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公開番号2024129940
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-30
出願番号2023039353
出願日2023-03-14
発明の名称X線検査装置及びX線検査装置の感度補正方法
出願人株式会社イシダ
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01N 23/083 20180101AFI20240920BHJP(測定;試験)
要約【課題】直接変換型検出部を利用した場合であっても、適切な感度補正を実施可能なX線検査装置及びX線検査装置の感度補正方法を提供する。
【解決手段】X線検査装置は、物品を搬送する搬送部と、搬送部に搬送される物品にX線を照射するX線源と、X線をフォトンカウンティング方式で検出可能な直接変換型検出部であるX線検出部と、X線検出部の出力結果に基づき、物品の検査を実施する検査部と、を備え、X線検査装置の起動時に実施されるX線検出部の感度補正において、X線検出部は、X線の検出開始から所定期間経過後に、感度補正の基準となると共に物品を透過していないX線を検出し、X線源は、所定期間中にX線照射を開始し、所定期間は、X線源の照射が安定化する期間と同じかそれより長い。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
物品を搬送する搬送部と、
前記搬送部に搬送される前記物品にＸ線を照射するＸ線源と、
前記Ｘ線をフォトンカウンティング方式で検出可能な直接変換型検出部であるＸ線検出部と、
前記Ｘ線検出部の出力結果に基づき、前記物品の検査を実施する検査部と、
を備えるＸ線検査装置であって、
前記Ｘ線検査装置の起動時に実施される前記Ｘ線検出部の感度補正において、
前記Ｘ線検出部は、Ｘ線の検出開始から所定期間経過後に、前記感度補正の基準となると共に前記物品を透過していないＸ線を検出し、
前記Ｘ線源は、前記所定期間中にＸ線照射を開始し、
前記所定期間は、前記Ｘ線源の照射が安定化する期間と同じかそれより長い、
Ｘ線検査装置。
続きを表示（約 580 文字）【請求項２】
前記Ｘ線検出部は、前記所定期間経過後の前記物品を透過していない前記Ｘ線に基づいてブライトレベルを取得する、請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記感度補正において、前記Ｘ線検出部によるＸ線の検出開始と同時に前記Ｘ線源による前記Ｘ線照射が開始される、請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記所定期間は、１０秒以上である、請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
物品を搬送する搬送部と、
前記搬送部に搬送される前記物品にＸ線を照射するＸ線源と、
前記Ｘ線をフォトンカウンティング方式で検出可能な直接変換型検出部であるＸ線検出部と、
前記Ｘ線検出部の出力結果に基づき、前記物品の検査を実施する検査部と、
を備えるＸ線検査装置の感度補正方法であって、
前記Ｘ線検査装置の起動時に、前記Ｘ線検出部によるＸ線の検出を開始するステップと、
Ｘ線の検出開始から所定期間経過後、前記Ｘ線検出部の基準となると共に前記物品を透過していないＸ線を検出するステップと、
を備え、
前記所定期間中に、前記Ｘ線源によるＸ線照射を開始すると共に、当該Ｘ線照射を安定化させる、
Ｘ線検査装置の感度補正方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の一側面は、Ｘ線検査装置及びＸ線検査装置の感度補正方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来のＸ線検査装置として、例えば、下記特許文献１に記載された装置が知られている。下記特許文献１に記載のＸ線検査装置は、検出器の素子上にＸ線が検査物なしに照射されているか否かを判断する手段を備え、コンベアの移動中に再補正データ取得スパンの期間に、Ｘ線ＯＦＦ時にオフセットデータと、Ｘ線ＯＮ時のデータから感度補正係数を演算する。また、当該Ｘ線検査装置は、Ｘ線ＯＮ時に再補正データ取得スパンの期間に生データを取得して、オンラインで随時、素子間感度補正テーブルを自動的に更新する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００１－４５６０号公報
特開２０２２－４９９２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、Ｘ線源の出力は、特に起動直後において、発熱によって安定しない傾向がある。また、Ｘ線検査装置には、Ｘ線をフォトンカウンティング方式で検出可能な直接変換型センサが用いられるときがある。このような直接変換型センサは、自身でＸ線の計数処理を実施するが、当該計数処理に伴って直接変換型センサが発熱する。このため、Ｘ線検査装置の起動直後に上記特許文献１に記載されるような感度補正処理を実施した場合、センサの出力が安定しない問題があった。
【０００５】
本発明の一側面の目的は、直接変換型検出部を利用した場合であっても、適切な感度補正を実施可能なＸ線検査装置及びＸ線検査装置の感度補正方法の提供である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明の一側面に係るＸ線検査装置は、物品を搬送する搬送部と、搬送部に搬送される物品にＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線をフォトンカウンティング方式で検出可能な直接変換型検出部であるＸ線検出部と、Ｘ線検出部の出力結果に基づき、物品の検査を実施する検査部と、を備え、Ｘ線検査装置の起動時に実施されるＸ線検出部の感度補正において、Ｘ線検出部は、Ｘ線の検出開始から所定期間経過後に、感度補正の基準となると共に物品を透過していないＸ線を検出し、Ｘ線源は、所定期間中にＸ線照射を開始し、所定期間は、Ｘ線源の照射が安定化する期間と同じかそれより長い。
【０００７】
このＸ線検査装置では、Ｘ線検査装置の起動時に実施されるＸ線検出部の感度補正において、Ｘ線検出部は、Ｘ線の検出開始から所定期間経過後に、感度補正の基準となると共に物品を透過していないＸ線を検出する。これにより、Ｘ線検査装置の起動直後に感度補正を実施する場合と比較して、Ｘ線検出部の出力が安定化し、ノイズが生じにくくなる。また、Ｘ線源は、所定期間中にＸ線照射を開始し、所定期間は、Ｘ線源の照射が安定化する期間と同じかそれより長い。これにより、Ｘ線検出部の出力が安定化するまでにＸ線源のＸ線照射も安定化するので、Ｘ線検出部の出力がより安定化する。したがって、直接変換型検出部であるＸ線検出部を備える上記Ｘ線検査装置であっても、適切な感度補正処理を実施可能である。さらには、所定期間内にＸ線源の出力を安定化させることによって、Ｘ線検査装置の起動から感度補正の実施までの時間を短縮化できる。
【０００８】
（２）上記（１）に記載のＸ線検査装置にて、Ｘ線検出部は、感度補正において、所定期間経過後の物品を透過していないＸ線に基づいてブライトレベルを取得してもよい。この場合、より適切な感度補正を実施できる。
【０００９】
（３）上記（１）または（２）に記載のＸ線検査装置にて、感度補正において、Ｘ線検出部によるＸ線の検出開始と同時にＸ線源によるＸ線照射が開始されてもよい。この場合、所定期間経過までにＸ線照射を確実に安定化できる。
【００１０】
（４）上記（１）～（３）のいずれかに記載のＸ線検査装置にて、所定期間は、１０秒以上でもよい。この場合、Ｘ線検出部の出力を良好に安定化できる。
（【００１１】以降は省略されています）

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