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公開番号2025129464
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-05
出願番号2024026105
出願日2024-02-26
発明の名称システム、プログラム、情報処理方法及びシステムの構築方法
出願人株式会社豊田中央研究所
代理人弁理士法人IPX
主分類G06F 9/54 20060101AFI20250829BHJP(計算;計数)
要約【課題】処理装置モデルと被処理物モデルとの間に介在し、モデル間でのデータの受け渡しを円滑化可能なシステム、プログラム及び情報処理方法等を提供する。
【解決手段】本発明の一態様によれば、処理装置を表現するモデルである処理装置モデルと、被処理物を表現するモデルである被処理物モデルとの間を介在するシステムが提供される。このシステムは、第1インタフェースと、第2インタフェースと、変換クラスとを含む。第1インタフェースは、処理装置モデルから出力されるデータである出力データを受け取るように定義される。第2インタフェースは、被処理物モデルに必要なデータのフォーマットを把握するように定義される。第2インタフェースは、フォーマットに適合したデータである必要データを被処理物モデルに出力するように定義される。変換クラスは、第1インタフェース及び第2インタフェースを実装するクラスとして定義される。変換クラスは、出力データをフォーマットに適合させるように、出力データを必要データに変換する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
処理装置を表現するモデルである処理装置モデルと、被処理物を表現するモデルである被処理物モデルとの間を介在するシステムであって、
第１インタフェースと、第２インタフェースと、変換クラスとを含み、
前記第１インタフェースは、前記処理装置モデルから出力されるデータである出力データを受け取るように定義され、
前記第２インタフェースは、前記被処理物モデルに必要なデータのフォーマットを把握するように定義され、
前記第２インタフェースは、前記フォーマットに適合したデータである必要データを前記被処理物モデルに出力するように定義され、
前記変換クラスは、前記第１インタフェース及び前記第２インタフェースを実装するクラスとして定義され、
前記変換クラスは、前記出力データを前記フォーマットに適合させるように、前記出力データを前記必要データに変換する、
システム。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
請求項１に記載のシステムにおいて、
前記被処理物は、半導体ウェハであり、
前記処理装置は、前記半導体ウェハに処理を行う装置である、
システム。
【請求項３】
請求項２に記載のシステムにおいて、
前記処理装置は、アニール炉であり、
前記出力データは、前記アニール炉内の雰囲気を示すデータである、
システム。
【請求項４】
請求項３に記載のシステムにおいて、
前記雰囲気は、温度である、
システム。
【請求項５】
請求項１に記載のシステムにおいて、
前記変換クラスは、前記出力データに含まれるデータの中から前記フォーマットに適合するデータを抽出して前記必要データとする、
システム。
【請求項６】
請求項１に記載のシステムにおいて、
前記変換クラスは、前記出力データに含まれる複数のデータを組み合わせて前記必要データとする、
システム。
【請求項７】
プログラムであって、
請求項１から６までの何れか１項に記載のシステムの前記第１インタフェース、前記第２インタフェース及び前記変換クラスをコンピュータに実行させるように構成される、
プログラム。
【請求項８】
情報処理方法であって、
請求項１から６までの何れか１項に記載のシステムの前記第１インタフェース、前記第２インタフェース及び前記変換クラスを実行する、
情報処理方法。
【請求項９】
処理装置を表現するモデルである処理装置モデルと、被処理物を表現するモデルである被処理物モデルとの間を介在するシステムの構築方法であって、
第１定義ステップと、第２定義ステップと、第３定義ステップとを備え、
前記第１定義ステップでは、前記処理装置モデルから出力されるデータである出力データを前記処理装置モデルから受け取るように第１インタフェースを定義し、
前記第２定義ステップでは、前記被処理物モデルに必要なデータのフォーマットを把握するように第２インタフェースを定義し、
前記第２定義ステップでは、前記フォーマットに適合したデータである必要データを前記被処理物モデルに出力するように前記第２インタフェースを定義し、
前記第３定義ステップでは、前記第１インタフェース及び前記第２インタフェースを実装するクラスとして変換クラスを定義し、
前記第３定義ステップでは、前記出力データを前記フォーマットに適合させるように、前記出力データを前記必要データに変換させるように前記変換クラスを定義する、
構築方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、システム、プログラム、情報処理方法及びシステムの構築方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
処理装置を表現するモデルである処理装置モデルから、被処理物を表現するモデルである被処理物モデルへデータを入力する場合に、処理装置モデルから出力されるデータのフォーマットをａｎｙｔｙｐｅとすることで、整数、実数、分布、時系列などの複数の種類のデータをまとめて規定する技術が提案されている（例えば、非特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
ＪａｍｅｓＲ．Ｍｏｙｎｅ，ｅｔａｌ．， "ＳＥＭＩＥ１３３－ＴｈｅＰｒｏｃｅｓｓＣｏｎｔｒｏｌＳｙｓｔｅｍＳｔａｎｄａｒｄ：ＤｅｒｉｖｉｎｇａＳｏｆｔｗａｒｅＩｎｔｅｒｏｐｅｒａｂｉｌｉｔｙＳｔａｎｄａｒｄｆｏｒＡｄｖａｎｃｅｄＰｒｏｃｅｓｓＣｏｎｔｒｏｌｉｎＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ"，２００７，Ｖｏｌ．２０，ｐ．４０８－４２０
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、非特許文献１の技術では、ａｎｙｔｙｐｅを処理可能な被処理物モデルを作成する必要があり、このような被処理物モデルを作成することは困難であった。
【０００５】
本発明では上記事情を鑑み、処理装置モデルと被処理物モデルとの間に介在し、モデル間でのデータの受け渡しを円滑化可能なシステム、プログラム及び情報処理方法等を提供することとした。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様によれば、処理装置を表現するモデルである処理装置モデルと、被処理物を表現するモデルである被処理物モデルとの間を介在するシステムが提供される。このシステムは、第１インタフェースと、第２インタフェースと、変換クラスとを含む。第１インタフェースは、処理装置モデルから出力されるデータである出力データを受け取るように定義される。第２インタフェースは、被処理物モデルに必要なデータのフォーマットを把握するように定義される。第２インタフェースは、フォーマットに適合したデータである必要データを被処理物モデルに出力するように定義される。変換クラスは、第１インタフェース及び第２インタフェースを実装するクラスとして定義される。変換クラスは、出力データをフォーマットに適合させるように、出力データを必要データに変換する。
【０００７】
このような態様によれば、処理装置モデルと被処理物モデルとの間でのデータの受け渡しを円滑化することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
情報処理システム１００を表す構成図である。
情報処理装置２００のハードウェア構成を示すブロック図である。
端末３００のハードウェア構成を示すブロック図である。
システム４００のソフトウェア構成を示すブロック図である。
情報処理装置２００により実行される、システム４００の構築方法の流れを示すアクティビティ図である。
モデル化したシステム４００を用いた、アニール炉モデル５１１と半導体ウェハモデル６１１との間の情報処理を示すアクティビティ図である。
アニール炉モデル５１１（処理装置モデル５１０の一例）と、半導体ウェハモデル６１１（被処理物モデル６１０の一例）と、システム４００との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を用いて本発明の実施形態について説明する。以下に示す実施形態中で示した各種特徴事項は、互いに組み合わせ可能である。
【００１０】
ところで、本実施形態に登場するソフトウェアを実現するためのプログラムは、コンピュータが読み取り可能な非一時的な記録媒体として提供されてもよいし、外部のサーバからダウンロード可能に提供されてもよいし、外部のコンピュータで当該プログラムを起動させてクライアント端末でその機能を実現（いわゆるクラウドコンピューティング）するように提供されてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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