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公開番号2024015595
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-02-06
出願番号2022117751
出願日2022-07-25
発明の名称搬送装置
出願人株式会社ダイヘン
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20240130BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】直線移動機構によって移動させられる構造部の走行性の安定化を図るのに適した搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置A1は、固定ベース1と、固定ベース1に対して垂直状の旋回軸線Os周りに旋回可能に支持された旋回ベース2と、旋回ベース2に支持された直線移動機構3と、直線移動機構3に支持され、直線移動機構3の作動により第1方向に延びる水平直線状の移動行程GLに沿って移動する第1アーム4Aと、を備え、直線移動機構3は、第1アーム4Aに駆動力を伝達するための直線移動機構3と、第1アーム4Aを移動可能に支持し、且つ前記第1方向に延びる1つの第1ガイドレール32Aと、を含み、第1アーム4Aは、1つの第1ガイドレール32Aに片持ち状に支持されている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項1】
固定ベースと、
前記固定ベースに対して垂直状の旋回軸線周りに旋回可能に支持された旋回ベースと、
前記旋回ベースに支持された直線移動機構と、
前記直線移動機構に支持され、前記直線移動機構の作動により第1方向に延びる水平直線状の移動行程に沿って移動する第1アームと、を備え、
前記直線移動機構は、前記第1アームに駆動力を伝達するための第1駆動機構と、前記第1アームを移動可能に支持し、且つ前記第1方向に延びる1つの第1ガイドレールと、を含み、
前記第1アームは、前記1つの第1ガイドレールに片持ち状に支持されている、搬送装置。
続きを表示(約 970 文字)【請求項2】
前記直線移動機構に支持され、前記直線移動機構の作動により前記第1方向に延びる前記移動行程に沿って移動する第2アームをさらに備え、
前記直線移動機構は、前記第2アームに駆動力を伝達するための第2駆動機構と、前記第2アームを移動可能に支持し、且つ前記第1方向に延びる1つの第2ガイドレールと、を含み、
前記1つの第1ガイドレールと前記1つの第2ガイドレールとは、鉛直方向および前記第1方向の双方に直交する第2方向に離隔して配置されており、
前記第2アームは、前記1つの第2ガイドレールに片持ち状に支持されている、請求項1に記載の搬送装置。
【請求項3】
前記第1アームに第1エンドエフェクタが取り付け可能であり、
前記第1アームおよび前記第1エンドエフェクタの重心である第1重心位置が、前記第1方向を見たときに、前記鉛直方向において前記1つの第1ガイドレールと重なるように設定される、請求項2に記載の搬送装置。
【請求項4】
前記第2アームに第2エンドエフェクタが取り付け可能であり、
前記第2アームおよび前記第2エンドエフェクタの重心である第2重心位置が、前記第1方向を見たときに、前記鉛直方向において前記1つの第2ガイドレールと重なるように設定される、請求項3に記載の搬送装置。
【請求項5】
前記第1駆動機構は、水平軸線に沿って配置された第1駆動軸と、前記第1駆動軸に取り付けられた第1駆動プーリを含む複数の第1プーリと、垂直面内に沿うように前記複数の第1プーリに掛け回され、前記移動行程の平行線に沿う所定の区間を往復動する第1出力ベルトと、を含み、
前記第2駆動機構は、水平軸線に沿って配置された第2駆動軸と、前記第2駆動軸に取り付けられた第2駆動プーリを含む複数の第2プーリと、垂直面内に沿うように前記複数の第2プーリに掛け回され、前記移動行程の平行線に沿う所定の区間を往復動する第2出力ベルトと、を含み、
前記直線移動機構は、前記第1アームおよび前記第1出力ベルトを連結する第1連結部材と、前記第2アームおよび前記第2出力ベルトを連結する第2連結部材と、を含む、請求項2ないし4のいずれかに記載の搬送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、搬送装置に関し、より詳細にはワークを直線状に搬送することができる搬送装置に関する。
続きを表示(約 1,700 文字)【背景技術】
【0002】
搬送装置のうち、直線状の移動行程に沿ってハンドを移動させる機構(直線移動機構)を持つものがある。このような搬送装置は、たとえば、半導体製造装置の製造工程、あるいは、液晶表示パネルの製造工程において、各処理室へのウエハ、あるいはガラス基板等の薄板状のワークの搬入あるいは搬出用として多用されている。
【0003】
このような薄板状のワークを搬送するための搬送装置としては、たとえば下記の特許文献1に開示されたものがある。この搬送装置は、固定ベースと、固定ベースに旋回可能に支持された旋回ベースと、旋回ベースに支持された直線移動機構と、直線移動機構に各別に支持された一対のハンドと、を備えている。直線移動機構は、一対のハンドをそれぞれ駆動する一対の駆動機構(たとえばベルト駆動機構)を有し、駆動機構が駆動すると、ハンドが水平方向に直線移動させられる。これにより、一対のハンドに保持された薄板状ワークを水平直線状の移動行程に沿って各別に搬送することが可能である。
【0004】
直線移動機構は、一対のハンドをそれぞれ移動可能に支持するガイドレールを有する。一対のハンドは、各々、2本のガイドレールに支持されている。各ハンドが2本のガイドレールに支持された構成おいては、当該ハンドの支持状態は安定する。その一方、2本のガイドレールによって支持されたハンドを水平直線状の移動行程に沿ってスライド走行させるには、2本のガイドレールの平行度の調整が必要であり、スライド走行させる上で高い精度が要求される。また、一対のハンドをスライド走行させるためには、4本のガイドレールが必要である。このことは重量およびコストの増加を招くこととなり、改善の余地があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
特開2008-272847号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、直線移動機構によって移動させられる構造部の走行性の安定化を図るのに適した搬送装置を提供することを主たる課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記の課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を採用した。
【0008】
本発明によって提供される搬送装置は、固定ベースと、前記固定ベースに対して垂直状の旋回軸線周りに旋回可能に支持された旋回ベースと、前記旋回ベースに支持された直線移動機構と、前記直線移動機構に支持され、前記直線移動機構の作動により第1方向に延びる水平直線状の移動行程に沿って移動する第1アームと、を備え、前記直線移動機構は、前記第1アームに駆動力を伝達するための第1駆動機構と、前記第1アームを移動可能に支持し、且つ前記第1方向に延びる1つの第1ガイドレールと、を含み、前記第1アームは、前記1つの第1ガイドレールに片持ち状に支持されている。
【0009】
好ましい実施の形態においては、前記直線移動機構に支持され、前記直線移動機構の作動により前記第1方向に延びる前記移動行程に沿って移動する第2アームをさらに備え、前記直線移動機構は、前記第2アームに駆動力を伝達するための第2駆動機構と、前記第2アームを移動可能に支持し、且つ前記第1方向に延びる1つの第2ガイドレールと、を含み、前記1つの第1ガイドレールと前記1つの第2ガイドレールとは、鉛直方向および前記第1方向の双方に直交する第2方向に離隔して配置されており、前記第2アームは、前記1つの第2ガイドレールに片持ち状に支持されている。
【0010】
好ましい実施の形態においては、前記第1アームに第1エンドエフェクタが取り付け可能であり、前記第1アームおよび前記第1エンドエフェクタの重心である第1重心位置が、前記第1方向を見たときに、前記鉛直方向において前記1つの第1ガイドレールと重なるように設定される。
(【0011】以降は省略されています)

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