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公開番号
2025139464
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2025-09-26
出願番号
2024038418
出願日
2024-03-12
発明の名称
活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物、及び活性エネルギー線硬化性剥離型粘着シート
出願人
三菱ケミカル株式会社
代理人
個人
,
個人
,
個人
,
個人
主分類
C09J
133/00 20060101AFI20250918BHJP(染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用)
要約
【課題】活性エネルギー線照射前は良好な粘着力を有し、かつ、活性エネルギー線照射後は良好な易剥離性を有しつつ、延伸性に優れる粘着剤組成物を提供する。
【解決手段】アクリル系樹脂(A)、活性エネルギー線硬化性化合物(B)、及び架橋剤(C)を含有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物であって、
前記アクリル系樹脂(A)の重量平均分子量が110万以上である活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【選択図】なし
特許請求の範囲
【請求項1】
アクリル系樹脂(A)、活性エネルギー線硬化性化合物(B)、及び架橋剤(C)を含有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物であって、
前記アクリル系樹脂(A)の重量平均分子量が110万以上である活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
続きを表示(約 750 文字)
【請求項2】
以下の条件で測定した引っ張り破断伸度が、500%以上である請求項1記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
条件:アクリル系樹脂(A)及び架橋剤(C)からなる組成物を基材に塗布・乾燥し、ゲル分率65質量%以上に調整した試験片(幅15mm×厚み200μm)をチャック間距離20mmで300mm/minの速度で引っ張る
【請求項3】
前記アクリル系樹脂(A)のガラス転移温度(Tg)が、0℃以下である請求項1記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項4】
前記アクリル系樹脂(A)が、カルボキシ基含有モノマー(a2-1)由来の構造単位を有する請求項1記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項5】
前記活性エネルギー線硬化性化合物(B)が、ウレタン(メタ)アクリレート(b)を含有する請求項1記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項6】
前記活性エネルギー線硬化性化合物(B)の含有量が、アクリル系樹脂(A)100質量部に対して5~100質量部である請求項1記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項7】
さらに、光重合開始剤(D)を含有する請求項1記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項8】
請求項1~7のいずれか一項に記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物が架橋された粘着剤層を有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着シート。
【請求項9】
活性エネルギー線の照射により前記粘着剤層が硬化されて剥離可能となる請求項8記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着シート。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物、及び活性エネルギー線硬化性剥離型粘着シートに関するものであり、さらに詳しくは、半導体ウエハ、プリント基板、ガラス加工品、金属板、プラスチック板等の被加工部材を加工する際の一時的な表面保護用の剥離型粘着シートの粘着剤に使用される活性エネルギー線硬化性剥離型の粘着剤組成物及び粘着シートに関するものである。
続きを表示(約 2,500 文字)
【背景技術】
【0002】
従来、半導体ウエハを用いた集積回路の作製や穴開け等の加工工程においては、被加工部材の汚れや損傷を防ぐことを目的として一時的に前記被加工部材の表面を保護するための表面保護用の粘着シートが用いられている。そして、近年では加工技術の微細化や被加工部材の薄膜化等の理由で被加工部材に対して適度な粘着力が求められる一方、表面保護の役目を終えた後には表面保護用の粘着シートを剥離する必要があり、剥離する際には軽い力で糊残りなく剥離できることが求められている。また、近年では半導体ウエハに限らず様々な部材の加工時にも表面保護用の粘着シートが利用されている。
【0003】
かかる粘着シートとしては、活性エネルギー線を照射することにより硬化し、粘着力を低下させることができる活性エネルギー線硬化性の粘着剤組成物が有効であり、例えば、(1)エチレン性不飽和基を有するモノマー及び/又はオリゴマーの少なくとも一方とアクリル系樹脂とを配合することで、(2)アクリル系樹脂自体にエチレン性不飽和基を含有させたエチレン性不飽和基含有アクリル系樹脂を用いることで、活性エネルギー線硬化性を発現させている。
【0004】
近年では、被加工部材(特に電子部材)を加工後、粘着シートに活性エネルギー線を照射して粘着剤層を硬化(低粘着力化)させた後に行うエキスパンド工程においては、エキスパンド時に粘着剤層が糊割れしてしまい被加工部材に糊が付着し汚染してしまうことが少なくなく、そのため、粘着シートに用いられる粘着剤には活性エネルギー線照射後の易剥離性と高い延伸性が求められている。例えば、特許文献1には弾性重合体、紫外線架橋性(メタ)アクリル酸エステル、ポリイソシアネート及びウレタン基含有紫外線架橋性(メタ)アクリル酸エステルからなる感圧接着剤組成物が記載されている。また、特許文献2には基材と粘着層の間にガラス転移温度20℃以上のアクリル系ポリマーを主成分とする中間層が設けられた加工用粘着シートが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
特開平8-225779号公報
特開2008-50406号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、前記特許文献1に記載の感圧接着剤組成物では、エキスパンド性が不足し満足のいくものではなかった。また、前記特許文献2に記載の加工用粘着シートは活性エネルギー線を照射する前にエキスパンドすることが想定されており、活性エネルギー線を照射した後の延伸性は満足のいくものではなかった。
【0007】
そこで、本発明ではこのような背景下において、活性エネルギー線照射前は良好な粘着力を有し、かつ、活性エネルギー線照射後は良好な易剥離性を有しつつ、延伸性に優れる粘着剤を得ることができる活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
しかるに、本発明者は、かかる事情に鑑み鋭意研究を重ねた結果、粘着剤組成物として、特定の重量平均分子量を有するアクリル系樹脂を用いることで、活性エネルギー線照射前は良好な粘着力を有し、かつ、活性エネルギー線照射後は良好な易剥離性を有しつつ、延伸性に優れる粘着剤組成物が得られることを見出し、本発明を完成した。
【0009】
すなわち、本発明は、以下の態様を有する。
[1] アクリル系樹脂(A)、活性エネルギー線硬化性化合物(B)、及び架橋剤(C)を含有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物であって、
前記アクリル系樹脂(A)の重量平均分子量が110万以上である活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
[2] 以下の条件で測定した引っ張り破断伸度が、500%以上である[1]記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
条件:アクリル系樹脂(A)及び架橋剤(C)からなる組成物を基材に塗布・乾燥し、ゲル分率65%以上に調整した試験片(幅15mm×厚み200μm)をチャック間距離20mmで300mm/minの速度で引っ張る
[3] 前記アクリル系樹脂(A)のガラス転移温度(Tg)が、0℃以下である[1]又は[2]に記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
[4] 前記アクリル系樹脂(A)が、カルボキシ基含有モノマー(a2-1)由来の構造単位を有する[1]~[3]のいずれかに記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
[5] 前記活性エネルギー線硬化性化合物(B)が、ウレタン(メタ)アクリレート(b)を含有する[1]~[4]のいずれかに記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
[6] 前記活性エネルギー線硬化性化合物(B)の含有量が、アクリル系樹脂(A)100質量部に対して5~100質量部である[1]~[5]のいずれかに記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
[7] さらに、光重合開始剤(D)を含有する[1]~[6]のいずれかに記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
[8] [1]~[7]のいずれかに記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物が架橋された粘着剤層を有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着シート。
[9] 活性エネルギー線の照射により前記粘着剤層が硬化されて剥離可能となる[8]記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着シート。
【発明の効果】
【0010】
本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物は、活性エネルギー線照射前は良好な粘着力を有し、かつ、活性エネルギー線照射後は易剥離性を有しつつ、延伸性を有するものである。
【発明を実施するための形態】
(【0011】以降は省略されています)
この特許をJ-PlatPat(特許庁公式サイト)で参照する
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