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公開番号2025121656
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-20
出願番号2024017237
出願日2024-02-07
発明の名称保持部材
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250813BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】接着部材の強度の温度依存性が小さい保持部材を提供する。
【解決手段】保持部材であって、第1部材と、第2部材と、第1部材と第2部材とを接着する接着部材と、を備え、接着部材をせん断するせん断方向に沿って第1部材と第2部材とを引っ張っている際の温度を引張時温度(℃)とし、せん断方向に沿って第1部材と第2部材とを引っ張っている際に接着部材に生じている応力を引張応力(MPa)としたとき、引張応力(MPa)の値は、引張時温度(℃)を1度上昇させるごとに-0.006MPa以上、かつ、0MPa未満の範囲内で変化することを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
保持部材であって、
第１部材と、
第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材とを接着する接着部材と、を備え、
前記接着部材をせん断するせん断方向に沿って前記第１部材と前記第２部材とを引っ張っている際の温度を引張時温度（℃）とし、前記せん断方向に沿って前記第１部材と前記第２部材とを引っ張っている際に前記接着部材に生じている応力を引張応力（ＭＰａ）としたとき、前記引張応力（ＭＰａ）の値は、前記引張時温度（℃）を１度上昇させるごとに－０．００６ＭＰａ以上、かつ、０ＭＰａ未満の範囲内で変化することを特徴とする、保持部材。
続きを表示（約 330 文字）【請求項２】
請求項１に記載の保持部材であって、
前記接着部材は、側鎖の少なくとも一部に芳香族炭化水素基を備えたシリコーン樹脂を含むことを特徴とする、保持部材。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の保持部材であって、
前記接着部材は、アルミナを主成分としたフィラーを含むことを特徴とする、保持部材。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の保持部材であって、
前記接着部材は、シリコーン樹脂と、フィラーと、を含み、
前記フィラーには、前記シリコーン樹脂１００重量部に対して、２重量部以上、かつ、１５重量部以下のカーボンブラックが含まれていることを特徴とする、保持部材。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持部材に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
対象物を保持する保持部材として、静電引力により対象物であるウエハを保持する静電チャックが知られている。例えば、特許文献１，２には、金属により形成されたベース部材と、セラミックスにより形成されたセラミックス部材と、ベース部材とセラミックス部材とを接着する接着部材と、を備える静電チャックが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６６１１７４３号公報
特許第６８８６４４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１，２のいずれの技術にも接着部材の強度の温度依存性を小さくすることについては十分に考慮されていなかった。保持部材を構成している接着部材の強度の温度依存性が大きい場合、そのような保持部材では、特に、高温下における使用が制限される虞がある。このため、接着部材の強度の温度依存性が小さい保持部材の開発が要望されていた。
【０００５】
本発明は、上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、接着部材の強度の温度依存性が小さい保持部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現できる。
【０００７】
（１）本発明の一形態によれば、保持部材が提供される。この保持部材は、第１部材と、第２部材と、前記第１部材と前記第２部材とを接着する接着部材と、を備え、前記接着部材をせん断するせん断方向に沿って前記第１部材と前記第２部材とを引っ張っている際の温度を引張時温度（℃）とし、前記せん断方向に沿って前記第１部材と前記第２部材とを引っ張っている際に前記接着部材に生じている応力を引張応力（ＭＰａ）としたとき、前記引張応力（ＭＰａ）の値は、前記引張時温度（℃）を１度上昇させるごとに－０．００６ＭＰａ以上、かつ、０ＭＰａ未満の範囲内で変化する。
【０００８】
この構成によれば、引張時温度（℃）を１度上昇させるごとに－０．００６ＭＰａ以上、かつ、０ＭＰａ未満の範囲内で引張応力（ＭＰａ）の値が変化する接着部材を備えた保持部材を提供することができる。すなわち、接着部材の強度の温度依存性が小さくなっているため、高温下で保持部材が使用される状況であっても接着部材の強度が低下しにくいことから、高温下においても使用可能な保持部材を提供することができる。
【０００９】
（２）上記態様の保持部材において、前記接着部材は、側鎖の少なくとも一部に芳香族炭化水素基を備えたシリコーン樹脂を含んでいてもよい。
シリコーン樹脂には、その主鎖同士の相互作用が大きいため、微小な結晶化や絡み合いの発生によって疑似的な架橋点が形成されている。疑似的な架橋点の数が多いと、温度上昇時に減少する疑似的な架橋点の数も増加するため、接着部材の強度の温度依存性が大きくなる傾向にある。この構成によれば、シリコーン樹脂の側鎖の少なくとも一部に芳香族炭化水素基が備えられているため、芳香族炭化水素基の立体障害の影響でシリコーン樹脂の主鎖における微小な結晶化や絡み合いの発生が少なくなり、接着部材中に存在する疑似的な架橋点の数を少なくすることができる。その結果、温度上昇時に減少する疑似的な架橋点の数も少なくすることができるため、接着部材の強度の温度依存性を小さくすることができる。また、この構成によれば、シリコーン樹脂の側鎖の少なくとも一部に芳香族炭化水素基が備えられているため、シリコーン樹脂の疎水性は高くなっている。そのため、接着部材に含まれるフィラーが親水性である場合には、シリコーン樹脂のＳＰ値と親水性のフィラーのＳＰ値との差は大きくなり、このＳＰ値の差が大きいほど接着部材における疑似的な架橋点の数は少なくなることから、接着部材の強度の温度依存性を小さくすることができる。
【００１０】
（３）上記態様の保持部材において、前記接着部材は、アルミナを主成分としたフィラーを含んでいてもよい。
この構成によれば、フィラーの主成分が親水性の高いアルミナである。このため、接着部材に含まれる樹脂が疎水性の高い樹脂である場合には、その樹脂のＳＰ値とフィラーのＳＰ値との差は大きくなり、このＳＰ値の差が大きいほど接着部材における疑似的な架橋点の数は少なくなることから、接着部材の強度の温度依存性を小さくすることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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