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公開番号2025119168
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-14
出願番号2024013882
出願日2024-02-01
発明の名称部品の製造方法
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250806BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】部品の製造方法において、部品の反りを抑制する技術を提供する。
【解決手段】部品の製造方法は、複数のセラミック焼成体と、複数の加圧用部材とを準備する準備工程と、複数のセラミック焼成体を複数のグループに分割し、複数のグループのそれぞれにおいて、セラミック焼成体と加圧用部材とが積層された積層体を作製する分割工程と、熱間等方圧加圧装置が有する複数の収容部のそれぞれに、積層体の積層方向が鉛直方向に沿うように、複数の積層体を収容し、複数のセラミック焼成体のそれぞれについて、加圧用部材の自重を用いて荷重をかけつつ、熱間等方圧加圧処理を行う処理工程と、を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
半導体製造装置に用いる部品の製造方法であって、
複数のセラミック焼成体と、複数の加圧用部材とを準備する準備工程と、
複数の前記セラミック焼成体を複数のグループに分割し、複数の前記グループのそれぞれにおいて、前記セラミック焼成体と前記加圧用部材とが積層された積層体を作製する分割工程と、
熱間等方圧加圧装置が有する複数の収容部のそれぞれに、前記積層体の積層方向が鉛直方向に沿うように、複数の前記積層体を収容し、複数の前記セラミック焼成体のそれぞれについて、前記加圧用部材の自重を用いて荷重をかけつつ、熱間等方圧加圧処理を行う処理工程と、を備える、
部品の製造方法。
続きを表示（約 580 文字）【請求項２】
請求項１に記載の部品の製造方法であって、
前記準備工程では、複数の前記加圧用部材として、第１の加圧用部材と前記第１の加圧用部材よりも重い第２の加圧用部材とを準備し、
前記分割工程では、複数の前記グループのうちの少なくとも１つのグループにおいて、
前記セラミック焼成体と前記第１の加圧用部材とを積み重ねたのち、
前記１つのグループについて作製される積層体において、鉛直方向の最も上方に前記第２の加圧用部材を積み重ねることで、前記積層体を作製する、
部品の製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の部品の製造方法であって、
前記分割工程では、複数の前記積層体のそれぞれに含まれる前記セラミック焼成体の数が同じになるように、複数の前記セラミック焼成体を複数のグループに分割する、
部品の製造方法。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の部品の製造方法であって、
前記部品は、静電チャックであり、
前記準備工程では、さらに、ベース部を準備し、
前記製造方法は、さらに、
前記処理工程において熱間等方圧加圧処理された前記セラミック焼成体と前記ベース部とを接合する接合工程を備える、
部品の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体製造装置に用いる部品を熱間等方圧加圧処理によって製造する部品の製造方法が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第７２４５２９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のような先行技術によっても、部品の製造方法において、部品の反りを抑制する技術については、なお、改善の余地があった。
【０００５】
本発明は、部品の製造方法において、部品の反りを抑制する技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
【０００７】
（１）本発明の一形態によれば、半導体製造装置に用いる部品の製造方法が提供される。この部品の製造方法は、複数のセラミック焼成体と、複数の加圧用部材とを準備する準備工程と、複数の前記セラミック焼成体を複数のグループに分割し、複数の前記グループのそれぞれにおいて、前記セラミック焼成体と前記加圧用部材とが積層された積層体を作製する分割工程と、熱間等方圧加圧装置が有する複数の収容部のそれぞれに、前記積層体の積層方向が鉛直方向に沿うように、複数の前記積層体を収容し、複数の前記セラミック焼成体のそれぞれについて、前記加圧用部材の自重を用いて荷重をかけつつ、熱間等方圧加圧処理を行う処理工程と、を備える。
【０００８】
この構成によれば、複数のセラミック焼成体に対して熱間等方圧加圧処理を行うとき、複数のセラミック焼成体を複数のグループに分割し、複数のグループのそれぞれにおいて、セラミック焼成体と加圧用部材とが積層された積層体を作製する。処理工程では、熱間等方圧加圧装置が有する複数の収容部のそれぞれに、積層体の積層方向が鉛直方向に沿うように、複数の積層体を収容し、セラミック焼成体のそれぞれに加圧用部材の自重を用いて荷重をかけつつ、熱間等方圧加圧処理を行う。これにより、複数のセラミック焼成体を全数積み重ねた状態で熱間等方圧加圧処理を行う場合に比べ、積層体に含まれる複数のセラミック焼成体のうち、積層体の下側のセラミック焼成体に加わる荷重を低減することができる。これにより、熱間等方圧加圧処理によって作製されるセラミック部材の反りを抑制することができる。
【０００９】
（２）上記形態の部品の製造方法において、前記準備工程では、複数の前記加圧用部材として、第１の加圧用部材と前記第１の加圧用部材よりも重い第２の加圧用部材とを準備し、前記分割工程では、複数の前記グループのうちの少なくとも１つのグループにおいて、前記セラミック焼成体と前記第１の加圧用部材とを積み重ねたのち、前記１つのグループについて作製される積層体において、鉛直方向の最も上方に前記第２の加圧用部材を積み重ねることで、前記積層体を作製してもよい。この構成によれば、積層体のうち、鉛直方向の最も上方のセラミック焼成体にも適切な荷重をかけることができる。これにより、積層体において、加わる荷重の違いによる反りのばらつきを抑制するとともに、積層体に含まれる複数のセラミック焼成体のそれぞれの反りを抑制することができる。
【００１０】
（３）上記形態の部品の製造方法において、前記分割工程では、複数の前記積層体のそれぞれに含まれる前記セラミック焼成体の数が同じになるように、複数の前記セラミック焼成体を複数のグループに分割してもよい。この構成によれば、複数の収容部のそれぞれに収容されるセラミック焼成体の数を同じにすることで、複数の収容部のそれぞれの内側における気体の圧力を同じ程度とすることができる。これにより、熱間等方圧加圧処理における加圧条件を安定化させることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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