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公開番号2024111573
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-19
出願番号2023016161
出願日2023-02-06
発明の名称水分散型粘着剤組成物、および、再剥離用粘着シート
出願人日東電工株式会社
代理人弁理士法人籾井特許事務所
主分類C09J 133/00 20060101AFI20240809BHJP(染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用)
要約【課題】分散安定性および塗工性に優れた水分散型粘着剤組成物、および、この水分散型粘着剤組成物を用いた再剥離用粘着シートを提供することを提供すること。
【解決手段】本発明の実施形態の水分散型粘着剤組成物は、水分散型アクリル系ポリマーと、活性エネルギー線硬化性樹脂と、光重合開始剤とを含み、水分散型アクリル系ポリマーは、(A)式(1)で表されるカルボキシル基含有モノマーを含むモノマー組成物を乳化重合して得られるポリマーである:
【化1】
<com:Image com:imageContentCategory="Drawing"> <com:ImageFormatCategory>JPEG</com:ImageFormatCategory> <com:FileName>2024111573000008.jpg</com:FileName> <com:HeightMeasure com:measureUnitCode="Mm">33</com:HeightMeasure> <com:WidthMeasure com:measureUnitCode="Mm">169</com:WidthMeasure> </com:Image> (式中、R¹は水素原子またはメチル基を表し、R²は2価の炭化水素基を表し、xは1～20の整数を表し、yは0または1を表す)。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
水分散型アクリル系ポリマーと、活性エネルギー線硬化性樹脂と、光重合開始剤とを含み、
該水分散型アクリル系ポリマーが、（Ａ）式（１）で表されるカルボキシル基含有モノマーを含むモノマー組成物を乳化重合して得られるポリマーである、水分散型粘着剤組成物：
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2024111573000007.jpg
33
169
（式中、Ｒ
１
は水素原子またはメチル基を表し、Ｒ
２
は２価の炭化水素基を表し、ｘは１～２０の整数を表し、ｙは０または１を表す）。
続きを表示（約 450 文字）【請求項２】
前記Ｒ
２
が直鎖または分岐状のアルキレン基もしくはシクロアルキレン基である、請求項１に記載の水分散型粘着剤組成物。
【請求項３】
前記モノマー組成物における前記カルボキシル基含有モノマー（Ａ）の含有割合が全モノマー成分の合計１００重量部に対し３重量部～３０重量部である、請求項１に記載の水分散型粘着剤組成物。
【請求項４】
前記水分散型アクリル系ポリマーが反応性界面活性剤を用いる乳化重合により得られるポリマーである、請求項１に記載の水分散型粘着剤組成物。
【請求項５】
架橋剤をさらに含む、請求項１に記載の水分散型粘着剤組成物。
【請求項６】
粘着剤層と、基材と、を有し、
該粘着剤層が請求項１から５のいずれか１項に記載の水分散型粘着剤組成物を用いて形成された層である、再剥離用粘着シート。
【請求項７】
半導体ウエハ加工に用いられる、請求項６に記載の再剥離用粘着シート。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は水分散型粘着剤組成物、および、水分散型粘着剤組成物を用いて形成された粘着剤層を有する再剥離用粘着シートに関する。
続きを表示（約 3,100 文字）【背景技術】
【０００２】
粘着シートは、被着体の表面保護、および、固定を目的として広く用いられている。例えば、半導体ウエハの加工工程では、被着体である半導体ウエハをバックグラインド工程、および、ダイシング工程で適切に保持するために用いられる。近年、チップの微細化および薄型化が進められており、加工時に半導体ウエハを薄く研削しても半導体ウエハを適切に保持可能な粘着力が要求される。しかしながら、粘着力の高い粘着シートでは剥離時にウエハを破損するおそれがある。そのため、加工後は容易に被着体から剥離することができる軽剥離な粘着シートが求められている。このような粘着剤組成物としては、紫外線硬化型粘着剤を用いる粘着シートが提案されている。
【０００３】
半導体ウエハの加工工程に用いられる粘着シートは、使用後に半導体ウエハから剥離されるため、再剥離性を有する粘着シートが好ましく用いられている。再剥離性を有する粘着剤としては、溶剤系粘着剤が広く用いられている（例えば、特許文献１）。近年、環境負荷の低減が求められており、水系粘着剤を用いることが試みられている（例えば、特許文献２）。エマルション粒子を含む水系粘着剤では、エマルション粒子を安定させるためにアクリル酸およびメタクリル酸等のカルボキシル基含有モノマーがモノマー成分として用いられている（例えば、特許文献３）。このような水系粘着剤では粒子を安定させるために、アンモニア水等のアルカリを用いて中和させることが必要である。しかしながら、これらのカルボキシル基含有モノマーを用いる粘着剤では、中和反応による粘着剤組成物の粘度変化が経時で生じることにより塗工性が悪化し、粘着剤層の外観不良が生じるおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１９－３１６２０号公報
特開２００９－７３９２０号公報
特開２０１５－１９９９５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、分散安定性および塗工性に優れた水分散型粘着剤組成物、および、この水分散型粘着剤組成物を用いた再剥離用粘着シートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
１．本発明の実施形態の水分散型粘着剤組成物は、水分散型アクリル系ポリマーと、活性エネルギー線硬化性樹脂と、光重合開始剤とを含み、この水分散型アクリル系ポリマーは、式（１）で表されるカルボキシル基含有モノマー（Ａ）を含むモノマー組成物を乳化重合して得られるポリマーである。
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169
（式中、Ｒ
１
は水素原子またはメチル基を表し、Ｒ
２
は２価の炭化水素基を表し、ｘは１～２０の整数を表し、ｙは０または１を表す）。
２．上記１に記載の水分散型粘着剤組成物において、上記Ｒ
２
は直鎖または分岐状のアルキレン基もしくはシクロアルキレン基であってもよい。
３．上記１または２に記載の水分散型粘着剤組成物において、上記モノマー組成物における上記カルボキシル基含有モノマー（Ａ）の含有割合は全モノマー成分の合計１００重量部に対し３重量部～３０重量部であってもよい。
４．上記１から３のいずれかに記載の水分散型粘着剤組成物において、上記水分散型アクリル系ポリマーは反応性界面活性剤を用いる乳化重合により得られるポリマーであってもよい。
５．上記１から４のいずれかに記載の水分散型粘着剤組成物は架橋剤をさらに含んでいてもよい。
６．本発明の実施形態の別の局面においては再剥離用粘着シートが提供される。この再剥離用粘着シートは、粘着剤層と、基材と、を有し、この粘着剤層は上記１から５のいずれかに記載の水分散型粘着剤組成物を用いて形成された層である。
７．上記６に記載の再剥離用粘着シートは、半導体ウエハ加工に用いられてもよい。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の実施形態によれば、分散安定性および塗工性に優れた水分散型粘着剤組成物、および、この水分散型粘着剤組成物を用いた再剥離用粘着シートを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の１つの実施形態による再剥離用粘着シートの概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
Ａ．水分散型粘着剤組成物
本発明の実施形態の水分散型粘着剤組成物は、水分散型アクリル系ポリマーと、活性エネルギー線硬化性樹脂と、光重合開始剤とを含む。水分散型アクリル系ポリマーは、式（１）で表されるカルボキシル基含有モノマー（Ａ）を含むモノマー組成物を乳化重合して得られるポリマーである。カルボキシル基含有モノマーを含むモノマー組成物を重合して得られたアクリル系ポリマーは、活性エネルギー線硬化性樹脂と組み合わせて用いる場合、分散安定性が低下するおそれがある。また、アンモニア水等を用いてアクリル系ポリマーの水分散液を中和する場合、粘着剤組成物の粘度が経時的に高くなり、塗工性が悪化する場合がある。塗工性が悪化した粘着剤組成物は、良好に粘着剤層を形成することが困難となり、粘着剤層の外観不良（例えば、スジの形成）が生じ得る。粘着剤層に外観不良が生じた粘着シートを、例えば半導体ウエハの加工に用いる場合、被着体と粘着剤層との間に水が浸入し、ウエハ欠け、および、チップ飛びが生じるおそれがある。カルボキシル基含有モノマーとして、式（１）で表されるカルボキシル基含有モノマー（Ａ）を用いて得られた水分散型アクリル系ポリマーは、例えば、活性エネルギー線硬化性樹脂と組み合わせて用いた場合であっても、水分散型アクリル系ポリマー（エマルション）が良好に分散した状態を維持することができ、保存安定性に優れた水分散型粘着剤組成物が得られ得る。本発明の実施形態の水分散型粘着剤組成物は塗工性に優れる。その結果、粘着剤層の外観不良が抑制され、ウエハ欠け、および、チップ飛び等の発生を抑制し得る。
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（式中、Ｒ
１
は水素原子またはメチル基を表し、Ｒ
２
は２価の炭化水素基を表し、ｘは１～２０の整数を表し、ｙは０または１を表す）。
【００１０】
Ａ－１．水分散型アクリル系ポリマー
水分散型アクリル系ポリマー（以下、アクリル系ポリマーともいう）は、カルボキシル基含有モノマー（Ａ）および任意の適切なモノマー成分を含むモノマー組成物を水中で乳化重合することにより得ることができる。すなわち、水分散型アクリル系ポリマーは、アクリル系ポリマーのエマルションである。アクリル系ポリマーエマルションの平均粒子径は、好ましくは８０ｎｍ～４００ｎｍであり、より好ましくは１００ｎｍ～３００ｎｍであり、さらに好ましくは１００ｎｍ～２００ｎｍである。本明細書において、水分散型アクリル系ポリマーの平均粒子径は、レーザー回折・散乱法により測定される体積基準のメディアン径（Ｄ５０）をいう。
（【００１１】以降は省略されています）

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