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公開番号2024062679
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-10
出願番号2022170683
出願日2022-10-25
発明の名称金属皮膜の成膜方法
出願人トヨタ自動車株式会社
代理人弁理士法人平木国際特許事務所
主分類C25D 17/00 20060101AFI20240501BHJP(電気分解または電気泳動方法;そのための装置)
要約【課題】スクリーンマスクを用いた場合であっても、電解質膜による押圧時のスクリーンマスクの損傷を抑えることができる金属皮膜の成膜方法を提供する。
【解決手段】基材Bを載置台40に載置する。所定のパターンの貫通部分68が形成されたスクリーンマスク62で、基材Bを覆う。電解質膜13に接触しためっき液Lの液圧によって、スクリーンマスク62を介して、電解質膜13で基材Bを押圧する。めっき液Lに接触した陽極11と、基材Bとの間に電圧を印加することにより、めっき液Lに含まれる金属イオンを電解質膜13に通過させ、金属イオンに由来した金属皮膜Fを、所定のパターンで基材Bに成膜する。基材Bには、スクリーンマスク62に対向する対向面Baと側面Bbとにより、外縁部Bcが形成されている。成膜方法では、基材Bを押圧する前に、外縁部Bcに沿って、クッション材30を配置する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基材を載置台に載置し、
所定のパターンの貫通部分が形成されたスクリーンマスクで、前記基材を覆い、
電解質膜に接触しためっき液の液圧によって、前記スクリーンマスクを介して、前記電解質膜で前記基材を押圧し、
前記めっき液に接触した陽極と、前記基材との間に電圧を印加することにより、前記めっき液に含まれる金属イオンを前記電解質膜に通過させ、前記金属イオンに由来した金属皮膜を、前記所定のパターンで前記基材に成膜する金属皮膜の成膜方法であり、
前記基材には、前記スクリーンマスクに対向する対向面と側面とにより、外縁部が形成されており、
前記基材を押圧する前に、前記外縁部に沿って、クッション材を配置する、金属皮膜の成膜方法。
続きを表示（約 790 文字）【請求項２】
前記載置台には、前記基材を収容する凹部が形成されており、前記基材を載置する際に、前記凹部に、前記基材を収容し、
前記クッション材を配置する際に、前記クッション材で、前記基材の前記側面と前記凹部の側壁面との間に形成された隙間を覆う、請求項１に記載の金属皮膜の成膜方法。
【請求項３】
前記クッション材は、前記スクリーンマスクに取り付けられており、
前記スクリーンマスクで、前記基材を覆う際に、前記クッション材で、前記隙間を覆う、請求項２に記載の金属皮膜の成膜方法。
【請求項４】
前記基材を載置する前に、前記外縁部に沿って、前記クッション材を前記基材に取り付ける、請求項１に記載の金属皮膜の成膜方法。
【請求項５】
前記載置台には、前記基材を収容する凹部が形成されており、
前記クッション材を前記基材に取り付けることにより、前記クッション材で、前記基材の前記側面を覆い、
前記基材を載置する際に、前記凹部の側壁面と、前記基材の側面との間に、前記クッション材を挟み込みながら、前記凹部に前記基材を収容する、請求項４に記載の金属皮膜の成膜方法。
【請求項６】
前記載置台には、前記基材を収容する凹部が形成されており、
前記凹部の側壁面には、前記クッション材が取り付けられており、
前記基材を載置する際に、前記凹部の側壁面と、前記基材の側面との間に、前記クッション材を挟み込みながら、前記基材を前記凹部に収容する、請求項１に記載の金属皮膜の成膜方法。
【請求項７】
前記スクリーンマスクの周縁は、枠体に電解質膜側で固着されており、
前記枠体内において、前記スクリーンマスクで、前記基材を覆う、請求項１に記載の金属皮膜の成膜方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材の表面に所定のパターンで金属皮膜を成膜する成膜方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、電解めっきにより、基材の表面に金属を析出させて、金属皮膜を成膜している（例えば、特許文献１）。特許文献１には、成膜装置は、めっき液を収容する収容体を備えている。収容体には、開口部が形成されており、開口部は、電解質膜で封止されている。成膜装置は、めっき液の液圧により電解質膜で基材を押圧する押圧機構をさらに備えている。
【０００３】
ここで、基材の表面に所定のパターンの金属製の下地層が形成されている場合には、電解質膜の液圧で基材を押圧しながら、陽極と基材との間に電圧を印加する。これにより、下地層の上に所定のパターンの金属皮膜を成膜することができる。ただし、基材に所定のパターンの下地層が形成されていない場合には、たとえば、特許文献２に示すマスキング材を利用することも想定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１６－１２５０８７号公報
特開２０１６－１０８５８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、マスキング材として、スクリーンマスクを用いて成膜する場合、スクリーンマスクは、基材と電解質膜との間に挟み込まれる。この状態で、基材とスクリーンマスクの密着性を確保すべく、めっき液の液圧が作用した電解質膜で、スクリーンマスクが押圧される。しかしながら、基材には、スクリーンマスクに対向する対向面と側面とにより、外縁部が形成されている。これにより、基材の外縁部に、スクリーンマスクが押圧されると、スクリーンマスクが損傷することがある。
【０００６】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、スクリーンマスクを用いた場合であっても、電解質膜による押圧時のスクリーンマスクの損傷を抑えることができる金属皮膜の成膜方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題に鑑みて、本発明に係る金属皮膜の成膜方法は、基材を載置台に載置し、所定のパターンの貫通部分が形成されたスクリーンマスクで、前記基材を覆い、電解質膜に接触しためっき液の液圧によって、前記スクリーンマスクを介して、前記電解質膜で前記基材を押圧し、前記めっき液に接触した陽極と、前記基材との間に電圧を印加することにより、前記めっき液に含まれる金属イオンを前記電解質膜に通過させ、前記金属イオンに由来した金属皮膜を、前記所定のパターンで前記基材に成膜する金属皮膜の成膜方法であり、前記基材には、前記スクリーンマスクに対向する対向面と側面とにより、外縁部が形成されており、前記基材を押圧する前に、前記外縁部に沿って、クッション材を配置する。
【０００８】
本発明によれば、基材を押圧する前に、基材の外縁部に沿って、クッション材を配置する。これにより、めっき液の液圧によって、スクリーンマスクを介して、電解質膜で基材を押圧すると、基材の外縁部は、クッション材を介してスクリーンマスクに押圧される。この結果、基材の外縁部により、スクリーンマスクが損傷することを抑えることができる。
【０００９】
本発明の一例として、前記載置台には、前記基材を収容する凹部が形成されており、前記基材を載置する際に、前記凹部に、前記基材を収容し、前記クッション材を配置する際に、前記クッション材で、前記基材の前記側面と前記凹部の側壁面との間に形成された隙間を覆ってもよい。
【００１０】
基材を凹部に収容した状態で、基材と載置台との間に隙間が形成されることがある。この隙間が形成された状態で、スクリーンマスクを介して、電解質膜で基材を押圧すると、スクリーンマスクが隙間に入り込みやすい。この結果、スクリーンマスクが、凹部の開口縁に接触し、スクリーンマスクは損傷しやすい。そこで、この例では、クッション材で隙間を覆うことにより、スクリーンマスクがこの隙間に入り込むことを抑えることができる。この結果、スクリーンマスクの損傷を抑えることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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