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公開番号2025122288
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-21
出願番号2024017621
出願日2024-02-08
発明の名称慣性力センサおよび慣性力センサの製造方法
出願人株式会社豊田中央研究所,株式会社ミライズテクノロジーズ,トヨタ自動車株式会社,株式会社デンソー
代理人弁理士法人快友国際特許事務所
主分類G01C 19/5677 20120101AFI20250814BHJP(測定;試験)
要約【課題】高真空化されたパッケージに気密封止されたセンサ部を備える慣性力センサを提供する。
【解決手段】慣性力センサは、開口枠を備えるパッケージと、パッケージの内部に配置されているセンサ部と、開口枠を覆っている下側リッドを備える。慣性力センサは、開口枠に沿って配置され、閉じたリング形状を備え、開口枠と下側リッドとを接合している第1接合リングを備える。慣性力センサは、下側リッドの上方に位置しており、開口枠を覆っている上側リッドを備える。上側リッドは、上面視において下側リッドの全体と重複している。慣性力センサは、開口枠に沿って配置され、閉じたリング形状を備え、開口枠と上側リッドとを接合している第2接合リングを備える。上面視において、第2接合リングは、第1接合リングの外周を囲っている。下側リッドと上側リッドとの間に、気密の保たれた閉空間である中間空間が形成されている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
開口枠を備えるパッケージと、
前記パッケージの内部に配置されているセンサ部と、
前記開口枠を覆っている下側リッドと、
前記開口枠に沿って配置されており、閉じたリング形状を備えており、前記開口枠と前記下側リッドとを接合している第１接合リングと、
前記下側リッドの上方に位置しており、前記開口枠を覆っている上側リッドであって、上面視において前記下側リッドの全体と重複している、前記上側リッドと、
前記開口枠に沿って配置されており、閉じたリング形状を備えており、前記開口枠と前記上側リッドとを接合している第２接合リングと、
を備える慣性力センサであって、
上面視において、前記第２接合リングは、前記第１接合リングの外周を囲っており、
前記下側リッドと前記上側リッドとの間に、気密の保たれた閉空間である中間空間が形成されている、
慣性力センサ。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記下側リッドの上面と、前記上側リッドの下面と、を接続している連結部をさらに備えており、
上面視において、前記連結部は、前記上側リッドの中心点を含んでいる、請求項１に記載の慣性力センサ。
【請求項３】
前記連結部によって、前記中間空間が複数の空間に分割されており、
分割されている前記複数の空間が、互いに気密が保たれている、請求項２に記載の慣性力センサ。
【請求項４】
上面視において、前記第１接合リングと前記第２接合リングとの間には、リング形状の外周領域が存在しており、
前記慣性力センサは、前記外周領域内に配置されているとともに、前記下側リッドの上面と前記上側リッドの下面とを接続している連結部をさらに備えている、請求項１に記載の慣性力センサ。
【請求項５】
前記連結部は、前記外周領域の一部に配置されており、
前記外周領域において前記連結部が配置されていない部分に、前記第２接合リングと前記中間空間とを連通している連通部が形成されている、請求項４に記載の慣性力センサ。
【請求項６】
前記開口枠は、内周枠と、前記内周枠を取り囲んでいるとともに前記内周枠の上方に位置する外周枠と、を備えており、
前記下側リッドは、前記第１接合リングによって前記内周枠に接合されており、
前記上側リッドは、前記第２接合リングによって前記外周枠に接合されている、請求項１に記載の慣性力センサ。
【請求項７】
前記下側リッドと前記上側リッドとの間の空間内に配置されているスペーサをさらに備え、
上面視において、前記スペーサは、前記上側リッドの中心点を含んでいる、請求項６に記載の慣性力センサ。
【請求項８】
前記内周枠は、第１の平面上に位置しており、
前記外周枠は、第２の平面上に位置しており、
前記第１の平面と前記第２の平面とは互いに平行であり、
前記第２の平面は、前記第１の平面よりも上方に位置している、請求項６に記載の慣性力センサ。
【請求項９】
前記開口枠は、前記開口枠の中心に向かって高さが低くなるテーパ面を備えており、
前記内周枠および前記外周枠は、前記テーパ面上に位置しており、
前記外周枠は、前記内周枠よりも上方に位置している、請求項６に記載の慣性力センサ。
【請求項１０】
前記上側リッドは、前記上側リッドから下方へ突出しているとともに閉じたリング形状を備えている側壁部を備えており、
前記側壁部の下面に、前記第２接合リングが配置されている、請求項１に記載の慣性力センサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本明細書は、慣性力センサおよび慣性力センサの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、慣性力センサを気密に囲う第１のパッケージと、第１のパッケージを気密に囲う第２のパッケージと、を備えた電子部品が開示されている。二重のパッケージ構造により、気密封止の性能が向上されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００９－２５７８０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の技術では、二重のパッケージ構造を備えているため、電子部品全体の体格が増大してしまうおそれがある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本明細書が開示する慣性力センサは、開口枠を備えるパッケージを備える。慣性力センサは、パッケージの内部に配置されているセンサ部を備える。慣性力センサは、開口枠を覆っている下側リッドを備える。慣性力センサは、開口枠に沿って配置されており、閉じたリング形状を備えており、開口枠と下側リッドとを接合している第１接合リングを備える。慣性力センサは、下側リッドの上方に位置しており、開口枠を覆っている上側リッドを備える。上側リッドは、上面視において下側リッドの全体と重複している。慣性力センサは、開口枠に沿って配置されており、閉じたリング形状を備えており、開口枠と上側リッドとを接合している第２接合リングを備える。上面視において、第２接合リングは、第１接合リングの外周を囲っている。下側リッドと上側リッドとの間に、気密の保たれた閉空間である中間空間が形成されている。
【０００６】
上記の構造によると、パッケージの開口枠と蓋部とが、下側リッドおよび上側リッドによって二重に閉塞されている。そして下側リッドと上側リッドとの間に、閉空間が形成されている。外側リッドと開口枠との接合界面を通ってガスが侵入する場合においても、中間空間によって、パッケージの内部空間へのガスの侵入を留めることができる。パッケージ内部へのガスの侵入を中間空間にて一旦留めることができるため、パッケージ内部の高気密性を長期間維持することが可能となる。そして、１つのパッケージに対して、下側リッドおよび上側リッドの２つを用いて気密を維持する、二重のリッド構造を備えている。２つのパッケージを用いる二重のパッケージ構造に比して、体格の増大を抑制することができるため、慣性力センサの小型化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
ジャイロセンサ１の上面図である。
図１のII－II線における断面図である。
図１のIII－III線における断面図である。
二重リッド１３０の下面図である。
一体型の接合リング１２３の例を示す図である。
実施例２の二重リッド２３０の斜視分解図である。
実施例３の下側リッド１４０および上側リッド３５０を示す図である。
実施例３の第１変形例を示す図である。
実施例３の第２変形例を示す図である。
実施例３の第３変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例】
【０００８】
図１に、本実施例に係るジャイロセンサ１の上面図を示す。図１では、見やすさのために、二重リッド１３０を取り除いた状態を示している。図２に、図１のII－II線における断面図を示す。図３に、図１のIII－III線における断面図を示す。図４に、二重リッド１３０の下面図を示す。
【０００９】
ジャイロセンサ１は、センサ素子１０、パッケージ１００、二重リッド１３０を主に備えている。センサ素子１０は、パッケージ１００内に真空気密封止されている。
【００１０】
（センサ素子１０の構成）
センサ素子１０は、台座電極２０、ガラス振動子３０、ペースト４０、を主に備えている。台座電極２０は、ガラス基板２１上にシリコン基板２２が積層された構造を備えている。
（【００１１】以降は省略されています）

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