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公開番号2025150769
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-09
出願番号2024051834
出願日2024-03-27
発明の名称異方導電性シート、プローブカード、電気検査装置及び電気検査方法
出願人三井化学株式会社
代理人弁理士法人鷲田国際特許事務所
主分類G01R 1/073 20060101AFI20251002BHJP(測定;試験)
要約【課題】間隔の狭い検査対象物の端子と、間隔の広い接続基板の電極とのピッチ変換を可能とする異方導電性シートを提供する。
【解決手段】異方導電性シートは、厚み方向の一方の側に位置する第1面と、厚み方向の他方の側に位置する第2面と、前記第1面から前記第2面までを貫通する複数の貫通孔とを有する絶縁層と、前記第1面上に配置された第1導電層と、前記第2面上に配置された第2導電層と、前記貫通孔内に配置され、前記第1導電層と前記第2導電層とを接続する接続部とをそれぞれ有する複数の導電部とを有し、前記複数の導電部のうち少なくとも1つの導電部は、前記第1導電層と前記第2導電層の形状が異なる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
厚み方向の一方の側に位置する第１面と、厚み方向の他方の側に位置する第２面と、前記第１面から前記第２面までを貫通する複数の貫通孔とを有する絶縁層と、
前記第１面上に配置された第１導電層と、前記第２面上に配置された第２導電層と、前記貫通孔内に配置され、前記第１導電層と前記第２導電層とを接続する接続部とをそれぞれ有する複数の導電部とを有し、
前記複数の導電部のうち少なくとも１つの導電部は、前記第１導電層と前記第２導電層の形状が異なる、
異方導電性シート。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記第１導電層は、第１端子を有し、
前記第２導電層は、第２端子を有し、
前記第１導電層と前記第２導電層の形状が異なる前記少なくとも１つの導電部では、透過平面視したときに、前記第１端子と前記第２端子とが重ならない、
請求項１に記載の異方導電性シート。
【請求項３】
前記第１導電層と前記第２導電層の形状が異なる前記少なくとも１つの導電部では、
前記接続部から前記第１端子までの距離は、前記接続部から前記第２端子までの距離より長い、
請求項２に記載の異方導電性シート。
【請求項４】
透過平面視したときに前記第２面上の前記第１端子に対応する位置に配置され、且つ前記複数の導電部と電気的に接続されていない第１スペーサをさらに有する、
請求項２に記載の異方導電性シート。
【請求項５】
前記第１スペーサの厚みは、前記第２導電層の厚みと実質的に同じである、
請求項４に記載の異方導電性シート。
【請求項６】
前記第１スペーサは、前記導電部と同じ材料で構成されている、
請求項４に記載の異方導電性シート。
【請求項７】
透過平面視したときに前記第１面上と前記第２面上のいずれにも前記複数の導電部がない領域を有し、
前記領域の前記第１面又は前記第２面上に配置され、且つ前記複数の導電部と電気的に接続されていない第２スペーサをさらに有する、
請求項２～６のいずれか一項に記載の異方導電性シート。
【請求項８】
前記第２スペーサが前記第１面上に配置されている場合、前記第２スペーサの厚みは、前記第１導電層の厚みと実質的に同じであり、
前記第２スペーサが前記第２面上に配置されている場合、前記第２スペーサの厚みは、前記第２導電層の厚みと実質的に同じである、
請求項７に記載の異方導電性シート。
【請求項９】
前記第２スペーサは、前記導電部と同じ材料で構成されている、
請求項７に記載の異方導電性シート。
【請求項１０】
複数の前記第１端子の最小中心間距離は、複数の前記第２端子の最小中心間距離よりも小さい、
請求項２に記載の異方導電性シート。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、異方導電性シート、プローブカード、電気検査装置及び電気検査方法に関する。
続きを表示（約 3,100 文字）【背景技術】
【０００２】
多数の集積回路が形成されたウエハや、半導体素子等の電子部品などの回路装置は、電気検査に供される。電気検査は、テストボードの端子と、検査対象物の端子とを電気的に接続させ、検査対象物の端子間に所定の電圧を印加したときの電流を読み取ることにより行われる。そして、電気検査を行う場合、テストボードの電極と、検査対象物の端子との電気的接続を確実に行うために、プローブカードが用いられている。
【０００３】
例えば、ウエハに形成された集積回路を検査するためのプローブカードとして、複数の検査用電極１ａを有する接続基板１と、導電性粒子Ｐで構成された複数の導電部２ａを有する異方導電性シート２と、複数の導電部３ａを有するシート状プローブ３とを有するプローブカード４が提案されている（例えば特許文献１及び図１参照）。
【０００４】
また、異方導電性シートとしては、上記以外にも、絶縁層に複数の貫通孔を形成し、それぞれに導電部を形成した異方導電性シートも提案されている（例えば特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００２－１８４８２１号公報
国際公開第２０２１／１００８２４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、電気検査を行う場合、接続基板の電極と検査対象物の端子とが１対１に対応するように配置される。そのため、異方導電性シートも、特許文献１と同様に、接続基板側の導電層と検査対象物側の導電層とが１対１に対応するように、即ち、絶縁層を挟んで対称となるように配置される（図１参照）。
【０００７】
しかしながら、その場合、検査対象物の端子の間隔が狭くなると、異方導電性シートの一方の面と他方の面との導通を保つための微細な貫通孔を狭い間隔で形成し、その孔内部に導電部を形成する必要がある。そのような微細な貫通孔を狭いピッチで形成することや、その内部に導電部を形成することは困難であった。そのため、貫通孔を狭いピッチで形成しなくても、間隔の狭い検査対象物の端子と、間隔の広い接続基板の電極とを接続できること、即ち、ピッチ変換できることが望まれている。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、間隔の狭い検査対象物の端子と、間隔の広い接続基板の電極とのピッチ変換を可能とする異方導電性シート、プローブカード、電気検査装置及び電気検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題は、以下の構成によって解決することができる。
【００１０】
［１］厚み方向の一方の側に位置する第１面と、厚み方向の他方の側に位置する第２面と、前記第１面から前記第２面までを貫通する複数の貫通孔とを有する絶縁層と、前記第１面上に配置された第１導電層と、前記第２面上に配置された第２導電層と、前記貫通孔内に配置され、前記第１導電層と前記第２導電層とを接続する接続部とをそれぞれ有する複数の導電部とを有し、前記複数の導電部のうち少なくとも１つの導電部は、前記第１導電層と前記第２導電層の形状が異なる、異方導電性シート。
［２］前記第１導電層は、第１端子を有し、前記第２導電層は、第２端子を有し、
前記第１導電層と前記第２導電層の形状が異なる前記少なくとも１つの導電部では、透過平面視したときに、前記第１端子と前記第２端子とが重ならない、［１］に記載の異方導電性シート。
［３］前記第１導電層と前記第２導電層の形状が異なる前記少なくとも１つの導電部では、前記接続部から前記第１端子までの距離は、前記接続部から前記第２端子までの距離より長い、［２］に記載の異方導電性シート。
［４］透過平面視したときに前記第２面上の前記第１端子に対応する位置に配置され、且つ前記複数の導電部と電気的に接続されていない第１スペーサをさらに有する、［２］に記載の異方導電性シート。
［５］前記第１スペーサの厚みは、前記第２導電層の厚みと実質的に同じである、［４］に記載の異方導電性シート。
［６］前記第１スペーサは、前記導電部と同じ材料で構成されている、［４］に記載の異方導電性シート。
［７］透過平面視したときに前記第１面上と前記第２面上のいずれにも前記複数の導電部がない領域を有し、前記領域の前記第１面又は前記第２面上に配置され、且つ前記複数の導電部と電気的に接続されていない第２スペーサをさらに有する、［２］～［６］のいずれかに記載の異方導電性シート。
［８］前記第２スペーサが前記第１面上に配置されている場合、前記第２スペーサの厚みは、前記第１導電層の厚みと実質的に同じであり、前記第２スペーサが前記第２面上に配置されている場合、前記第２スペーサの厚みは、前記第２導電層の厚みと実質的に同じである、
［７］に記載の異方導電性シート。
［９］前記第２スペーサは、前記導電部と同じ材料で構成されている、［７］に記載の異方導電性シート。
［１０］複数の前記第１端子の最小中心間距離は、複数の前記第２端子の最小中心間距離よりも小さい、［２］に記載の異方導電性シート。
［１１］前記第１端子は、検査対象物の端子と接続され、前記第２端子は、接続基板の電極と接続される、［２］に記載の異方導電性シート。
［１２］複数の電極を有する接続基板と、［１］～［１１］のいずれかに記載の異方導電性シートと、を有し、前記異方導電性シートの複数の前記第２導電層は、前記接続基板の前記複数の電極と接続されている、プローブカード。
［１３］前記第１導電層は、第１端子を有し、前記第２導電層は、第２端子を有し、前記第１導電層と前記第２導電層の形状が異なる前記少なくとも１つの導電部では、透過平面視したときに、前記第１端子と前記第２端子とが重ならない、［１２］に記載のプローブカード。
［１４］前記異方導電性シートは、前記第２面上の前記第１端子に対応する位置に配置され、前記導電部と電気的に接続されていない第１スペーサをさらに有し、前記接続基板は、前記第１スペーサと対向して配置された基板側第１スペーサをさらに有する、［１３］に記載のプローブカード。
［１５］前記異方導電性シートは、透過平面視したときに前記第１面上と前記第２面上のいずれにも前記複数の導電部がない領域と、前記領域の前記第１面及び前記第２面上に配置された第２スペーサをさらに有し、前記接続基板は、前記第２面上に配置された前記第２スペーサと対向して配置された基板側第２スペーサをさらに有する、［１３］又は［１４］に記載のプローブカード。
［１６］端子を有するテストボードと、［１２］～［１５］のいずれかに記載のプローブカードと、前記第１面と対向する位置に検査対象物を配置する台座と、を有する、電気検査装置。
［１７］検査対象物の電気検査を行う電気検査方法であって、［１２］～［１５］のいずれかに記載のプローブカードの前記異方導電性シートの前記第１面の前記第１導電層に検査対象物の端子を接続し、検査対象物の端子とテストボードの端子とを前記プローブカードを介して電気的に接続する、電気検査方法。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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