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公開番号2025121810
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-20
出願番号2024070677
出願日2024-04-24
発明の名称光学検査装置の焦点制御装置
出願人アイコアカンパニーリミテッド
代理人KEY弁理士法人
主分類G02B 7/28 20210101AFI20250813BHJP(光学)
要約【課題】検査対象物との間の離隔距離を制御する光学検査装置の焦点制御装置を提供する。
【解決手段】上部に光学検査装置の検査用イメージセンサが装着され、内側下部にレンズ部が収容された光学検査装置の鏡筒部の一側から鏡筒部の内側の方向に第1光を照射する第1照射部と、第1光を反射させる第1-1反射部と、検査対象物によって反射された第1光を2次屈折させるレンズ部と、2次屈折された第1光を反射させる第1-2反射部と、鏡筒部の他方側から鏡筒部の内側に第2光を照射する第2照射部と、第2光を反射させる第2-1反射部とを含み、レンズ部は、検査対象物によって反射された第2光を第2-2反射部の方向に2次屈折させ、2次屈折された第2光を反射させる第2-2反射部と、焦点制御用イメージセンサによってセンシングされた第1及び第2光の位置である第1及び第2光位置データに基づいてレンズ部と検査対象物との間の離隔距離を制御する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
光学検査装置の焦点の制御装置において、
上部に前記光学検査装置の検査用イメージセンサが装着され、内側下部にレンズ部が収容された前記光学検査装置の鏡筒部の一側から前記鏡筒部の内側の方向に第１光を照射する第１照射部と、
前記第１照射部によって照射された第１光をレンズ部の方向に反射させる第１－１反射部と、
前記第１－１反射部によって反射された第１光を検査対象物の方向に１次屈折させ、前記検査対象物によって反射された第１光を第１－２反射部の方向に２次屈折させるレンズ部と、
前記レンズ部によって２次屈折された第１光を焦点制御用イメージセンサの方向に反射させる第１－２反射部と、
前記鏡筒部の他方側から前記鏡筒部の内側に第２光を照射する第２照射部と、
前記第２照射部によって照射された第２光を前記レンズ部の方向に反射させる第２－１反射部とを含み、
前記レンズ部は、
前記第２－１反射部によって反射された第２光を前記検査対象物の方向に１次屈折させ、前記検査対象物によって反射された第２光を第２－２反射部の方向に２次屈折させ、
前記光学検査装置の焦点制御装置は、
前記レンズ部によって２次屈折された第２光を前記焦点制御用イメージセンサの方向に反射させる前記第２－２反射部と、
前記焦点制御用イメージセンサによってセンシングされた第１光の位置である第１光位置データと、第２光の位置である第２光位置データとに基づいて、前記レンズ部と前記検査対象物との間の離隔距離を制御する制御部とをさらに含むことを特徴とする光学検査装置の焦点制御装置。
続きを表示（約 840 文字）【請求項２】
前記第１－１反射部は、
前記レンズ部に向かう第１－１反射経路に前記第１照射部によって照射された第１光を反射させ、
前記レンズ部は、
前記第１－２反射部に向かう第１－２屈折経路に前記検査対象物によって反射された第１光を２次屈折させることを特徴とする、請求項１に記載の光学検査装置の焦点制御装置。
【請求項３】
前記第１－１反射経路は、
前記焦点の制御のために前記レンズ部が移動する移動方向と平行であることを特徴とする、請求項２に記載の光学検査装置の焦点制御装置。
【請求項４】
前記第１－２屈折経路は、
前記移動方向となす角度が第１角度範囲に含まれることを特徴とする、請求項３に記載の光学検査装置の焦点制御装置。
【請求項５】
前記第２－１反射部は、
前記レンズ部に向かう第２－１反射経路に前記第２照射部によって照射された第２光を反射させ、
前記レンズ部は、
前記第２－２反射部に向かう第２－２屈折経路に前記検査対象物によって反射された第２光を２次屈折させることを特徴とする、請求項１に記載の光学検査装置の焦点制御装置。
【請求項６】
第２－１反射経路は、
前記焦点の制御のために前記レンズ部が移動する移動方向と平行であることを特徴とする、請求項５に記載の光学検査装置の焦点制御装置。
【請求項７】
第２－２屈折経路は、
前記移動方向となす角度が第２角度範囲に含まれることを特徴とする、請求項６に記載の光学検査装置の焦点制御装置。
【請求項８】
前記制御部は、
前記第１光の位置が第１基準領域内に位置し、前記第２光の位置が第２基準領域内に位置するように、前記レンズ部と前記検査対象物との間の離隔距離を制御することを特徴とする、請求項１に記載の光学検査装置の焦点制御装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学検査装置の焦点制御装置に関し、より詳細には、光学検査装置の第１照射部と第２照射部のそれぞれから照射された第１光及び第２光をレンズ部が移動する移動方向と平行である経路に反射させレンズ部に通過させ、レンズ部に通過して屈折した後、検査対象物から反射した第１光及び第２光が再びレンズ部により屈折され、第２反射部を介して焦点制御用イメージセンサの方向に反射することにより、焦点制御用イメージセンサ上での第１光と第２光のそれぞれの位置がセンシングされ、第１光と第２光のそれぞれの位置に基づいて検査対象物との間の離隔距離を制御する光学検査装置の焦点制御装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
マシン（機械）ビジョンとは、機械に人間が有している視覚と判断機能を付与したもので、人が認知し判断する機能をハードウェアとソフトウェアのシステムが代わりに処理する技術である。
【０００３】
最近のマシンビジョンは、各種産業分野が自動化に転換されながら、半導体業界はもちろん、アルミニウム、自動車、携帯電話、物流、製薬、医療、食飲料、消費財、木材、繊維、ガラス、鉄、鋳造、化学などほぼあらゆる業界の生産工程に単純な測定だけでなく、取得したイメージの処理及び判断工程まで、ユーザの目的に合わせて広く使用されている。
【０００４】
特に、マシンビジョンは半導体基板や部品の欠陥を検出する検査装備に適用されている。半導体またはＬＣＤなどを生産する現場では、多数の細分化された工程により最終製品が完成される。したがって、生産過程で半導体基板のような部品の欠陥は、後で完成品を廃棄しなければならない深刻な問題を引き起こすことがある。このような問題を解決するために、適切な時点で半導体基板や部品の欠陥を検出する検査装備が用いられている。
【０００５】
一般的に、半導体などを検査するためには、高解像度のデジタルカメラまたはスキャナのような原理のラインスキャンカメラなどの装備が主に用いられている。特に、ラインスキャンカメラが超高解像度の映像取得に有利であるため、多く使用されている。
【０００６】
しかしながら、デジタルカメラまたはラインスキャンカメラを用いる場合、カメラ（具体的にはレンズ）と被写体との距離に応じて焦点が合っているか合っていない映像が取得され、その取得された映像によって検査結果が異なるという問題が生じる。したがって、各々の検査対象に応じて、最も適切なカメラの距離を事前に試験を通じて求めなければならない。
【０００７】
しかしながら、従来の検査装備は、カメラの距離（すなわち焦点）を変更しようとする場合でも試験者が手動で調整するので面倒である。このような手動調整方式は多くの時間と労力を要し、テスト結果の一貫性を守ることが困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
韓国登録特許第１０－０９３９５４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、光学検査装置の第１照射部と第２照射部のそれぞれから照射された第１光及び第２光を、レンズ部が移動する移動方向と平行な経路に反射してレンズ部に通過させ、レンズ部に通過して屈折された後、検査対象物から反射された第１光及び第２光が再びレンズ部により屈折され、第２反射部を介して焦点制御用イメージセンサの方向に反射されることにより、焦点制御用イメージセンサ上での第１光と、第２光のそれぞれの位置がセンシングされ、第１光と第２光のそれぞれの位置に基づいて検査対象物との間の離隔距離を制御する光学検査装置の焦点制御装置を提供する。
【００１０】
本発明の目的は、以上の目的に限定されず、言及されていない本発明の他の目的及び利点は、以下の説明によって理解され得、本発明の実施形態によってより明確に理解される。また、本発明の目的及び利点は、特許請求の範囲に示される手段及びその組み合わせによって実現され得ることが容易に分かる。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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