特許ウォッチ

公開番号2025121570
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-20
出願番号2024017061
出願日2024-02-07
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人弁理士法人暁合同特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250813BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ホットスポットが生じにくく、温度分布を均一化できる保持装置を提供する。
【解決手段】保持装置1は、第1面10Aを有する板状部材10と、板状部材10に対し第1面10Aとは反対側に配されたベース部材20と、板状部材10とベース部材20との間に配された接着部材30と、を備える。板状部材10は、第1面10Aに対し交わる第1方向に中心軸が延びた第1孔部55を備える。接着部材30は、第1孔部55に連なり、第1方向に中心軸が延びた第2孔部35を備える。ベース部材20は、第2孔部35に連なり、第1方向に中心軸が延びた第3孔部25を備える。第1孔部55の中心軸L1、第2孔部35の中心軸L2及び第3孔部25の中心軸L3のうち少なくとも一つの中心軸と他の中心軸とが、第1方向に見て異なる位置に配されている。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
第１面を有する板状部材と、
前記板状部材に対し前記第１面とは反対側に配されたベース部材と、
前記板状部材と前記ベース部材との間に配された接着部材と、を備え、
前記板状部材は、前記第１面に対し交わる第１方向に中心軸が延びた第１孔部を備え、
前記接着部材は、前記第１孔部に連なり、前記第１方向に中心軸が延びた第２孔部を備え、
前記ベース部材は、前記第２孔部に連なり、前記第１方向に中心軸が延びた第３孔部を備え、
前記第１孔部、前記第２孔部、及び前記第３孔部における中心軸のうち少なくとも一つの中心軸と他の中心軸とが、前記第１方向に見て異なる位置に配されている、保持装置。
続きを表示（約 420 文字）【請求項２】
前記第１孔部は、
前記第１面側に位置する第１表面側孔部と、
前記第１表面側孔部に連なり、前記第１面とは反対側に位置する第１裏面側孔部と、を備え、
前記第１裏面側孔部の孔の中心軸は、前記第１表面側孔部の孔の中心軸に対して前記第１方向に見て異なる位置に配されている、請求項１に記載の保持装置。
【請求項３】
前記第２孔部は、
前記第１面側に位置する第２表面側孔部と、
前記第２表面側孔部に連なり、前記第１面とは反対側に位置する第２裏面側孔部と、を備え、
前記第２裏面側孔部の孔の中心軸は、前記第２表面側孔部の孔の中心軸に対して前記第１方向に見て異なる位置に配されている、請求項１または請求項２に記載の保持装置。
【請求項４】
前記第２孔部の孔径は、前記第１孔部の孔径及び前記第３孔部の孔径よりも大きい、請求項１または請求項２に記載の保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、保持装置に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、保持装置として、特許文献１に記載の技術が知られている。具体的に、特開２０２３－５８８４５号公報（下記特許文献１）に記載の保持装置（ウェハ載置台）は、セラミック基材と、冷却基材と、金属接合層とを備えている。このウェハ載置台は、ウェハ載置台（セラミック基材、冷却基材及び金属接合層）を上下方向に貫通する穴を複数有している。こうした穴としては、ウェハ載置面に開口する複数のガス穴やウェハ載置面に対してウェハを上下させるリフトピンを挿通させるためのリフトピン穴がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－５８８４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示の構成に関し、ウェハ載置台を貫通する穴（空間）は、その穴以外の部分に比して熱が伝わり難い（熱引きが悪い）ので、ウェハにおいて穴の直上部分では他の部分に比して温度が高くなるために、ホットスポットが生じ、温度分布が不均一になる可能性がある。
【０００５】
本開示は上記のような事情に基づいて完成された技術であって、ホットスポットが生じにくく、温度分布を均一化できる保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の保持装置は、第１面を有する板状部材と、前記板状部材に対し前記第１面とは反対側に配されたベース部材と、前記板状部材と前記ベース部材との間に配された接着部材と、を備え、前記板状部材は、前記第１面に対し交わる第１方向に中心軸が延びた第１孔部を備え、前記接着部材は、前記第１孔部に連なり、前記第１方向に中心軸が延びた第２孔部を備え、前記ベース部材は、前記第２孔部に連なり、前記第１方向に中心軸が延びた第３孔部を備え、前記第１孔部、前記第２孔部、及び前記第３孔部における中心軸のうち少なくとも一つの中心軸と他の中心軸とが、前記第１方向に見て異なる位置に配されている、保持装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、ホットスポットが生じにくく、温度分布を均一化できる保持装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、第１実施形態に係る保持装置の概略構成を模式的に表した説明図である。
図２は、第１実施形態に係る保持装置の内部構造を模式的に表した断面図である。
図３は、第１孔部、第２孔部及び第３孔部周辺を拡大して示す模式的な断面図である。
図４は、第１孔部、第２孔部及び第３孔部周辺を拡大して示す模式的な平面図である。
図５は、第２実施形態に係る保持装置の第１孔部、第２孔部及び第３孔部周辺を拡大して示す模式的な断面図である。
図６は、第３実施形態に係る保持装置の第１孔部、第２孔部及び第３孔部周辺を拡大して示す模式的な断面図である。
図７は、他の実施形態に係る保持装置の第１孔部、第２孔部及び第３孔部周辺を拡大して示す模式的な断面図である。
図８は、他の実施形態に係る保持装置の第１孔部、第２孔部及び第３孔部周辺を拡大して示す模式的な断面図である。
図９は、他の実施形態に係る保持装置の第１孔部、第２孔部及び第３孔部周辺を拡大して示す模式的な断面図である。
図１０は、他の実施形態に係る保持装置の第１孔部、第２孔部及び第３孔部周辺を拡大して示す模式的な断面図である。
図１１は、他の実施形態に係る保持装置の第１孔部、第２孔部及び第３孔部周辺を拡大して示す模式的な断面図である。
図１２は、他の実施形態に係る保持装置の第１孔部、第２孔部及び第３孔部周辺を拡大して示す模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
最初に本開示の実施形態を列挙して説明する。
（１）本開示の保持装置は、第１面を有する板状部材と、前記板状部材に対し前記第１面とは反対側に配されたベース部材と、前記板状部材と前記ベース部材との間に配された接着部材と、を備え、前記板状部材は、前記第１面に対し交わる第１方向に中心軸が延びた第１孔部を備え、前記接着部材は、前記第１孔部に連なり、前記第１方向に中心軸が延びた第２孔部を備え、前記ベース部材は、前記第２孔部に連なり、前記第１方向に中心軸が延びた第３孔部を備え、前記第１孔部、前記第２孔部、及び前記第３孔部における中心軸のうち少なくとも一つの中心軸と他の中心軸とが、前記第１方向に見て異なる位置に配されている。
【００１０】
このような保持装置によると、各孔部における中心軸のうち、少なくとも一つの中心軸と他の中心軸とが、第１方向に見て異なる位置に配される。第１孔部、第２孔部及び第３孔部のうちいずれかの孔部に対して中心軸が異なる位置に配された他の孔部を構成する部材の一部が配されることで、その他の孔部を構成する部材の一部を介して各孔部同士の熱を伝導させることが可能となる。これによって、第１孔部、第２孔部及び第３孔部のそれぞれの中心軸が第１方向に見て同じ位置に配される場合よりも、各孔部同士が連通して形成される空間内の熱伝導性を向上させることができる。したがって、例えば各孔部の中心軸が第１方向に見て同じ位置に配されている場合に比して、ホットスポットが生じにくく、温度分布が均一化された保持装置とすることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許