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公開番号2025136147
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024034371
出願日2024-03-06
発明の名称電子部品の電気的計測装置
出願人株式会社東京ウエルズ
代理人個人,個人,個人
主分類G01R 31/26 20200101AFI20250911BHJP(測定;試験)
要約【課題】電子部品の外観を損なうことなく、精度良く電子部品の電気的計測を行う。
【解決手段】制御部30は駆動機構15を制御して、一対の第1プローブ11a,11bおよび一対の第2プローブ12a,12bを電子部品Wの電極W1,W2に接近させて当接させた後、当接させた状態で一対の第1プローブ11a,11bおよび一対の第2プローブ12a,12bを電極W1,W2に押し付ける。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
一対の電極を含む電子部品の電気的計測を行う電子部品の電気的計測装置において、
一方の電極に当接するとともに、少なくとも一対の第１プローブを含む第１測定端子と、
他方の電極に当接するとともに、少なくとも一対の第２プローブを含む第２測定端子と、
前記第１測定端子の一対の第１プローブと、前記第２測定端子の一対の第２プローブとの間に接続され、前記一対の電極間の電気的計測を行う電気的測定器と、
前記第１測定端子の前記一対の第１プローブ間、および前記第２測定端子の前記一対の第２プローブ間に接続され、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブ間の接触抵抗値、および前記第２測定端子の前記一対の第２プローブ間の接触抵抗値を測定する抵抗値測定器と、
前記第１測定端子および前記第２測定端子をそれぞれ駆動する駆動機構と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、前記駆動機構を制御して、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブおよび前記一対の第２プローブを前記電子部品に接近させ、
前記第１測定端子の前記一対の第１プローブおよび前記一対の第２プローブを前記電子部品に当接させ、
前記第１測定端子の前記一対の第１プローブおよび前記一対の第２プローブを前記電子部品に当接させた状態で、前記抵抗値測定器により、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブ間の接触抵抗値、および前記第２測定端子の前記一対の第２プローブ間の接触抵抗値を測定し、前記一対の第１プローブ間の接触抵抗値が規定値以下となり、かつ前記一対の第２プローブ間の接触抵抗値が規定値以下となるまで、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブおよび前記一対の第２プローブを前記電子部品に対して押し付ける、電子部品の電気的計測装置。
続きを表示（約 540 文字）【請求項２】
前記制御部は前記駆動機構を制御して、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブおよび前記一対の第２プローブを前記電子部品に対して段階的に押し付け、
前記一対の第１プローブ間の接触抵抗値または前記一対の第２プローブ間の接触抵抗値のいずれかを用い、前回の押し付け時の接触抵抗値と、今回の押し付け時の接触抵抗値との差分と、きざみ時間に基づいて、次回の前記電子部品に対する前記第１測定端子の前記一対の第１プローブおよび前記一対の第２プローブの押し付け力を定める、請求項１記載の電子部品の電気的計測装置。
【請求項３】
前記駆動機構は、推力制御モータを含む、請求項１または２記載の電子部品の電気的計測装置。
【請求項４】
前記駆動機構は、ＶＣＭモータを含む、請求項３記載の電子部品の電気的計測装置。
【請求項５】
前記制御部は前記抵抗値測定器により測定された前記第１測定端子の前記一対の第１プローブ間の接触抵抗値が規定値以下の場合であり、かつ前記第２測定端子の前記一対の第２プローブ間の接触抵抗値が規定値以下の場合に、前記電気的測定器を作動させて前記一対の電極間の電気的計測を行う、請求項１記載の電子部品の電気的計測装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、電子部品の電気的計測装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
電子機器の高機能化、高精度化にともない、電子機器に使用される電子部品にも、高い特性精度が求められている。このような電子部品に対して、プローブを電子部品の電極に当接させることにより、電気的計測が行われている。
【０００３】
この場合、電子部品の電極に自然形成された酸化膜が形成されることがあり、この酸化膜は接触抵抗となって電気的測定に悪影響を与えている。このような悪影響を防ぐため、プローブの先端を鋭角にしたり、プローブ先端を電極に擦り付けて酸化膜を除去したり、プローブ先端に電流を印加して酸化膜を破壊することが考えられている。
【０００４】
しかしながら、いずれの方法も電極に傷を付けたり、プローブ痕を残したりして、電子部品の外観を損なうことになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０００－２７５２７４号公報
特開２０１１－６９６１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本開示はこのような点を考慮してなされたものであり、電子部品の外観を損なうことなく、精度良く電子部品の電気的計測を行うことができる電子部品の電気的計測装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示は、一対の電極を含む電子部品の電気的計測を行う電子部品の電気的計測装置において、一方の電極に当接するとともに、少なくとも一対の第１プローブを含む第１測定端子と、他方の電極に当接するとともに、少なくとも一対の第２プローブを含む第２測定端子と、前記第１測定端子の一対の第１プローブと、前記第２測定端子の一対の第２プローブとの間に接続され、前記一対の電極間の電気的計測を行う電気的測定器と、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブ間、および前記第２測定端子の前記一対の第２プローブ間に接続され、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブ間の接触抵抗値、および前記第２測定端子の前記一対の第２プローブ間の接触抵抗値を測定する抵抗値測定器と、前記第１測定端子および前記第２測定端子をそれぞれ駆動する駆動機構と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記駆動機構を制御して、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブおよび前記一対の第２プローブを前記電子部品に接近させ、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブおよび前記一対の第２プローブを前記電子部品に当接させ、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブおよび前記一対の第２プローブを前記電子部品に当接させた状態で、前記抵抗値測定器により、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブ間の接触抵抗値、および前記第２測定端子の前記一対の第２プローブ間の接触抵抗値を測定し、前記一対の第１プローブ間の接触抵抗値が規定値以下となり、かつ前記一対の第２プローブ間の接触抵抗値が規定値以下となるまで、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブおよび前記一対の第２プローブを前記電子部品に対して押し付ける、電子部品の電気的計測装置である。
【０００８】
本開示は、前記制御部は前記駆動機構を制御して、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブおよび前記一対の第２プローブを前記電子部品に対して段階的に押し付け、前記一対の第１プローブ間の接触抵抗値または前記一対の第２プローブ間の接触抵抗値のいずれかを用い、前回の押し付け時の接触抵抗値と、今回の押し付け時の接触抵抗値との差分と、きざみ時間に基づいて、次回の前記電子部品に対する前記第１測定端子の前記一対の第１プローブおよび前記一対の第２プローブの押し付け力を定める、電子部品の電気的計測装置である。
【０００９】
本開示は、前記駆動機構は、推力制御モータを含む、電子部品の電気的計測装置である。
【００１０】
本開示は、前記駆動機構は、ＶＣＭモータを含む、電子部品の電気的計測装置である。
（【００１１】以降は省略されています）

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