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公開番号2024125581
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-19
出願番号2023033494
出願日2023-03-06
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240911BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】複数のヒーターに対応して設けられた複数の給電部の配置を最適化することのできる静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100に内蔵された複数のヒーター500と、ヒーター500に対応して設けられた給電部50と、誘電体基板100に接合され、冷媒流路400が内部に形成されたベースプレート200と、を備える。誘電体基板100の面110に対し垂直な方向から見た場合において、冷媒流路400は、周方向に沿って円環状に伸びる複数の環状流路413と、互いに隣り合う環状流路413の間を繋ぐように、径方向に沿って直線状に伸びる径方向流路414と、を含み、冷媒流路400によって囲まれたそれぞれの領域、のことを流路領域FDとしたときに、それぞれの給電部50は、流路領域FDの内側に配置されている。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板に内蔵された複数のヒーターと、
それぞれの前記ヒーターに対応して設けられた給電部と、
前記誘電体基板のうち前記載置面とは反対側の面に接合され、冷媒の通る冷媒流路が内部に形成されたベースプレートと、を備え、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記冷媒流路は、
周方向に沿って円環状に伸びる複数の環状流路と、
互いに隣り合う前記環状流路の間を繋ぐように、径方向に沿って直線状に伸びる径方向流路と、を含み、
前記冷媒流路によって囲まれたそれぞれの領域、のことを流路領域としたときに、
それぞれの前記給電部は、前記流路領域の内側に配置されていることを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 330 文字）【請求項２】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
全ての前記流路領域の内側に前記給電部が配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
少なくとも一部の前記流路領域では、当該流路領域の中央部に前記給電部が配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
少なくとも一部の前記流路領域では、当該流路領域の内側に、２つの前記ヒーターに対応する２つの前記給電部が配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばＣＶＤ装置やエッチング装置のような半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板と、誘電体基板を支持するベースプレートと、を備え、これらが互いに接合された構成を有する。吸着電極は、誘電体基板に内蔵されるのが一般的であるが、金属であるベースプレートが吸着電極として用いられる場合もある。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【０００３】
エッチング等の処理中においては、基板の温度を適切な温度に維持する必要がある。このため、下記特許文献１に記載されているように、静電チャックには、冷媒を通すための冷媒流路が形成されることが多い。
【０００４】
近年の静電チャックには、処理中において、基板の各部における温度分布（つまり面内温度分布）のばらつきを可能な限り小さくすることも求められる。このため、誘電体基板に複数のヒーターを内蔵し、各部の温度を個別に調整することも行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第４２０９０５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
誘電体基板に内蔵された複数のヒーターのそれぞれには、電流を供給するための一対の電路、である給電部が接続される。ヒーターのうち給電部が接続されている部分では、他の部分に比べて発熱量が小さいため、温度が低下してしまいやすい。つまり、給電部は所謂「クールスポット」の発生源となりやすい。
【０００７】
面内温度分布の要求が厳しくことに伴って、冷媒流路は従来に比べて複雑化している。また、誘電体基板に内蔵されるヒーターは更に細分化され、その数は増加傾向にある。しかしながら、それぞれのヒーターの給電部を、冷媒流路との関係においてどのような位置に配置すべきかについて、従来は具体的な検討がなされていなかった。
【０００８】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数のヒーターに対応して設けられた複数の給電部の配置を最適化することのできる静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、誘電体基板に内蔵された複数のヒーターと、それぞれのヒーターに対応して設けられた給電部と、誘電体基板のうち載置面とは反対側の面に接合され、冷媒の通る冷媒流路が内部に形成されたベースプレートと、を備える。載置面に対し垂直な方向から見た場合において、冷媒流路は、周方向に沿って円環状に伸びる複数の環状流路と、互いに隣り合う環状流路の間を繋ぐように、径方向に沿って直線状に伸びる径方向流路と、を含み、冷媒流路によって囲まれたそれぞれの領域、のことを流路領域としたときに、それぞれの給電部は、流路領域の内側に配置されている。
【００１０】
このような構成の静電チャックでは、それぞれの給電部が、流路領域の内側となる位置に配置される。クールスポットの原因となりやすい給電部を、上面視で冷媒流路と重ならない位置に配置することで、給電部の直上部分における基板温度の低下を抑制することができる。つまり、基板における面内温度分布のばらつきが抑制されるように、給電部の配置を最適化することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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