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公開番号2025122231
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-20
出願番号2025093898,2023076743
出願日2025-06-05,2018-12-25
発明の名称導電性組成物
出願人三菱ケミカル株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類C08L 101/02 20060101AFI20250813BHJP(有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物)
要約【課題】レジスト層上に形成して荷電粒子線を用いたパターン形成した際に、パターニング不良が起こりにくい導電膜を形成できる導電性組成物の提供。
【解決手段】酸性基を有する導電性ポリマーと、溶剤とを含む導電性組成物であって、前記導電性組成物の総質量に対して、ナイロン、ポリエチレン及びポリテトラフルオロエチレンの含有量がそれぞれ10質量ppm以下である導電性組成物。前記導電性組成物は、荷電粒子線描画時の帯電防止用として好適である。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
酸性基を有する導電性ポリマーと、溶剤とを含む導電性組成物であって、
前記導電性組成物の総質量に対して、ナイロン、ポリエチレン及びポリテトラフルオロエチレンの含有量がそれぞれ１０質量ｐｐｍ以下である、導電性組成物。
続きを表示（約 340 文字）【請求項２】
前記導電性ポリマーが下記一般式（５）で表される単位を有する、請求項１に記載の導電性組成物。
TIFF
2025122231000009.tif
51
170
式（５）中、Ｒ
１８
～Ｒ
２１
は、各々独立に、水素原子、炭素数１～２４の直鎖若しくは分岐鎖のアルキル基、炭素数１～２４の直鎖若しくは分岐鎖のアルコキシ基、酸性基、ヒドロキシ基、ニトロ基、又はハロゲン原子を表し、Ｒ
１８
～Ｒ
２１
のうちの少なくとも１つは酸性基又はその塩である。
【請求項３】
荷電粒子線描画時の帯電防止用である、請求項１又は２に記載の導電性組成物。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性組成物に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
電子線やイオン線等の荷電粒子線を用いたパターン形成技術は、光リソグラフィーの次世代技術として期待されている。荷電粒子線を用いる場合、生産性向上にはレジスト層の感度向上が重要である。
従って、露光部分又は荷電粒子線が照射された部分に酸を発生させ、続いてポストエクスポージャーベーク（ＰＥＢ）処理と呼ばれる加熱処理により架橋反応又は分解反応を促進させる、高感度な化学増幅型レジストの使用が主流となっている。
また、近年、半導体デバイスの微細化の流れに伴い、数ｎｍオーダーでのレジスト形状の管理も要求されるようになってきている。
【０００３】
ところで、荷電粒子線を用いるパターン形成方法においては、特に基板が絶縁性の場合、基板の帯電（チャージアップ）によって発生する電界が原因で、荷電粒子線の軌道が曲げられ、所望のパターンが得られにくいという課題がある。
この課題を解決する手段として、導電性ポリマーを含む導電性組成物をレジスト層の表面に塗布して導電膜を形成し、前記導電膜でレジスト層の表面を被覆する技術が有効であることが既に知られている。
【０００４】
導電性ポリマーとして、酸性基を有する導電性ポリマーが知られている。酸性基を有する導電性ポリマーは、ドープ剤を添加することなく導電性を発現できる。
例えば、特許文献１には、酸性基を有する導電性ポリマーと、含窒素官能基及び末端疎水性基を有する水溶性ポリマーと、溶剤とを含む導電性組成物が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００２－２２６７２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の導電性組成物をレジスト層の表面に塗布して導電膜を形成し、荷電粒子線を用いたパターン形成すると、パターニング不良が起こることがある。
本発明は、レジスト層上に形成して荷電粒子線を用いたパターン形成した際に、パターニング不良が起こりにくい導電膜を形成できる導電性組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
パターニング不良の要因の１つとして、導電性組成物中の異物が考えられる。そのため、レジスト層の表面に塗布する前に導電性組成物をフィルタで濾過し、異物を取り除いて用いるのが一般的である。
しかし、濾過後の導電性組成物を用いてもパターニング不良が起こることから、本発明者は鋭意研究を行なった結果、濾過に用いるフィルタの二次側、すなわち濾液がフィルタから出ていく面に付着していたフィルタ由来物質が、導電性組成物がフィルタを通過するときに濾液に混入し、成膜時にフィルタ由来物質が異物として導電膜に現れ、パターニング不良の要因となることを突き止めた。特にナイロン製のフィルタ由来物質であるナイロン、ポリエチレン製のフィルタ由来物質であるポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン製のフィルタ由来物質であるポリテトラフルオロエチレンが、パターニング不良に影響することを突き止めた。そこで、導電性組成物中のこれらフィルタ由来物質の量を低減することで、パターニング不良を抑制できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００８】
すなわち、本発明は以下の態様を有する。
［１］酸性基を有する導電性ポリマーと、溶剤とを含む導電性組成物であって、
前記導電性組成物の総質量に対して、ナイロン、ポリエチレン及びポリテトラフルオロエチレンの含有量がそれぞれ１０質量ｐｐｍ以下である、導電性組成物。
［２］前記導電性ポリマーが下記一般式（５）で表される単位を有する、［１］の導電性組成物。
【０００９】
TIFF
2025122231000001.tif
51
170
【００１０】
式（５）中、Ｒ
１８
～Ｒ
２１
は、各々独立に、水素原子、炭素数１～２４の直鎖若しくは分岐鎖のアルキル基、炭素数１～２４の直鎖若しくは分岐鎖のアルコキシ基、酸性基、ヒドロキシ基、ニトロ基、又はハロゲン原子を表し、Ｒ
１８
～Ｒ
２１
のうちの少なくとも１つは酸性基又はその塩である。
（【００１１】以降は省略されています）

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