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公開番号2025145409
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-03
出願番号2024045572
出願日2024-03-21
発明の名称集合体シート、および、集合体シートの製造方法
出願人日東電工株式会社
代理人弁理士法人いくみ特許事務所
主分類G03F 9/00 20060101AFI20250926BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】集合体シートに対するフォトマスクの位置精度の向上を図ることができる集合体シート、および、集合体シートの製造方法を提供する。
【解決手段】
集合体シート1は、配線回路基板2と、配線回路基板2を支持するフレーム3とを備える。フレーム3は、アライメントマーク32を有する。アライメントマーク32は、第1絶縁層3211と導体層3212とからなる第1マーク321と、第2絶縁層323とを備える。導体層3212は、第1絶縁層3211の上に配置され、開口3212Aを有する。第2絶縁層323は、第1絶縁層3211の上に配置され、導体層3211を覆う。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
配線回路基板と、
アライメントマークを有し、前記配線回路基板を支持するフレームと
を備え、
前記アライメントマークは、
第１絶縁層と、前記第１絶縁層の上に配置され、第１開口を有する導体層とからなる第１マークと、
前記第１絶縁層の厚み方向において前記第１絶縁層の上に配置され、前記導体層を覆う第２絶縁層と
を備える、集合体シート。
続きを表示（約 820 文字）【請求項２】
前記アライメントマークは、
前記第１マークと間隔を隔てて配置され、前記第１絶縁層と同じ材料からなる第２マークを、
さらに備える、請求項１に記載の集合体シート。
【請求項３】
前記アライメントマークは、
前記厚み方向において前記第２マークの上に配置され、前記第２絶縁層と間隔を隔てて配置される第３絶縁層を、
さらに有する、請求項２に記載の集合体シート。
【請求項４】
前記フレームは、金属層を有し、
前記第１絶縁層は、前記厚み方向において前記金属層の上に配置される、請求項１に記載の集合体シート。
【請求項５】
前記金属層は、第２開口を有し、
前記厚み方向に投影したときに、前記第１開口は、前記第２開口内に配置される、請求項４に記載の集合体シート。
【請求項６】
前記第１絶縁層は、
前記厚み方向に投影したときに前記第２開口内に配置される第１部分と、
前記第１部分の周りに配置される第２部分と
を有し、
前記第１部分の厚みは、前記第２部分の厚みよりも薄い、請求項５に記載の集合体シート。
【請求項７】
前記導体層は、前記金属層と導通する、請求項４に記載の集合体シート。
【請求項８】
前記導体層の外周部は、前記金属層と導通する、請求項７に記載の集合体シート。
【請求項９】
前記アライメントマークは、
前記厚み方向において前記第２絶縁層の上に配置される第４絶縁層を、
さらに有する、請求項１に記載の集合体シート。
【請求項１０】
前記第１マークは、円形状であり、
前記第２マークは、前記第１マークと同心のリング形状を有する、請求項２に記載の集合体シート。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、集合体シート、および、集合体シートの製造方法に関する。
続きを表示（約 950 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、配線回路基板の製造において、複数の配線回路基板を有する集合体シートに、アライメントマーク、および、複数の識別マークを設けることが知られている（例えば、下記特許文献１参照。）。
【０００３】
識別マークは、各工程のフォトマスクの識別に使用され、アライメントマークは、集合体シートに対するフォトマスクの位置合わせに使用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１１－２２７３６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記した特許文献１に記載されるような配線回路基板の製造方法において、集合体シートに対するフォトマスクの位置精度のさらなる向上が求められている。
【０００６】
本発明は、集合体シートに対するフォトマスクの位置精度の向上を図ることができる集合体シート、および、集合体シートの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明［１］は、配線回路基板と、アライメントマークを有し、前記配線回路基板を支持するフレームとを備え、前記アライメントマークが、第１絶縁層と、前記第１絶縁層の上に配置され、第１開口を有する導体層とからなる第１マークと、前記第１絶縁層の厚み方向において前記第１絶縁層の上に配置され、前記導体層を覆う第２絶縁層とを備える、集合体シートを含む。
【０００８】
このような構成によれば、アライメントマークは、第１絶縁層と、第１絶縁層の上に配置される導体層とからなる第１マークを備える。第１マークの導体層は、第１開口を有する。
【０００９】
そのため、第１絶縁層と導体層とのコントラストにより、第１開口の内周端縁をはっきりと認識できる。
【００１０】
そのため、集合体シートの製造途中において、第１開口の内周端縁に基づいて各工程のフォトマスクを集合体シートに対して位置合わせすることにより、フォトマスクを集合体シートに対して精度よく位置合わせできる。
（【００１１】以降は省略されています）

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