある誘電体基板の熱膨張係数に近い値となるため、断線等の発生を抑制することができる。尚、所定材料を導体層に過剰に含ませる必要が無いので、導体層の性能が低下してしまうことは無い。
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、誘電体基板に内蔵された導体層と、誘電体基板のうち載置面とは反対側となる位置に設けられた電極部と、導体層と電極部との間を電気的に接続するビア部と、を備える。誘電体基板は所定材料を含む。導体層のうちビア部が接続されている部分とその近傍とを含む部分のことを第１部分とし、導体層のうち第１部分の周囲にある部分のことを第２部分としたときに、第１部分の単位体積あたりにおける所定材料の含有量は、第２部分の単位体積あたりにおける所定材料の含有量よりも多い。
（【００１１】以降は省略されています）

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